软光刻用实验台制造技术

软光刻用实验台，包括箱体，箱体安装有单片机控制台，还安装有照明系统、加热系统、紫外光照系统及压力控制系统；箱体底部为一个水平度可调节的操作台，操作台上有夹具；箱体内顶部安装有光源装置，照明系统的日光灯、加热系统的碘钨灯和紫外光照系统的紫外灯安装在其中；加热系统还包括箱体内两侧壁上的温度传感器和操作台两侧的加热器；压力控制系统包括与箱体联通的真空泵，真空泵旁安装有气压表。该软光刻用实验台，成本相对低廉，可以实现元尘、恒温、压力可控、紫外光照等多种功能，满足普通实验室进行微传递模塑等软光刻操作的要求，解决了普通实验室因加工设备比较昂贵，难以购置软光刻所需的多台设备的问题。

Experimental platform for soft lithography

Soft lithography experiment desk, which comprises a box body, a box provided with MCU console, also installed the lighting system, heating system, UV illumination system and pressure control system; the bottom of the box for a bench level adjustment, operation fixture table; box top mounted light source device, ultraviolet lamp fluorescent lamp illumination system, heating system and lamp UV light system is installed in the heating system; also includes a box on the wall on both sides of the temperature sensor and the operating table includes both sides; and the vacuum pump box Unicom pressure control system, vacuum pump are installed beside the barometer. The soft lithography experiment, relatively low cost, can realize the function of temperature, pressure, dust control, UV light etc., meet the ordinary laboratory micro transfer molding soft lithography operation requirements, solve the common laboratory for processing equipment is relatively expensive, it is difficult to purchase the required soft lithography equipment problems.

【技术实现步骤摘要】
软光刻用实验台
本专利技术涉及软光刻

技术介绍
微纳技术是现代科技的前沿研究方向之以，在很多领域都得到了广泛应用.微纳加工技术作为微纳技术的基础，也因此获得了越来越广泛的需.传统微纳加工主要依赖光刻-蚀刻方法，它对半导体，特别是集成电路产业的发展起到了重要推动作用。但是，这种方法仪器昂贵，场地和人员要求都很高，很难广泛应用。软光刻的出现，解决了传统微加工技术面临的很多难题。它以表面自组装和复制模塑为基础，以表面有特定图案和微结构的弹性橡胶，如聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)为母板，可以实现微接触印制(mierocontactprinting，CP)”，复制模塑(replicamolding，REM)，微传递模塑(micro—transfermolding，μTM)，毛细管微模塑(micromoldingincapillaries，MIMIC)，溶剂辅助的微模塑(solvent—assistedmicromolding，SAMIM)等多种加工方法。软光刻技术具有操作方便、效率高、成本低、加工精度高、成型模式多样等很多优点，在微纳加工领域得到本文档来自技高网...

【技术保护点】
软光刻用实验台，其特征在于：包括箱体(1)，箱体(1)安装有单片机控制台(2)，还安装有照明系统、加热系统、紫外光照系统及压力控制系统；箱体底部为一个水平度可调节的操作台(7)，操作台上有夹具；箱体(1)内顶部安装有光源装置，照明系统的日光灯、加热系统的碘钨灯和紫外光照系统的紫外灯安装在其中；加热系统还包括箱体(1)内两侧壁上的温度传感器(5)和操作台(7)两侧的加热器(6)；压力控制系统包括与箱体(1)联通的真空泵(4)，真空泵(4)旁安装有气压表。

【技术特征摘要】
1.软光刻用实验台，其特征在于：包括箱体(1)，箱体(1)安装有单片机控制台(2)，还安装有照明系统、加热系统、紫外光照系统及压力控制系统；箱体底部为一个水平度可调节的操作台(7)，操作台上有夹具；箱体(1)内顶部安装有光源装置，照明系统的日光灯、加热系统的碘钨灯和紫外光照系统的紫...

【专利技术属性】
技术研发人员：林敏，李蓉，
申请(专利权)人：四川航达机电技术开发服务中心，
类型：发明
国别省市：四川,51