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软光刻用实验台，包括箱体，箱体安装有单片机控制台，还安装有照明系统、加热系统、紫外光照系统及压力控制系统；箱体底部为一个水平度可调节的操作台，操作台上有夹具；箱体内顶部安装有光源装置，照明系统的日光灯、加热系统的碘钨灯和紫外光照系统的紫外灯...
该专利属于四川航达机电技术开发服务中心所有，仅供学习研究参考，未经过四川航达机电技术开发服务中心授权不得商用。

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