光学装置及光学装置的制造方法制造方法及图纸

光学装置(10)的盖部(8)被分割成第一盖部(5)和第二盖部(6)，该第一盖部(5)以光学窗口(52)覆盖作为LCOS元件(1)的有效区域发挥功能的受光部(1a)的方式固定于侧壁部(4)，该第二盖部(6)以覆盖将电极端子(3)与半导体元件(1b)连接的金属线(7)和电极端子(3)的方式固定于侧壁部(4)和第一盖部(5)。

Optical device and method of manufacturing optical device

The optical device (10) of the cover (8) is divided into a first cover part (5) and second (6), cover the first cover part (5) to the optical window cover (52) as LCOS element (1) of the effective area function of the light receiving section (1a) fixed on the way the side wall (4), second (6) of the cover to cover the electrode terminals (3) and semiconductor element (1b) wire connection (7) and (3) the electrode terminal is fixed on the side wall portion (4) and the first cover part (5).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学装置及光学装置的制造方法
本专利技术涉及在内部密封有光学元件的光学装置及其制造方法。
技术介绍
以往公知有如下的光学装置：为了抑制湿度等对光学元件的影响，在壳体内配置光学元件，安装盖部并进行了气密密封。这种光学装置具有如下构造：在盖部设置开口，通过光透射性材料即光学窗口挡住该开口来作为光路(例如，参照专利文献1)。图4是示出密封有光学元件11的以往的光学装置100的概略结构的图，图4(a)是打开了盖部的状态的剖视图，图4(b)是立体图。光学装置100具备：光学元件11，具有受光部1a和半导体元件11b；基板20；侧壁部40；以及盖部50。在基板20上形成有电极端子30，电极端子30通过金属线70与半导体元件11b引线键合。盖部50具有形成有开口61的非光透射性材料的框部60和挡住该开口61的光透射性材料的光学窗口62。光通过该光学窗口62而入射到光学元件11的受光部11a。如上所述，在光学元件11中，受光部11a作为担当光学功能的有效区域来发挥功能。另外，在以上记载为光入射到受光部11a，但是受光部11a可以是光入射的部件，或者也可以是使光出射的部件，也可以是进行其双方的部件。光学窗口62成为入射到受光部11a的入射光或者从受光部11a出射的出射光的光路。在光学装置100中，在形成有侧壁部40的基板20上配置光学元件11之后，将盖部50安装到侧壁部40并进行气密密封。现有技术文献专利文献专利文献1：日本国公开特许公报“特开平9-148469号”(1997年6月6日公开)
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，在光学装置100中，在进行了气密密封之后无法进行光学装置100内部的加工。因此，虽然在将盖部50安装到侧壁部40之前进行内部的加工，但是由于光学元件11露出，因此在异物容易附着或蓄积到光学元件11的状态下进行各工序。作为这种异物，存在从外部进入的物体、或者引线键合工序中的金属线屑等。在引线键合工序中，由于在光学元件11露出的状态下使键合装置工作，因此异物附着到光学元件11的可能性非常高。如图4所示，当异物附着到光学元件11的受光部11a时，由于该异物，入射到受光部11a的入射光、或者从受光部11a出射的出射光的量和方向变化，光学元件11无法正确地发挥功能。例如，在光学元件11为具有控制反射光的角度的功能的空间光调制元件时，入射光通过异物折射而引起串扰，成为误动作(输出异常)的原因。另外，在光学元件11为固态摄像元件时，光通过异物折射，从而受光量显著降低。本专利技术是鉴于上述的课题而完成的，其目的在于，提供一种光学装置及其制造方法，能够保护光学元件的有效区域不受异物影响，抑制由异物引起的光学元件的性能降低。用于解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的光学装置具备：光学元件；基板，搭载所述光学元件且形成有电极端子；侧壁部，包围所述光学元件和电极端子；以及盖部，固定于所述侧壁部且与所述基板相对，其特征在于，所述盖部被分割成：第一盖部，设置有光学窗口，且以该光学窗口覆盖所述光学元件的有效区域的方式固定于所述侧壁部；以及第二盖部，以覆盖将所述电极端子与所述光学元件连接的连接部件和所述电极端子的方式固定于所述侧壁部和所述第一盖部。专利技术效果根据本专利技术，能够提供如下的光学装置：能够保护光学元件的有效区域不受异物影响，抑制由异物引起的光学元件的性能降低。附图说明图1(a)是示出本专利技术的实施方式1的光学装置的概略结构的剖视图，图1(b)是其俯视图，图1(c)是其立体图。图2是示出本专利技术的实施方式2的光学装置的概略结构的剖视图。图3是示出本专利技术的实施方式3的光学装置的概略结构的剖视图。图4(a)是示出以往的光学装置的概略结构的剖视图，图4(b)是其立体图。具体实施方式〔实施方式1〕以下，参照附图对本专利技术的一实施方式进行说明。在以下的本实施方式中，对具备LCOS(LiquidCrystalOnSilicon：硅基液晶)元件1来作为光学元件的光学装置10进行说明。(光学装置的结构)图1是示出本实施方式的光学装置10的概略结构的图，图1(a)是剖视图，图1(b)是俯视图，图1(c)是立体图。另外，图1(a)示出拆卸了以下说明的第二盖部6的状态(固定之前的状态)的光学装置10。如图1所示，光学装置10具备LCOS元件1、基板2、侧壁部4以及盖部8。LCOS元件1是具有对反射光的角度进行控制的功能的空间光调制元件，具备半导体元件1b和受光部1a。半导体元件1b是将用于驱动受光部1a的驱动电路形成于硅基板而成的，半导体元件1b与受光部1a的边界面形成为镜状。受光部1a具备液晶层和玻璃层，按照记载的顺序层压在半导体元件1b上。LCOS元件1根据施加到液晶层的电压的变化使液晶的配向变化，变更向受光部1a入射的光的反射角度。即，通过对电压进行控制，从而能够控制反射角度。在如上所述构成的LCOS元件1中，受光部1a作为担当光学功能的有效区域来发挥功能。基板2是用于搭载LCOS元件1的部件。例如由陶瓷、金属等形成。另外，在基板2上形成有用于与外部导通的电极端子3。电极端子3与LCOS元件1的半导体元件1b通过使用了金属线7的引线键合来连接。关于金属线7，例如使用金、铝等。侧壁部4是以包围LCOS元件1的方式设置在基板2上的框状部件，例如由陶瓷、金属等构成。另外，也可以通过多个部件形成为框状。此处，侧壁部4可以与基板2形成为一体，也可以独立地形成。在独立地形成时，例如，侧壁部4通过树脂固定于基板2上。而且，也可以在基板2与LCOS元件1之间具备加热基板。当通过加热基板将LCOS元件1加热到比常温高的温度来使用时，能够使液晶的配向速度比常温更快速。在具备加热基板时，针对加热基板的导通也能够通过引线键合经由电极端子3进行。盖部8是固定于侧壁部4且覆盖基板2的部件。即，光学装置10是在由基板2、侧壁部4以及盖部8构成的壳体(封装体)内密封LCOS元件1而成的装置。盖部8被分割成第一盖部5和第二盖部6。第一盖部5具有形成有开口53的框部51和光学窗口52。框部51由非光透射性的金属材料形成。开口53通过由光透射性材料(例如，玻璃基板)形成的光学窗口52而被挡住。第一盖部5的光学窗口52配置在受光部1a的上方，且该第一盖部5固定于侧壁部4。由此，来自光学装置10的外部的入射光穿过光学窗口52而被引导至LCOS元件1的受光部1a。另外，来自LCOS元件1的受光部1a的反射光穿过光学窗口52而出射到外部。第二盖部6由非光透射性的金属材料形成，配置在覆盖电极端子3和金属线7的位置，被固定于侧壁部4。如上所述，由于盖部8被分割成第一盖部5和第二盖部6，因此能够将盖部8分两次安装于侧壁部4。由此，在从将第一盖部5安装到侧壁部4到安装第二盖部6为止的期间，能够在通过第一盖部5覆盖LCOS元件1的受光部1a而保护受光部1a的状态下，将电极端子3与半导体元件1b引线键合。而且，之后将第二盖部6安装到侧壁部4，从而能够密封LCOS元件1。由此，在光学装置10中，能够保护LCOS元件1的受光部1a不受异物影响，能够抑制由异物引起的光学元件的性能降低。另外，如图1(a)和图1(c)所示，在第二盖部6上设置有覆盖第一盖部5的一部分的凸部61，第二盖部6在该凸部61处与第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学装置，具备：光学元件；基板，搭载所述光学元件且形成有电极端子；侧壁部，包围所述光学元件和电极端子；以及盖部，固定于所述侧壁部且与所述基板相对，其特征在于，所述盖部被分割成：第一盖部，设置有光学窗口，且以该光学窗口覆盖所述光学元件的有效区域的方式固定于所述侧壁部；以及第二盖部，以覆盖将所述电极端子与所述光学元件连接的连接部件和所述电极端子的方式固定于所述侧壁部和所述第一盖部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.19 JP 2015-1241871.一种光学装置，具备：光学元件；基板，搭载所述光学元件且形成有电极端子；侧壁部，包围所述光学元件和电极端子；以及盖部，固定于所述侧壁部且与所述基板相对，其特征在于，所述盖部被分割成：第一盖部，设置有光学窗口，且以该光学窗口覆盖所述光学元件的有效区域的方式固定于所述侧壁部；以及第二盖部，以覆盖将所述电极端子与所述光学元件连接的连接部件和所述电极端子的方式固定于所述侧壁部和所述第一盖部。2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述第一盖部具备屏蔽部，该屏蔽部将所述有效区域从所述电极端子和所述连接部件隔开且向所述基板侧突出。3.根据权利要求1或2所述的光学装置，其特征在于，所述第一盖部的上表面与...

【专利技术属性】
技术研发人员：淡路大辅，
申请(专利权)人：株式会社藤仓，
类型：发明
国别省市：日本,JP