The invention discloses a wide beam linear ion source, including the installation of flange, discharge chamber, magnetic field component, anode, discharge filament and grid components, the discharge chamber is fixed on the mounting flange, the discharge chamber comprises an upper flange and a lower flange and a middle rectangular cavity, around the magnetic field components are installed in the discharge chamber, the lower flange of the anode is installed in the discharge chamber, the magnetic field components of the discharge chamber to provide vertical symmetrical magnetic field, the discharge filament comprises three filament, and the filament clip and vacuum electrode vertically fixed in the center of the discharge chamber and on the surface of the filament and the mounting flange. The invention has the advantages of more reasonable structure, and greatly reducing the difficulty of maintenance and maintenance.
【技术实现步骤摘要】
一种宽束流的条形离子源
本专利技术主要涉及一种用于离子束刻蚀机的离子源装置,特指一种适用于离子束刻蚀设备大尺寸基片的刻蚀应用的条形离子源。
技术介绍
离子束刻蚀是利用低能量平行Ar+离子束对基片表面进行轰击,将基片表面未覆盖掩膜的部分溅射出,从而达到选择刻蚀的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程,在各种常规刻蚀方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特点,并且可以对绝大部分材料进行刻蚀,例如:金属、合金、氧化物、化合物、混合材料、半导体、绝缘体、超导体等材料。常规离子束刻蚀机采用圆形离子源,但随着刻蚀基片尺寸的增大,圆形离子源部件的加工难度显著增大,大尺寸栅网也变形严重,造成束流均匀性呈下降趋势。有从业者提出了“宽束流条形离子源”,但现有的宽束流条形离子源仍然存在一些不足:1、由于部件的体积和重量均较大,加之传统安装方式的局限,对于前期的安装调试,后期的维护保养造成一些困难,尤其是对于灯丝这种具有一定寿命的损耗件的更换和维修,十分繁琐。2、传统的灯丝组件由一组(5条以上)等长的灯丝组成,各灯丝之间无法独立控制调节,从而造成离子源的束流均匀性无法保证,大大减小了其适应范围,尤其是在特定环境下的应用。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题就在于:针对现有技术存在的技术问题,本专利技术提供一种结构更加合理、能够大大降低维护保养难度的宽束流的条形离子源。为解决上述技术问题,本专利技术采用以下技术方案:一种宽束流的条形离子源,包括安装法兰、放电室、磁场部件、阳极、放电灯丝以及栅网部件,所述放电室固定在安装法兰上,所述放电室包括上法兰、下法兰和中间矩形腔体,所述磁场部件安装在放 ...
【技术保护点】
一种宽束流的条形离子源,包括安装法兰(1)、放电室(3)、磁场部件(11)、阳极(10)、放电灯丝(6)以及栅网部件(9),所述放电室(3)固定在安装法兰(1)上,所述放电室(3)包括上法兰(14)、下法兰(13)和中间矩形腔体,所述磁场部件(11)安装在放电室(3)的四周,所述阳极(10)安装在放电室(3)的下法兰(13)上,其特征在于,所述磁场部件(11)为放电室(3)提供竖直方向平行对称磁场,所述放电灯丝(6)包括三段灯丝,并通过灯丝夹(20)和真空电极(5)固定在放电室(3)的垂直中心面上,与灯丝安装法兰(4)连接。
【技术特征摘要】
1.一种宽束流的条形离子源,包括安装法兰(1)、放电室(3)、磁场部件(11)、阳极(10)、放电灯丝(6)以及栅网部件(9),所述放电室(3)固定在安装法兰(1)上,所述放电室(3)包括上法兰(14)、下法兰(13)和中间矩形腔体,所述磁场部件(11)安装在放电室(3)的四周,所述阳极(10)安装在放电室(3)的下法兰(13)上,其特征在于,所述磁场部件(11)为放电室(3)提供竖直方向平行对称磁场,所述放电灯丝(6)包括三段灯丝,并通过灯丝夹(20)和真空电极(5)固定在放电室(3)的垂直中心面上,与灯丝安装法兰(4)连接。2.根据权利要求1所述的宽束流的条形离子源,其特征在于,所述放电灯丝(6)中的三段灯丝中,位于中间的灯丝比位于两端的灯丝长。3.根据权利要求1或2所述的宽束流的条形离子源,其特征在于,所述安装法兰(1)上设置有真空电极(5)、工艺进气接头(15)和冷却水接头(16),用于离子源的水、电、气的真空引入。4.根据权利要求1或2所述的宽束流的条形离子源,其特征在于,所述放电室(3)为矩形环状结构,...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚俊,彭立波,佘鹏程,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十八研究所,
类型:发明
国别省市:湖南,43
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