一种可调节探针夹具制造技术

本实用新型专利技术针提供一种可调节探针夹具，包括底座，底座上表面设置有第一导向槽和第二导向槽，第一导向槽和第二导向槽相互平行，沿水平方向排列于底座上表面，第一导向槽和第二导向槽内均设有数个螺栓，螺栓可沿第一导向槽和第二导向槽进行滑动，底座上表面还设置有第一夹块和第二夹块，第一夹块和第二夹块对称布置于底座之上，第一夹块和第二夹块分别连接第一导向槽和第二导向槽上的螺栓，本实用新型专利技术把以前的一体式的夹具改成组合式，通过第一夹块和第二夹块在导向槽内做相对或相背滑动，可以调节间距，从而达到一个夹具满足多种间距的探针卡制作的夹具要求，节约制作周期，节省制作夹具的费用。

Adjustable probe clamp

The utility model provides an adjustable needle probe fixture, which comprises a base, a base surface is provided with a first guide slot and the second guide slot, a first guide slot and the second guide slot parallel to each other along the horizontal direction is arranged on the top surface of the base, the first guide slot and the second guide groove are provided with a plurality of bolts, bolts can slide along the first guide slot and the second guide slot, the base surface is provided with a first clamp block and the second clamp block, the first clamp block and the second clamp blocks are symmetrically arranged on the base, the first clamp block and the second clamping blocks are respectively connected with the first and second bolt guide groove of the guide groove, the utility model has the advantages of the integrated fixture before the change combined, through the first clamp block and the second clamp block or relative sliding in the guide groove, can adjust the distance, so as to achieve a fixture to meet a variety of space exploration Pin card production fixture requirements, saving production cycle, saving the cost of making fixture.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体测试
，具体涉及一种可调节探针夹具。
技术介绍
现今，在半导体器件的生产和开发中，为了监控半导体器件的稳定性、调试新产品设计以及进行失效分析，经常需要测试半导体器件的各种电学特性。在上述测试过程中通常使用探针卡。在现有的探针卡制作技术中，需要使用专门的夹具来进行摆针的工序，其中一种为中间宽度为固定间距的左右两片，也就是要符合要求的两边距离一定。现有的制作方式为需要多少宽度的产品就加工多少宽度，每个产品都有对应的模具来进行针卡的制作。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的一种可调节探针夹具，可灵活调节夹具之间的间距，满足不同宽度的产品加工需求。为了达到上述目的，本技术的一种可调节探针夹具，包括底座，底座上表面设置有第一导向槽和第二导向槽，所述第一导向槽和第二导向槽相互平行，沿水平方向排列于底座上表面，所述第一导向槽和第二导向槽内均设有数个螺栓，所述螺栓可沿第一导向槽和第二导向槽进行滑动，所述底座上表面还设置有第一夹块和第二夹块，所述第一夹块和第二夹块对称布置于底座之上，所述第一夹块和第二夹块分别连接第一导向槽和第二导向槽上的螺栓。进一步的，所述第一夹块和第二夹块之间形成一夹口，所述夹口用以夹持探针板。更进一步的，所述第一夹块和第二夹块沿第一导向槽和第二导向槽进行相向或相对滑动，以改变夹口的大小。更进一步的，所述第一夹块和第二夹块均为梯形立方体，其斜面上均设有两个垂直断面使斜面上具有两个起到限位作用的卡口部。更进一步的，所述第一夹块和第二夹块的斜面相对设置，所述第一夹块和第二夹块斜面上的卡口部形成对不同尺寸的探针板的夹持。本技术同现有技术相比，具有以下优点和有益效果：本技术针提供一种可调节探针夹具把以前的一体式的夹具改成组合试，在底板上有设置导向槽，再将第一夹块和第二夹块通过螺栓固定在底板上，通过第一夹块和第二夹块在导向槽内做相对或相背滑动，可以调节间距，从而达到一个夹具满足多种间距的探针卡制作的夹具要求，节约制作周期，节省制作夹具的费用。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的侧面剖视图；图2是本技术的俯视图。附图标记底座1第一夹块2第二夹块3第一导向槽4第二导向槽5螺栓7具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。为了使本技术的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图来进一步做详细说明。如图1和图2所示，本技术的一种可调节探针夹具，包括底座1，底座1上表面设置有第一导向槽4和第二导向槽5。第一导向槽4和第二导向槽5相互平行，沿水平方向排列于底座1上表面。第一导向槽4和第二导向槽5内均设有两个螺栓7，螺栓7均可沿第一导向槽4和第二导向槽5进行滑动。底座1上表面还设置有第一夹块2和第二夹块3，第一夹块2和第二夹块3对称布置于底座1之上，第一夹块2和第二夹块3分别连接第一导向槽4和第二导向槽5上的螺栓7。优选的，所述第一夹块2和第二夹块3之间形成一夹口，所述夹口用以夹持探针板。第一夹块2和第二夹块3沿第一导向槽4和第二导向槽5进行相向或相对滑动，以改变夹口的大小。优选的，第一夹块2和第二夹块3均为梯形立方体，其斜面上均设有两个垂直断面使斜面上具有两个起到限位作用的卡口部。第一夹块2和第二夹块3的斜面相对设置，第一夹块2和第二夹块3斜面上的卡口部形成对不同尺寸的探针板的夹持。综上所述，提供一种可调节探针夹具把以前的一体式的夹具改成组合试，在底板上有设置导向槽，再将第一夹块2和第二夹块3通过螺栓7固定在底板上，通过第一夹块2和第二夹块3在导向槽内做相对或相背滑动，可以调节间距，从而达到一个夹具满足多种间距的探针卡制作的夹具要求，节约制作周期，节省制作夹具的费用。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可调节探针夹具，其特征在于，包括底座，底座上表面设置有第一导向槽和第二导向槽，所述第一导向槽和第二导向槽相互平行，沿水平方向排列于底座上表面，所述第一导向槽和第二导向槽内均设有数个螺栓，所述螺栓可沿第一导向槽和第二导向槽进行滑动，所述底座上表面还设置有第一夹块和第二夹块，所述第一夹块和第二夹块对称布置于底座之上，所述第一夹块和第二夹块分别连接第一导向槽和第二导向槽上的螺栓。

【技术特征摘要】
1.一种可调节探针夹具，其特征在于，包括底座，底座上表面设置有第一导向槽和第二导向槽，所述第一导向槽和第二导向槽相互平行，沿水平方向排列于底座上表面，所述第一导向槽和第二导向槽内均设有数个螺栓，所述螺栓可沿第一导向槽和第二导向槽进行滑动，所述底座上表面还设置有第一夹块和第二夹块，所述第一夹块和第二夹块对称布置于底座之上，所述第一夹块和第二夹块分别连接第一导向槽和第二导向槽上的螺栓。2.如权利要求1所述的一种可调节探针夹具，其特征在于，所述第一夹块和第二夹块之间形成一夹口，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王懿，郭燕，韦敏亮，
申请(专利权)人：上海依然半导体测试有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31