一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，包括：用于固定玻璃光罩位置的定位销、用于放置玻璃光罩并实现自由调整玻璃光罩高度的顶销、以及用于固定引导盖位置的定位凹槽。定位销、顶销和定位凹槽匀按照特定的位置及排列关系设置在同一塑钢平台，且顶销与塑钢平台之间安装有弹簧，实现顶销相对塑钢平台的自由升降。本实用新型专利技术所述一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，通过设置定位销、顶销以及定位凹槽，使得金属引导盖可以精准定位并手动贴合到玻璃光罩指定位置上,实现玻璃光罩在步进式曝光机上自动加载并精准对位的功能。克服了背景技术中所述通过定制贴盖设备贴合引导盖时可操作性差且加工定制贴盖设备周期长、研发费用高的弊端。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及玻璃光罩
，尤其涉及一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置。
技术介绍
玻璃光罩photomask，也称铬版，是指在玻璃基板材料上溅射一层金属涂层然后覆盖一层表面光阻最后通过曝光显影蚀刻脱膜相关工序制作各种金属图形线路，以便用于感光胶涂层选择性曝光的一种结构。引导盖是粘贴在玻璃光罩下方左右两角特定位置的两块铁片状物体，用于玻璃光罩的自动装载，为玻璃光罩在后续曝光使用中的基准对位及套合曝光提供基础。由于玻璃光罩在使用中面临多次套合曝光的要求，因此对玻璃光罩的自动装载及玻璃光罩的对位控制有严格的精度要求。所以导引盖的贴合精度对玻璃光罩能否自动装载且实现精准对位控制起到决定性因素；故而，现有技术中，玻璃光罩厂商通常花费巨额的资金及超过半年的研发周期去加工定制贴盖设备，通过复杂的电磁机械手控制引导盖升降，然后通过带有坐标量测系统的机械移动平台移动玻璃光罩的位置进而实现对引导盖的贴合；但是，由于定制设备的不稳定性及复杂性，导致在贴合时经常发生导引盖控制失灵砸伤玻璃光罩的问题，并且通过贴盖设备只能通过慢慢移动玻璃光罩的位置实现一个引导盖贴合完成后再进行下一个引导盖的贴合，工作效率低下，且长时间的操作会对玻璃光罩的洁净度造成二次污染。
技术实现思路
为此，本技术所要解决的技术问题是：提供一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，以克服现有技术中通过定制贴盖设备贴合引导盖时可操作性差且加工定制专用设备周期长、研发费用高的弊端。本技术提供了一种玻璃光罩手动贴合引导盖的装置，包括：用于固定玻璃光罩位置的定位销、用于放置玻璃光罩并实现自由调整玻璃光罩高度的顶销、以及用于固定引导盖位置的定位凹槽，定位销、顶销和定位凹槽匀按照特定的位置及排列关系设置在同一塑钢平台，且顶销与塑钢平台之间安装有弹簧，实现顶销相对塑钢平台的自由升降。其中，所述定位销为四个，加工材质选用不锈钢，通过对玻璃光罩相邻两个断面的卡靠实现对玻璃光罩位置的固定。所述顶销为四个，加工材质为ABS树脂，通过顶销与塑钢平台之间安装的弹簧实现顶销的自由升降，进而通过对玻璃光罩四个角的直接接触实现玻璃光罩放置及自由调整玻璃光罩高度的功能。所述装置还包括：两个用于放置引导盖的定位凹槽，通过定位凹槽与定位销之间的相对位置最终实现金属引导盖可以精准定位并手动贴合到玻璃光罩指定位置的功能。本技术所述一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，通过设置定位销、顶销、以及定位凹槽，使得引导盖可以精准定位手动贴合到玻璃光罩下方左右两角特定位置。克服了
技术介绍
中所述通过定制贴盖设备贴合引导盖时可操作性差且加工定制贴盖设备周期长、研发费用高的弊端。附图说明图1为本实施例所述一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置结构示意图。具体实施方式下面，结合附图对本技术进行详细描述。如图1所示，本实施例提供了一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，该装置包括：用于固定玻璃光罩14位置的定位销11、用于放置玻璃光罩14并实现自由调整玻璃光罩14高度的顶销12、以及用于固定引导盖位置的定位凹槽13。定位销11、顶销12和定位凹槽13匀按照特定的位置及排列关系设置在同一塑钢平台15，且顶销12与塑钢平台15之间安装有弹簧（图中未标示），实现顶销12相对塑钢平台15的自由升降。为实现玻璃光罩14相对塑钢平台15位置的固定，所述装置包括四个定位销11，并且按照L型位置排列在塑钢平台15的上侧和左侧（各两个），定位销11为不锈钢材质，直径6mm。其中上侧的两个定位销11与左侧的两个定位销11形成垂直位置分布，可以与玻璃光罩14的两个相邻断面紧密卡靠，并且四个定位销是垂直镶嵌于塑钢平台15上面。为实现玻璃光罩14的放置及自由升降，所述装置还包括四个顶销12，顶销12按照矩形位置排列在塑钢平台15中央，加工材质选用ABS树脂，可以很好的与玻璃光罩14四个顶角的直接接触，而不会划伤或污染玻璃光罩14，并且四个顶销12与塑钢平台15之间安装有弹簧（图中未标示），进而实现通过顶销12的升降带动玻璃光罩14的升降。为实现引导盖相对塑钢平台15位置的固定，所述装置又包括两个定位凹槽13，定位凹槽13与塑钢平台15上侧两个定位销11呈平行位置关系，并且位于四个顶销12所构成的矩形上方2mm位置。由于引导盖的厚度为1.6mm，故加工定位凹槽13的深度设置为1.0mm，从而实现引导盖放置在定位凹槽13上面后，引导盖会突出塑钢平台150.6mm，进而实现玻璃光罩14通过顶销12升降与引导盖贴合时，玻璃光罩14与塑钢平台15之间存在0.6mm的间隙，从而避免玻璃光罩的划伤或污染。本实施例所述装置首次在玻璃光罩行业结合玻璃光罩的特点及引导盖的贴合要求设计加工而成，用于辅助操作人员对玻璃光罩手动贴合引导盖。通过使用所述装置对玻璃光罩进行手动贴合引导盖，具有安全可靠，方便高效的特点。综上所述，本技术所述一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，通过设置定位销、顶销、以及定位凹槽，使得引导盖可以精准定位手动贴合到玻璃光罩下方左右两角特定位置。克服了
技术介绍
中所述通过定制贴盖设备贴合引导盖时可操作性差且加工定制贴盖设备周期长、研发费用高的弊端。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，其特征在于，包括：用于固定玻璃光罩位置的定位销、用于放置玻璃光罩的顶销、用于固定引导盖位置的定位凹槽、定位销、顶销与定位凹槽均与同一塑钢平台连接；所述定位销为四个，按照L型位置排列在塑钢平台的上侧和左侧；所述顶销为四个，按照矩形位置排列在塑钢平台中央；所述定位凹槽为两个，按照与塑钢平台上侧两个定位销呈平行位置关系排列在四个顶销所构成的矩形上方2mm位置。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，其特征在于，包括：用于固定玻璃光罩位置的定位销、用于放置玻璃光罩的顶销、用于固定引导盖位置的定位凹槽、定位销、顶销与定位凹槽均与同一塑钢平台连接；所述定位销为四个，按照L型位置排列在塑钢平台的上侧和左侧；所述顶销为四个，按照矩形位置排列在塑钢平台中央；所述定位凹槽为两个，按照与塑钢平台上侧两个定位销呈平行...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：广州市仕元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44