一种柱塞式压电叠堆泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柱塞式压电叠堆泵，包括泵体、柱塞、气缸、堵头、壳体、预紧螺栓、压电叠堆、第一预紧弹簧、密封圈、第二预紧弹簧、调节螺母；压电叠堆通过预紧螺栓固定在壳体内，壳体下端面与气缸上端面通过螺栓固定在一起，壳体上设有出气孔，堵头被置于气缸内，第一预紧弹簧置于堵头的下端面；气缸内设有气孔，通过气孔与外界高压气体相通，泵体上端面与气缸的下端面通过螺栓固定在一起，柱塞置于泵体内，密封圈安装在柱塞上，泵体内设有入口单向阀、泵腔和出口单向阀。本实用新型专利技术采用柱塞系统克服了压电叠堆输出位移小的缺点，在不影响压电叠堆工作频率的情况下大幅度提高泵的输出流量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种压电泵，特别涉及一种柱塞式压电叠堆泵。
技术介绍
随着微电子工业、材料及控制等技术的发展成熟，近年来微机电系统有了飞速的发展。作为微机电系统的一个重要分支，压电叠堆泵由于能精确检测和控制流量，在药物微量输送、燃料微量喷射、集成电子元件封装、冷却以及微量化学分析等方面有着重要的应用前景。压电叠堆泵是一种由压电振子驱动的容积泵，同传统的机械式液压泵相比，压电叠堆泵具有结构简单、体积小、无电磁干扰、流量及压力可控性好等诸多优势。技术专利“压电叠堆泵”(申请公布号CN101216027A)提出了一种大流量、高输出压力的新型压电叠堆泵，其特征在于压电叠堆在外加激励的作用下推动柱塞，柱塞带动金属密封膜片上下运动从而实现泵腔容积变化，工作腔底部装有两个单向阀，为进水口单向阀和出水口单向阀，分别连通进、出水口，通过泵腔容积的变化实现液体的单向流入与流出。但压电叠堆的伸缩变形能力极其微小、仅微米级，直接利用压电叠堆驱动柱塞实现流体输出的压电泵的输出流量还十分有限，无法满足大流量的应用领域的需本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柱塞式压电叠堆泵，其特征在于包括泵体、柱塞、气缸、堵头、壳体、预紧螺栓、压电叠堆、第一预紧弹簧、密封圈、第二预紧弹簧、调节螺母；所述压电叠堆通过预紧螺栓固定在壳体内，所述壳体下端面与气缸上端面通过螺栓固定在一起，所述壳体上设有出气孔；所述气缸内设有气孔，所述气孔与外界高压气体相通；所述泵体上端面与气缸的下端面通过螺栓固定在一起，所述柱塞置于泵体内，密封圈安装在柱塞上，所述调节螺母通过螺纹固定在泵体上，所述泵体内设有入口单向阀、泵腔和出口单向阀。

【技术特征摘要】
1.一种柱塞式压电叠堆泵，其特征在于包括泵体、柱塞、气缸、堵头、壳体、预紧螺栓、压电叠堆、
第一预紧弹簧、密封圈、第二预紧弹簧、调节螺母；所述压电叠堆通过预紧螺栓固定在壳体内，所述壳体
下端面与气缸上端面通过螺栓固定在一起，所述壳体上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾守东，江海，刘建芳，孙立权，路崧，焦晓阳，杨志刚，杨洋，吕庆庆，崔建松，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：新型
国别省市：吉林;22