一种镁铝合金冷却板制造技术

本发明专利技术公开了一种镁铝合金冷却板，包括上板和下板，所述上板包括位于上板内表面两端的上板冷却液进口槽、上板冷却液出口槽以及位于上板冷却液进口槽和上板冷却液出口槽之间的上板冷却槽，下板内表面设有与上板冷却液进口槽相匹配的下板冷却液进口槽，与上板冷却液出口槽相匹配的下板冷却液出口槽，与上板冷却槽相匹配的下板冷却槽，与缓冲槽Ⅰ相匹配的缓冲槽Ⅲ，与缓冲槽Ⅱ相匹配的缓冲槽Ⅳ，与环形焊接部Ⅰ相匹配的环形焊接部Ⅱ，上板和下板之间通过环形焊接部Ⅰ，焊接条形部Ⅰ，焊接点Ⅰ，环形焊接部Ⅱ，焊接条形部Ⅱ和焊接点Ⅱ焊接在一起。本发明专利技术可有效地散发在溅射期间产生的热，提高产品的性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镁铝合金冷却板。
技术介绍
在用于工业产品的制造过程中，有时需要使用冷却发热物体的冷却板。在用于制造半导体、平板显示器等的溅射系统中，称为“背板”的冷却板已经用于消散在溅射期间产生在目标材料上的热量。溅射期间的散热特性非常重要，以至于可以左右产品的性能。因此，需要开发可以有效散发在溅射期间产生的热的冷却板。
技术实现思路
根据上述提出的技术问题，而提供一种镁铝合金冷却板。本专利技术采用的技术手段如下：一种镁铝合金冷却板，其特征在于，包括上板和下板，所述上板包括位于所述上板内表面两端的上板冷却液进口槽、上板冷却液出口槽以及位于所述上板冷却液进口槽和所述上板冷却液出口槽之间的上板冷却槽，所述上板冷却槽通过上板流道Ⅰ与所述上板冷却液进口槽连通，所述上板冷却槽通过上板流道Ⅱ与所述上板冷却液出口槽连通，所述上板冷却槽与所述上板流道Ⅰ之间还设有缓冲槽Ⅰ，所述上板冷却槽与所述上板流道Ⅱ之间还设有缓冲槽Ⅱ，所述上板内表面还设有环形焊接部Ⅰ，所述环形焊接部包括位于所述上板内表面两端的焊接板Ⅰ和位于所述上板内表面两侧的焊接条Ⅰ，所述焊接条Ⅰ外侧设有多个焊接条形部Ⅰ和焊接点Ⅰ，所述上板外表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镁铝合金冷却板，其特征在于，包括上板和下板，所述上板包括位于所述上板内表面两端的上板冷却液进口槽、上板冷却液出口槽以及位于所述上板冷却液进口槽和所述上板冷却液出口槽之间的上板冷却槽，所述上板冷却槽通过上板流道Ⅰ与所述上板冷却液进口槽连通，所述上板冷却槽通过上板流道Ⅱ与所述上板冷却液出口槽连通，所述上板冷却槽与所述上板流道Ⅰ之间还设有缓冲槽Ⅰ，所述上板冷却槽与所述上板流道Ⅱ之间还设有缓冲槽Ⅱ，所述上板内表面还设有环形焊接部Ⅰ，所述环形焊接部包括位于所述上板内表面两端的焊接板Ⅰ和位于所述上板内表面两侧的焊接条Ⅰ，所述焊接条Ⅰ外侧设有多个焊接条形部Ⅰ和焊接点Ⅰ，所述上板外表面设有与所述上板冷却液...

【技术特征摘要】
1.一种镁铝合金冷却板，其特征在于，包括上板和下板，所述上板包括位于所述上板内表面两端的上板冷却液进口槽、上板冷却液出口槽以及位于所述上板冷却液进口槽和所述上板冷却液出口槽之间的上板冷却槽，所述上板冷却槽通过上板流道Ⅰ与所述上板冷却液进口槽连通，所述上板冷却槽通过上板流道Ⅱ与所述上板冷却液出口槽连通，所述上板冷却槽与所述上板流道Ⅰ之间还设有缓冲槽Ⅰ，所述上板冷却槽与所述上板流道Ⅱ之间还设有缓冲槽Ⅱ，所述上板内表面还设有环形焊接部Ⅰ，所述环形焊接部包括位于所述上板内表面两端的焊接板Ⅰ和位于所述上板内表面两侧的焊接条Ⅰ，所述焊接条Ⅰ外侧设有多个焊接条形部Ⅰ和焊接点Ⅰ，所述上板外表面设有与所述上板冷却液进口槽连通的进液孔，所述缓冲槽Ⅰ和所述缓冲槽Ⅱ内均设有缓冲凸起，所述下板内表面设有与所述上板冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：李恩鸿，李海旭，田绍洁，
申请(专利权)人：大连圣洁真空技术开发有限公司开发区分公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21