一种制备CIGS太阳能电池背电极的方法技术

本发明专利技术涉及一种制备CIGS太阳能电池背电极的方法，这种背电极的特征在于其由三层Mo薄膜组成，具有良好的衬底粘接性，导电性，并能够对吸收层起到钝化作用，提高CIGS太阳能电池的光电转换效率，其结构包括：粘接层，该粘接层制作在衬底上，够使衬底和导电层之间形成良好粘接；导电层，该导电层为与粘接层不同结构的Mo薄膜，具有良好的导电性能，用于收集传导吸收层产生的电子；钝化层，该钝化层是另一层不同结构的Mo薄膜，具有钝化CIGS吸收层的作用，使太阳能电池的性能更加优异。这一复合Mo薄膜背电极具有低成本，设备工艺简单，易加工，膜层薄等特点，能够提高CIGS太阳能电池性能，具有广泛的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于太阳能电池领域，涉及到一种制备CIGS太阳能电池背电极的工艺方法。
技术介绍
伴随世界范围内的能源危机与环境恶化，太阳能电池受到了日益广泛的重视并取得了长足的发展。其中CIGS太阳能电池因其具有用材少、成本低、转化率高及无衰减等优点，而成为未来最具有潜力的一种电池。CIGS电池一般由衬底、背电极、CIGS吸收层、CdS缓冲层、ZnO窗口层、透明电极及铝电极组成。其中背电极一般采用Mo金属薄膜，起到连接衬底与吸收层和收集传导电子的作用，因此它的结构与性质对电池的光电转换效率具有很大的影响。Mo金属薄膜背电极一般采用磁控溅射工艺制备，其制备工艺由一段式单层Mo薄膜工艺发展为两段式双层Mo薄膜工艺，背电极与衬底的粘接性能及其电学性能都得到了较大的改善。但高效太阳能电池要求更加优良的电极，其不仅要其有良好的粘接性与导电性，同时还能改善CIGS吸收层，提高电池的性能。本专利技术旨在满足这一要求，利用三段式溅射工艺沉积Mo薄膜，该电极不仅具有优良粘接性与导电性，而且还能够减少电子空穴对在电极上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于CIGS太阳能电池的复合背电极，其特征包括：粘接层，该粘接层设置在衬底上，连接衬底及其上的导电层，使器件与衬底有良好的粘结性而不剥离导电层，该导电层设置在粘接层上，该导电层与粘接层材料相同，但具有不同的微观结构与电性能；钝化层，该钝化层设置在导电层上，是具有钝化作用的过渡层。

【技术特征摘要】
1.一种用于CIGS太阳能电池的复合背电极，其特征包括：
粘接层，该粘接层设置在衬底上，连接衬底及其上的导电层，使器件与衬底有良好的粘结性而不剥离
导电层，该导电层设置在粘接层上，该导电层与粘接层材料相同，但具有不同的微观结构与电性能；
钝化层，该钝化层设置在导电层上，是具有钝化作用的过渡层。
2.如权利要求1所述的基于CIGS薄膜电池的复合背电极，其特征在于，其中的粘接层是由磁控溅射沉积
方法制作的Mo薄膜，具有粗糙疏松的微观结构，并具有电阻大，粘接...

【专利技术属性】
技术研发人员：章婷，陈志争，钱磊，
申请(专利权)人：苏州瑞晟纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32