一种电子回旋阳极高压电源主控制器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电子回旋阳极高压电源主控制器，包括控制室，所述控制室内设有第一光电转换模块，且所述控制室一侧设有主控制器，所述主控制器内腔设有第二光电转换模块，所述第二光电转换模块电性连接所述第一光电转换模块，且所述第二光电转换模块一侧电性连接电压控制模块，所述电压控制模块电性连接谐波过滤器，所述谐波过滤器电性连接阳极高压电源，所述阳极高压电源一端电性连接电子回旋管，另一端电性连接中央控制器，所述中央控制器电性连接阳极高压电源开关，所述阳极高压电源开关电性连接电性连接所述电压控制模块，本实用新型专利技术利用MWF201‑M‑ST模块与IPAM‑4404模拟量输出模块配合控制所述电子回旋管，简单方便，容易实现。

Electronic rotary anode high-voltage power supply main controller

The utility model discloses an electron cyclotron anode high voltage power supply controller, including the control room, the control room is provided with a first photoelectric conversion module, and the control room is arranged on one side of the main controller, the main controller is arranged in the inner cavity of the second photoelectric conversion module, the second photoelectric conversion module is electrically connected with the first photoelectric conversion the module, and the second side of the photoelectric conversion module is electrically connected with the voltage control module, the voltage control module is electrically connected with the harmonic filter, the harmonic filter is electrically connected to the anode of high voltage power supply, the anode high voltage power supply is electrically connected with the electron cyclotron resonance tube, the other end is electrically connected to the central controller, the central the controller is electrically connected with the anode voltage of the power switch, the switch of anode high voltage power supply is electrically connected electrically connected with the voltage control module, the By using MWF201 M model ST module and IPAM 4404 analog output module with the control of the electronic gyrotron, simple and convenient, easy to implement.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种等离子体加热
，特别涉及一种电子回旋阳极高压电源主控制器。
技术介绍
在等离子体技术发展中，直流电在射频等离子体应用工艺中发挥了十分重要的作用，直流带等离子体为有极放点，运行气压高且密度低，电离率和粒子活性低，虽然射频放电提高了等离子体密度,也可以实现无极放电,但运行气压较高,密度、电离率、粒子活性仍然较低，因此对等离子体的放点电压要求较高，高压阳极电源为回旋管供电时，根据等离子体的速度和运动方式对高压阳极电源的电压要求不同，传统的控制器多采用人为调整电压的方式，不能及时根据回旋管的情况调整电压，因此，研制一种电子回旋阳极高压电源主控制器，利用光电信号之间的相互转化实现对回旋管电压的调节，实现了工作人员的调整电路的分离，具有重要的现实意义。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种电子回旋阳极高压电源主控制器。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种电子回旋阳极高压电源主控制器，包括控制室，所述控制室内设有第一光电转换模块，且所述控制室一侧设有主控制器，所述主控制器内腔设有第二光电转换模块，所述第二光电转换模块电性连接所述第一光电转换模块，且所述第二光电转换模块一侧电性连接电压控制模块，所述电压控制模块电性连接谐波过滤器，所述谐波过滤器电性连接阳极高压电源，所述阳极高压电源一端电性连接电子回旋管，另一端电性连接中央控制器，所述中央控制器电性连接阳极高压电源开关，所述阳极高压电源开关电性连接电性连接所述电压控制模块。优选地，所述第一光电转换模块为MWF201-M-ST模块。优选地，所述第二光电转换模块为IPAM-4404模拟量输出模块。优选地，所述电压控制模块的电压信号范围是0-30KVDC。优选地，所述阳极高压电源电性连接市电模块。本技术的有益效果是：本技术利用所述第一光电转换模块与第二光电转换模块配合，将所述控制室内的操作信号通过所述第一光电转换模块转化成为电信号发送到所述主控制器内，然后通过所述第二光电转换模块将电信号转化成为光信号控制电压控制模块的电压调整，进而控制所述阳极高压电源为所述回旋管提供电压，结构简单，操作方便，在保证所述回旋管按要求工作的前提下，简化了工作人员的操作程序。附图说明图1为一种电子回旋阳极高压电源主控制器的结构示意图。图中：1、控制室；2、第一光电转换模块；3、主控制器；4、第二光电转换模块；5、电压控制模块；6、谐波过滤器；7、阳极高压电源；8、电子回旋管；9、中央控制器；10、阳极高压电源开关；11、市电模块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术公开了一种电子回旋阳极高压电源主控制器，包括控制室1，所述控制室1内设有第一光电转换模块2，且所述控制室1一侧设有主控制器3，所述主控制器3内腔设有第二光电转换模块4，所述第二光电转换模块4电性连接所述第一光电转换模块2，且所述第二光电转换模块4一侧电性连接电压控制模块5，所述电压控制模块5电性连接谐波过滤器6，所述谐波过滤器6电性连接阳极高压电源7，所述阳极高压电源7一端电性连接电子回旋管8，另一端电性连接中央控制器9，所述中央控制器9电性连接阳极高压电源开关10，所述阳极高压电源开关10电性连接电性连接所述电压控制模块5。所述第一光电转换模块2为MWF201-M-ST模块，MWF201-M-ST模块能够进行光电信号之间的相互转换，并实现光纤传输，准确性较高，且传输速度较快，所述第二光电转换模块4为IPAM-4404模拟量输出模块，为了配合所述第一光电转换模块2，将所述控制室1内的信号进行转化与输出，利用IPAM-4404模拟量输出模块能够实现与MWF201-M-ST模块的配合，输出的安全性高，能够实现紧急输出和同步输出，并且具有编程顺序输出的功能，所述电压控制模块5的电压信号范围是0-30KVDC，由于所述电子回旋管8的工作电压较高，因此选择具有0-30KVDC电压信号范围的所述电压控制模块5能够满足所述电子回旋管8的需要，所述阳极高压电源7电性连接市电模块11，利用所述市电模块11为所述阳极高压电源7供电，简单方便，节约成本。本技术在使用时，工作人员在所述控制室1内通过所述第一光电转换模块2将所述控制室1内的信号传至所述主控制器3中，所述主控制器3中的所述第二光电转换模块4讲信号进行转化，并根据所述第二光电转换模块4的信号控制所述电压控制模块5，在此过程中，所述中央处理器控制所述阳极高压电源开关10控制所述阳极高压电源7的运行情况，进而控制所述电子回旋管8的工作。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子回旋阳极高压电源主控制器，包括控制室(1)，其特征在于：所述控制室(1)内设有第一光电转换模块(2)，且所述控制室(1)一侧设有主控制器(3)，所述主控制器(3)内腔设有第二光电转换模块(4)，所述第二光电转换模块(4)电性连接所述第一光电转换模块(2)，且所述第二光电转换模块(4)一侧电性连接电压控制模块(5)，所述电压控制模块(5)电性连接谐波过滤器(6)，所述谐波过滤器(6)电性连接阳极高压电源(7)，所述阳极高压电源(7)一端电性连接电子回旋管(8)，另一端电性连接中央控制器(9)，所述中央控制器(9)电性连接阳极高压电源开关(10)，所述阳极高压电源开关(10)电性连接电性连接所述电压控制模块(5)。

【技术特征摘要】
1.一种电子回旋阳极高压电源主控制器，包括控制室(1)，其特征在于：所述控制室(1)内设有第一光电转换模块(2)，且所述控制室(1)一侧设有主控制器(3)，所述主控制器(3)内腔设有第二光电转换模块(4)，所述第二光电转换模块(4)电性连接所述第一光电转换模块(2)，且所述第二光电转换模块(4)一侧电性连接电压控制模块(5)，所述电压控制模块(5)电性连接谐波过滤器(6)，所述谐波过滤器(6)电性连接阳极高压电源(7)，所述阳极高压电源(7)一端电性连接电子回旋管(8)，另一端电性连接中央控制器(9)，所述中央控制器(9)电性连接阳极高压电源开关(10)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡鑫，崔方泰，方雄，郭志峰，楚航，朱文祥，
申请(专利权)人：武汉胜为恒电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42