一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其中设备包括：炉体；红外光谱加热装置，设置于炉体内，用于通过红外光谱加热炉体内的刷有预设厚度银浆的硅片；排气装置，包括进气管、通道壁上设有多个微孔的布气通道和充有气氛气体的送气管；炉体的炉体壁上开设一排风装置安装通道，用于通过排风装置安装通道将排风装置与炉体的内部连通；其中，进气管的一端位于炉体的外侧，进气管的另一端穿设炉体的炉体壁且与布气通道的一端连接，布气通道的另一端与送气管连接，送气管设置于炉体的内部，布气通道的气氛气体将加热的硅片产生的有机气体带出，通过排风装置排出有机气体及气氛气体。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池导电银浆料领域，尤其涉及一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备。
技术介绍
HIT(HeterojunctionwithIntrinsicThin-layer，本征薄层异质结)膜厚5～10nm。HIT太阳能电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶Si片的来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主；在硅基板上沉积高能隙(Energybandgap)的硅奈米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背表面有着背表面电场。通过优化硅的表面织构，可以降低透明导电氧化层(TCO)和a-Si层的光学吸收损耗。由于HIT电池制备工艺温度低、转换效率高，工艺时间短及高温性好的特点，HIT电池所用材料在高温时导致印刷电极的材料只能采用低温银浆，电池表面印刷完导电银浆后，需要进行烘干，然后用不高于250℃的固化工艺将银浆与导电层(如TCO、ITO、IWO、IMO、IC-H、ZnO，等等)有效导电连接。传统的行业采用的低温银浆固化的方法基本上采用了热风烘干炉体加热的方法，该热风烘干炉体加热，在固化时主要采用热风循环，热风烘干及固化从浆料的表面开始，导致残余的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，包括：炉体(1)；红外光谱加热装置，设置于所述炉体(1)内，用于通过红外光谱加热所述炉体(1)内的刷有预设厚度银浆(17)的硅片(18)；排气装置，包括进气管(3)、通道壁上设有多个微孔的布气通道和充有气氛气体的送气管(5)；所述炉体(1)的炉体壁上开设一排风装置安装通道(7)，用于通过所述排风装置安装通道(7)将排风装置与所述炉体(1)的内部连通；其中，所述进气管(3)的一端位于所述炉体(1)的外侧，所述进气管(3)的另一端穿设所述炉体(1)的炉体壁且与所述布气通道的一端连接，所述布气通道的另一端与所述送气管(5)连接，所述送气管(5)设...

【技术特征摘要】
1.一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，包括：炉体(1)；红外光谱加热装置，设置于所述炉体(1)内，用于通过红外光谱加热所述炉体(1)内的刷有预设厚度银浆(17)的硅片(18)；排气装置，包括进气管(3)、通道壁上设有多个微孔的布气通道和充有气氛气体的送气管(5)；所述炉体(1)的炉体壁上开设一排风装置安装通道(7)，用于通过所述排风装置安装通道(7)将排风装置与所述炉体(1)的内部连通；其中，所述进气管(3)的一端位于所述炉体(1)的外侧，所述进气管(3)的另一端穿设所述炉体(1)的炉体壁且与所述布气通道的一端连接，所述布气通道的另一端与所述送气管(5)连接，所述送气管(5)设置于所述炉体(1)的内部，所述布气通道的气氛气体将加热的硅片(18)产生的有机气体带出，通过所述排风装置排出所述有机气体及所述气氛气体。2.如权利要求1所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，所述红外光谱加热装置包括：红外加热灯(6)；所述炉体(1)，包括第一炉体部分(19)和与所述第一炉体部分(19)之间具有间隔的第二炉体部分(20)；所述红外加热灯(6)位于所述第一炉体部分(19)内部或所述第二炉体部分(20)内部。3.如权利要求1所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，所述布气通道设置方向与所述炉体(1)的长度方向一致；或者所述布气通道设置方向与所述炉体(1)的高度方向一致；或者所述布气通道设置方向与所述炉体(1)的宽度方向一致。4.如权利要求1、2或3所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，所述布气通道开设于所述炉体(1)的炉体壁上，其中，所述布气通道的形状为矩形或者圆形；或者所述布气通道为所述布气管(4)，其中，所述布气管(4)为直管或者弯管、所述布气管(4)径截面的形状为圆形、所述布气管(4)长度方向上的径截面的面积不同和\\或所述布气管(4)的材质为陶瓷、塑料、碳纤维、玻璃或者金属材质；所述多个微孔位于所述布气管(4)的管壁上的排列方式为非均匀排列方式或者均匀排列方式和\\或所述多个微孔的每个微孔的直径不同；所述气氛气体为压缩空气或者氮气。5.如权利要求1、2或3所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备还包括：与所述炉体(1)连接的驱动装置，包括：第一主动辊(11)、驱动电机(12)、驱动皮带(13)、驱动单元(16)及、穿设所述炉体(1)的炉体壁且贯穿所述炉体(1)的传输皮带(9)；其中，所述驱动电机(12)与所述第一主动辊(11)连接，所述驱动皮带(13)包裹在所述第一主动辊(11)及所述驱动单元(16)的第二主动辊(15)上，所述传输皮带(13)包裹在所述第二主动辊(15)及所述驱动单元(16)的至少一个传动辊(10)上，所述传输皮带(9)与所述驱动皮带(13)包裹在所述第二主动辊(15)上的不同位置处；所述驱动电机(12)驱动所述第一主动辊(11)转动，依次带动所述驱动皮带(13)、所述第二主动辊(15)、所述至少一个传动辊(10)、所述传输皮带(9)转动。6.如权利要求5所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，所述第一主动辊(11)的重心处的径截面面积小于所述第一主动辊(11)两端的径截面面积；和\\或...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伯平，
申请(专利权)人：南京华伯新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32