【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及雾化热分解沉积薄膜的成形
技术介绍
近年来,雾化热分解沉积装置广泛用于化学法薄膜制备技术中,其中气雾沉积装置是其薄膜高质量均匀沉积的关键设备。目前主流的雾化沉积装置主要是采用保护罩结构的全封闭装置和半封闭装置,其中全封闭装置是将将雾化喷头或其雾化后的气流和镀制薄膜的基板共同约束在一个相对密闭的空间区域内进行薄膜沉积;半封闭装置是将雾化后的气流在雾化罩的约束下输运到基板表面,在相对开放的大气环境下进行薄膜沉积。前者主要用于小尺寸基板表面的间歇性薄膜热分解沉积制备,薄膜沉积同时在整个基板表面进行,生产效率低、成本高,同时薄膜的均匀性难以保证;而后者主要用于连续量产的薄膜热分解沉积制备,产业化技术应用较多,但是废气污染严重、生产环境恶劣,同时,沉积气雾的流动和分布控制困难,薄膜表面质量差、工艺稳定性和重复性差。这些都成为雾化热分解沉积薄膜产业化应用和技术推广的主要障碍。因此,如何控制雾化沉积过程中的流场分布、沉积雾滴的均匀性、热分解反应副产物的收集和集中处理排放是雾化沉积室装置研究的核心技术问题,也目前雾化热分解薄膜沉积技术产业化应用的关键技术。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供简捷紧凑,能够有效控制雾化沉积过程中流场分布、沉积雾滴的均匀性、热分解反应副产物的收集、适合工业化生产的一种雾化沉积室。本专利技术主要由气雾缓冲室、气雾隔离室和废气回收室组成,在气雾缓冲室上设置气雾导入口,在气雾隔离室上设置净气导入口,在废气回收室上设置废气导出口;所述气雾隔离室和废气回收室并排设置,气雾隔离室和废气回收室分别设置在气雾缓冲室的下方,并在气雾隔离 ...
【技术保护点】
一种雾化沉积室,其特征在于:主要由气雾缓冲室、气雾隔离室和废气回收室组成,在气雾缓冲室上设置气雾导入口,在气雾隔离室上设置净气导入口,在废气回收室上设置废气导出口;所述气雾隔离室和废气回收室并排设置,气雾隔离室和废气回收室分别设置在气雾缓冲室的下方,并在气雾隔离室和废气回收室之间设置气雾导出狭缝,所述气雾缓冲室的下端与所述气雾导出狭缝的上端联通,在气雾隔离室的下端设置气雾约束狭缝,在废气回收室的下端设置气雾回收狭缝,所述气雾导出狭缝的下端设置在所述气雾约束狭缝和气雾回收狭缝之间,气雾导出狭缝与气雾约束狭缝和气雾回收狭缝相互平行布置。
【技术特征摘要】
1.一种雾化沉积室,其特征在于:主要由气雾缓冲室、气雾隔离室和废气回收室组成,在气雾缓冲室上设置气雾导入口,在气雾隔离室上设置净气导入口,在废气回收室上设置废气导出口;所述气雾隔离室和废气回收室并排设置,气雾隔离室和废气回收室分别设置在气雾缓冲室的下方,并在气雾隔离室和废气回收室之间设置气雾导出狭缝,所述气雾缓冲室的下端与所述气雾导出狭缝的上端联通,在气雾隔离室的下端设置气雾约束狭缝,在废气回收室的下端设置气雾回收狭缝,所述气雾导出狭缝的下端设置在所述气雾约束狭缝和气雾回收狭缝之间,气雾导出狭缝与气雾约束狭缝和气雾回收狭缝相互...
【专利技术属性】
技术研发人员:张卫华,高中明,陈源清,
申请(专利权)人:扬州明晟新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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