防死水处理装置与超纯水制造系统制造方法及图纸

一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种水处理装置，且特别是涉及一种防死水处理装置。技术背景近年来，由于半导体技术不断地蓬勃发展，使得高科技产品得以大步跃 进。而在人们追求产品具有轻薄短小等优点的需求之下，各类产品的元件也 趋于微型化。如此一来，在半导体类产品中，便必须增加微小元件的集成度。然而，随着元件复杂度与集成度的升高，晶片表面的微小缺陷(minute defects) 和微量杂质(trace impurities)将会严重地影响元件的性能。晶片表面的微小缺 陷和微量杂质不但会劣化元件的特性和可靠度，甚者还会降低晶片的成品 率。因此，在半导体工艺中，用以清洗晶片以移除附着于晶片表面上无用物 质的洗净工艺便显得相当重要。超洁净技术(ultraclean technology)是一种利用超纯水以洗净晶片的技 术。若使用原水(raw water)清洗晶片，由于原水内含有各类形式的杂质，杂 质容易沉淀于晶片表面上反而造成晶片元件的劣化，因此，使用于晶片洗净 步骤的水，需先经过净化而成为超纯水。目前常用的超纯水制造系统包括前处理系统(pretreatment system)、主处 理系统(primary本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括：旁流管路，该旁流管路的一端连接于该水处理单元的进水口，该旁流管路的另一端连接于该水处理单元的出水口；旁流阀，配置于该旁流管路上；和短流管路，该短流管路的一端连接于该旁流阀的进水口，该短流管路的另一端连接于该旁流阀的出水口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏善修，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]