防死水处理装置与超纯水制造系统制造方法及图纸

一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种水处理装置，且特别是涉及一种防死水处理装置。技术背景近年来，由于半导体技术不断地蓬勃发展，使得高科技产品得以大步跃 进。而在人们追求产品具有轻薄短小等优点的需求之下，各类产品的元件也 趋于微型化。如此一来，在半导体类产品中，便必须增加微小元件的集成度。然而，随着元件复杂度与集成度的升高，晶片表面的微小缺陷(minute defects) 和微量杂质(trace impurities)将会严重地影响元件的性能。晶片表面的微小缺 陷和微量杂质不但会劣化元件的特性和可靠度，甚者还会降低晶片的成品 率。因此，在半导体工艺中，用以清洗晶片以移除附着于晶片表面上无用物 质的洗净工艺便显得相当重要。超洁净技术(ultraclean technology)是一种利用超纯水以洗净晶片的技 术。若使用原水(raw water)清洗晶片，由于原水内含有各类形式的杂质，杂 质容易沉淀于晶片表面上反而造成晶片元件的劣化，因此，使用于晶片洗净 步骤的水，需先经过净化而成为超纯水。目前常用的超纯水制造系统包括前处理系统(pretreatment system)、主处 理系统(primary treatment system)、超纯水系统(ultrapure water system)和管3各 系统(piping system)。其中前处理系统用以过滤颗粒4交大的杂质，主处理系统 用以移除微粒子并且进行杀菌，而超纯水系统用以提高从主处理系统中送出 的水质，并通过泵的动力，使超纯水在管路中持续地循环，以改善并确保超 纯水在系统用水端(point of use, POU)的品质。管路系统则用来连接上述各系 统，使得超纯水持续在超纯水制造系统中流动循环，以维持超纯水的纯度与 品质。
技术实现思路
因此，本专利技术提供一种防死水处理装置，此装置可以使超纯水处于活水状态，以维持超纯水的品质。本专利技术提供一种超纯水制造系统，此系统可以使超纯水保持流动状态， 以维持超纯水的纯度。本专利技术提出一种防死水处理装置，其配置于水处理单元上，包括旁流管 路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口 ，旁流 管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流 管路的一端连接于旁流阀的进水口 ，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水 口 。在本专利技术的实施例中，上述的旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。 在本专利技术的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。 在本专利技术的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。在本专利技术的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。 在本专利技术的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置(ultraviolet sterilizer, UV)、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元(ultrafiltration, UF)或脱气膜单元。在本专利技术的实施例中，上述的短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软管。本专利技术提供一种超纯水制造系统，此系统可以使超纯水保持流动状态，以维持超纯水的纯度。本专利技术提出一种防死水处理装置，其配置于水处理单元上，包括旁流管路和旁流阀。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上，旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。在本专利技术的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。 在本专利技术的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。 在本专利技术的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。 在本专利技术的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。本专利技术又提出一种超纯水制造系统，超纯水制造系统包括多个泵、多个水处理单元、多条管路和多个防死水处理装置。泵提供动力以使超纯水流动。管路连接泵与水处理单元。防死水处理装置配置于水处理单元上，其中，防死水处理装置还包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于 水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流 阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的 另 一端连接于旁流阀的出水口 。在本专利技术的实施例中，上述的旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。 在本专利技术的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。 在本专利技术的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。在本专利技术的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。在本专利技术的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装 置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。在本专利技术的实施例中，上述的短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软官。由于本专利技术的防死水处理装置可以使得超纯水一直保持在流动的状态， 因此，超纯水的水质不易劣化而能维持其纯度。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并 结合附图，作详细说明如下。附图说明图1A所示为本专利技术优选实施例的防死水处理装置结构示意图。 图1B所示为本专利技术优选实施例的旁流阀内部的档板示意图。 图2A所示为本专利技术优选实施例的超纯水制造系统结构示意图。 图2B所示为本专利技术优选实施例的旁流阀内部的档板示意图。 简单符号说明100、210防死水处理装置102、206水处理单元104、224旁流管路106、226旁流阀108、228短流管路110、230挡板112、232限流孔洞114、116阀200超纯水制造系统202超纯水储存槽204泵208管路212系统用水端214紫外光杀菌装置216加热装置218精练型树脂单元220超过滤单元222脱气膜单元具体实施方式图1A所示为本专利技术优选实施例的防死水处理装置结构示意图。图IB 所示为本专利技术优选实施例的旁流阀内部的档板示意图。请参照图1A，防死水处理装置100装设于水处理单元102上。水处理 单元102例如是紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元、 脱气膜单元或其他具灭菌与过滤功能的设备。防死水处理装置100包括旁流管^各104和旁流阀106。旁流管^各104的 两端分别与水处理单元102的进水口和出水口相连接。旁流管路104配置有 旁流阀106，旁流阀106用来控制超纯水于旁流管路104内的流量。旁流管 路104与旁流阀106的设置，是为了确保超纯水在任何状况下，都能保持流 动状态，以维持超纯水的品质。另外，旁流阀106中配置有挡板110,挡板 110可以用来限制超纯水往一固定方向流动。挡板110的形状例如是板状。 如图1B所示，挡板110例如设置有一个限流孔洞112。流经限流孔洞112 的超纯水的流速例如是2m/s。限流孔洞112设置的目的在于使得旁流管路 104可以保持导通的状态。若旁流阀106的挡板110关闭且无法作动，超纯 水仍能流经限流孔洞112,而使其保持活水的状态。请继续参照图1A,在实施例中，防死水处理装置100还可以包括一条 短流管路108。短流管路108配置于旁流管路104上。短流管路108的一端 连接于旁流阀106的进水口处，而短流管路108的另一端则连接于旁流阀106 的出水口处。短流管路108可以是玻璃管、塑胶硬管、塑胶软管或者是可以避免细菌或微粒粘着的其他材料的管路。短流管路本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括：旁流管路，该旁流管路的一端连接于该水处理单元的进水口，该旁流管路的另一端连接于该水处理单元的出水口；旁流阀，配置于该旁流管路上；和短流管路，该短流管路的一端连接于该旁流阀的进水口，该短流管路的另一端连接于该旁流阀的出水口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏善修，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]