压印装置和方法、材料分配数据创建方法及物品制造方法制造方法及图纸

这里提供了一种压印装置，所述压印装置通过使用模具和压印材料而顺序地在基体的多个区域上形成图案。所述装置包括：运动单元，所述运动单元构造成可在承载基体的同时沿水平平面运动，压印材料提供于所述基体上；以及施加单元，所述施加单元构造成根据与压印材料的状态相关的信息和与图案形成顺序相关的信息而将压印材料施加于基体上，与压印材料的状态相关的信息随着运动单元的运动而变化。还提供了一种当通过使用模具和压印材料在基体上形成图案时创建施加在基体上的压印材料的分配数据的创建方法、压印方法和物品制造方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种压印装置、一种创建材料分配数据的方法、一种压印方法以及一种物品制造方法。
技术介绍
作为在基体上形成微观图案以便制造半导体器件等的方法，压印方法是已知的。在压印方法中，压印材料(例如可光固化的树脂)通过使用具有凹凸图案的模具而铸造成在基体上形成的图案。当承载图案的基体在形成于图案底部处的残余层具有明显不均匀厚度的状态下(在残余层的厚度不均匀性很明显的状态下)进一步被处理时，形成的物品可能没有所需的性能。美国专利申请公开No.2007/0228593已经公开了一种减小残余层的厚度不均匀性的方法。具体地说，根据通过在由压印材料形成的图案的多个区域中测量残余层而已经获得的、残余层的厚度的不均匀性来创建要施加在基体上的压印材料的分配的新数据。例如，已经公开了这样一种创建材料分配数据的方法，其中，更大量的压印材料施加在这样的区域，在所述区域中残余层预计会比其它区域薄。
技术实现思路
本专利技术人已经发现，残余层的厚度的不均匀性受到压印材料的状态的影响，所述压印材料的状态在承载未固化的压印材料的基体沿水平平面运动时变化。在美国专利申请公开No.2007/0228593中并没有涉及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压印装置，所述压印装置通过使用模具和压印材料而顺序地在基体的多个区域上形成图案，所述装置包括：运动单元，所述运动单元构造成能够在承载基体的同时沿水平平面运动，压印材料提供于所述基体上；以及施加单元，所述施加单元构造成根据与压印材料的状态相关的信息和与图案形成顺序相关的信息而将压印材料施加于基体上，与压印材料的状态相关的信息随着运动单元的运动而变化。

【技术特征摘要】
2015.03.31 JP 2015-0744951.一种压印装置，所述压印装置通过使用模具和压印材料而顺序地在基体的多个区域上形成图案，所述装置包括：运动单元，所述运动单元构造成能够在承载基体的同时沿水平平面运动，压印材料提供于所述基体上；以及施加单元，所述施加单元构造成根据与压印材料的状态相关的信息和与图案形成顺序相关的信息而将压印材料施加于基体上，与压印材料的状态相关的信息随着运动单元的运动而变化。2.根据权利要求1所述的装置，还包括：创建单元，所述创建单元构造成创建要施加在基体上的压印材料的分配数据，创建单元从与压印材料的状态相关的信息和与图案形成顺序相关的信息来创建所述数据；其中，施加单元根据由创建单元创建的数据来施加压印材料。3.根据权利要求1所述的装置，其中：与图案形成顺序相关的信息指示在多个区域上执行的图案形成的顺序。4.根据权利要求2所述的装置，其中：创建单元还根据运动单元从面对施加单元的位置向面对模具的位置运动的方向来创建数据。5.根据权利要求4所述的装置，其中：在多个区域中，将要在其上形成图案的第一区域相对于已经在其上形成图案的第二区域在运动单元的前侧；由创建单元对于所述多个区域中的一个区域创建的数据是第一数据，所述第一数据指示在所述一个区域中的施加密度在前侧比在后侧更高，所述后侧与前侧相反；以及施加单元根据第一数据来将压印材料施加给第一区域。6.一种压印装置，所述压印装置通过使用模具和压印材料而在基体上形成图案，所述装置包括：运动单元，所述运动单元构造成能够在承载基体的同时沿水平平面运动，压印材料提供于所述基体上；以及施加单元，所述施加单元构造成根据与压印材料的状态相关的信息和与运动单元的运动方向相关的信息而将压印材料施加于基体上，与压印材料的状态相关的信息随着运动单元的运动而变化。7.根据权利要求6所述的装置，还包括：创建单元，所述创建单元构造成创建要施加在基体上的压印材料的分配数据，创建单元从与压印材料的状态相关的信息和与运动单元的运动方向相关的信息来创建所述数据；其中，施加单元根...

【专利技术属性】
技术研发人员：船吉智美，山崎拓郎，藤本正敬，山口裕充，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP