一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置制造方法及图纸

一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，包括底座、装载箱，所述底座一侧设有支架，支架上下两端各设有一个伺服电机，伺服电机连接控制器，所述伺服电机经皮带连接固定在支架上端的滚轴，所述滚轴上下两侧各设有一根带有气孔的喷气管，滚轴上设有毛刷，所述喷气管一端连接CDA气管，所述装载箱套装于两个喷气管的外侧，装载箱一端经固定卡扣和可旋转螺丝连接不锈钢门，所述不锈钢门一端设有排气口。解决了基片装载箱清洁难度大的问题，具有清洁效果好、工作效率高、节省劳动力的特点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置。
技术介绍
在薄膜太阳能电池生产过程中，将清洗后的导电玻璃装入立式基片装载箱，加热到一定温度后使用PECVD法在导电玻璃基片上沉积薄膜完成不同光吸收层电池的制作，是整个电池生产技术的关键步骤。在沉积过程中不可避免的会有粉尘颗粒附着于装载箱体内。残留的粉尘颗粒需要清洁干净，防止在TCO玻璃上沉积吸收层时出现针孔、透空等镀膜不良现象的发生。对基片装载箱清洁是PECVD工艺不可忽略的难题。目前基片装载箱的清洁一般采用人工清洁，对工件架清洁擦拭的范围为：装载箱两端极板边缘3-4cm,最后使用压缩N2或压缩空气吹扫整个装载箱后才能装导电玻璃。由于基片装载箱结构复杂，铝板之间的间距非常小，清洁死角很多，清洁难度大。使用传统手工方法清洁，虽然可以保证清洁度，但工作量很大，影响工作效率，甚至可能减慢整个生产节拍。
技术实现思路
本技术其目的就在于提供一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，解决了基片装载箱清洁难度大的问题，具有清洁效果好、工作效率高、节省劳动力的特点。实现上述目的而采取的技术方案，包括底座、装载箱，所述底座一侧设有支架，支架本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，包括底座（11）、装载箱（14），其特征在于，所述底座（11）一侧设有支架（13），支架（13）上下两端各设有一个伺服电机（4），伺服电机（4）连接控制器（6），所述伺服电机（4）经皮带（5）连接固定在支架（13）上端的滚轴（1），所述滚轴（1）上下两侧各设有一根带有气孔（3）的喷气管（15），滚轴（1）上设有毛刷（2），所述喷气管（15）一端连接CDA气管（7），所述装载箱（14）套装于两个喷气管（15）的外侧，装载箱（14）一端经固定卡扣（9）和可旋转螺丝（10）连接不锈钢门（16），所述不锈钢门（16）一端设有排气口（12）。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，包括底座（11）、装载箱（14），其特征在于，所述底座（11）一侧设有支架（13），支架（13）上下两端各设有一个伺服电机（4），伺服电机（4）连接控制器（6），所述伺服电机（4）经皮带（5）连接固定在支架（13）上端的滚轴（1），所述滚轴（1）上下两侧各设有一根带有气孔（3）的喷气管（15），滚轴（1）上设有毛刷（2），所述喷气管（15）一端连接CDA气管（7），...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏小涛，王宏杰，周志虎，
申请(专利权)人：江西共青城汉能薄膜太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36