【技术实现步骤摘要】
电子级笑气提纯工艺
本专利技术涉及一种电子级笑气提纯工艺。
技术介绍
超纯特种电子气体：笑气是现代光电子、微电子、大型集成电路、光纤制造领域重要的基础原料，被称为IT产业的“粮食”或“源”。从某种意义上讲，没有可靠的超纯特种电子气体，光电子、微电子将是“无米之炊”。经验证明，电子气体纯度每提高一个数量级，其下游产品(IC)将有质的飞跃。随着我国电子行业的不断发展，对光电子、微电子技术提出了更高的要求，高性能、多功能、大容量、微型化和批量化已成为其发展的必然趋势。因此，对电子气体提出了更高的质量要求，气体纯度要达到99.999％-99.9999％，杂质含量要求到ppm-ppb级，尘埃粒子0.1μm不超过3个/立方米。其技术指标定位为兆位级(ULSI)，技术特征表现为“超纯”、“超净”。然而，目前国内电子行业生产所需的笑气，均采用低纯度笑气替代，如果从国外进口，需要花费高昂的费用，目前价格为600元/千克。这样一来，既影响到国内电子产品的质量及生产的稳定性，又严重影响了国内电子行业的整体发展。由于我国目前运行的电子生产厂家数量不断增加，每家均需要大量的电子级笑气，因此开展半导体用超纯电子气体的研究，可很好解决依赖进口的被动局面，满足我国IT产业对基础材料需求，并将产生巨大的社会和经济效益。-->
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对上述问题，提供一种电子级笑气提纯工艺，可有效解决上述问题。本专利技术的技术方案如下：电子级笑气提纯工艺，其流程如下：低纯度笑气→化学净化→分子筛纯化，加热→低温蒸馏深度纯化→电子级笑气。上述化学净化分两级杂质处理，其中第一级杂质处理...
【技术保护点】
电子级笔气提纯工艺，其流程如下：低纯度笑气→化学净化→分子筛纯化，加热→低温蒸馏深度纯化→电子级笑气。
【技术特征摘要】
1.电子级笑气提纯工艺，其流程如下：低纯度笑气→化学净化→分子筛纯化，加热→低温蒸馏深度纯化→电子级笑气。2.根据权利要求1所述的电子级笑气提纯工艺，其中的化学净化分两级杂质处理。3.根据权利要求2所述的电子级笑气提纯工艺，其中第一级杂质处理采用30％NaOH处理，第二级...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖启贤，牟乃锋，
申请(专利权)人：广州盛盈气体有限公司，
类型：发明
国别省市：81[中国|广州]
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