一种亚波长超宽带透射式二维金属波片制造技术

本发明专利技术公开了一种亚波长超宽带透射式二维金属波片，由若干周期性的波片单元构成，波片单元包括SiO2基片和位于所述基片上的正交十字银纳米棒结构，基片为正方形基片，其边长P为800~1000nm，正交十字银纳米棒结构的高度H为100~150nm，所述正交十字银纳米棒结构的第一宽度W为200~300nm，正交十字银纳米棒结构的第二长度Lx为550~650nm，正交十字银纳米棒结构的第二宽度Ly为150~170nm。本发明专利技术大大拓宽了工作带宽，而且对于参数变化的容忍度较高，由于现在微纳结构制作精度的限制，该结构合理、易于制作，在光学传感系统、先进的纳米光子器件以及集成光学系统中，具有很大的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种亚波长超宽带透射式二维金属波片，涉及光学元件领域。
技术介绍
现有技术中，偏振态是光波一种非常重要的光学特性。双折射晶体材料具有沿平行和垂直光轴的正交方向具有不同的光学折射率的特性，被宽泛的应用于传统控制偏振态的器件中。光透过双折射晶体时，透射光会在正交方向上产生位相差，实现偏振态的转换。目前，新型产业的微型化发展需求高集成度的光电元器件，而传统晶体波片受到物理尺寸的限制，促使了亚波长结构光学器件的急剧发展，其中基于表面等离子体共振的亚波长金属结构的超表面波片得到了广泛的重视和研究。光学超表面即亚波长超表面，指一种厚度小于波长的人工层状材料，可实现对电磁波相位、极化方式、传播模式等特性的灵活有效调控。与传统的波片相比，基于超表面的波片可以在超薄的平台上增强电磁场调控光波的特性。基于超表面的波片一般利用各向异性共振单元阵列，例如纳米缝，L型天线，H型天线，V天线等等…而基于这些结构的波片又常常受到窄带的限制。有鉴于此，提供一种新的二维金属波片，解决现有技术中因带宽窄，导致应用范围过小的问题，显然是有必要的。
技术实现思路
本专利技术的专利技术目的是提供一种亚波长超宽带透本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种亚波长超宽带透射式二维金属波片，由若干周期性的波片单元构成，其特征在于：所述波片单元包括SiO2基片和位于所述基片上的正交十字银纳米棒结构，所述基片为正方形基片，其边长P为800~1000nm，所述正交十字银纳米棒结构的高度H为100~150nm，所述正交十字银纳米棒结构的第一长度与基片的边长长度相等，所述正交十字银纳米棒结构的第一宽度W为200~300nm，所述正交十字银纳米棒结构的第二长度Lx为550~650nm，所述正交十字银纳米棒结构的第二宽度Ly为150~170nm。

【技术特征摘要】
1.一种亚波长超宽带透射式二维金属波片，由若干周期性的波片单元构成，其特征在于：所述波片单元包括SiO2基片和位于所述基片上的正交十字银纳米棒结构，所述基片为正方形基片，其边长P为800~1000nm，所述正交十字银纳米棒结构的高度H为100~150nm，所述正交十字银纳米棒结构的第一长度与基片的边长长度相等，所述正交十字银纳米棒结构的第一宽度W为200~300nm，所述正交十字银纳米棒结构的第二长度Lx为550~650nm，所述正交十字银纳米棒结构的第二宽度Ly为150~170nm。2.根据权利要求1所述的亚波长超宽带透射式二维金属波片，其特征在于：所述基片为正方形基片，其边长P=950nm，所述正交十字银纳米棒结构的高度H=125nm，所述正交十字银纳米棒结构的第一长度与基片的边长长度相等，所述正交十字银纳米棒结构的第一宽度W=300nm，所述正交十字银纳米棒结构的第二长度Lx=600nm，所述正交十字银纳米棒结构的第二宽度Ly=160nm。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王钦华，朱爱娇，胡敬佩，赵效楠，刘亚彬，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32