【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制成技术，具体涉及一种安装有回流风扇的超净间。
技术介绍
超净间用于制药工业或者半导体制成工业，在制作晶圆、TFT或者LCD时，都需要使用超净间，超净间最主要的作用在于控制产品所接触的大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。现有的超净间的问题主要在，气体的流通仅仅依靠入风口和出风口的对流效应，气体循环效率较低。
技术实现思路
在现有技术的基础上，本专利技术公开了一种一种安装有回流风扇的超净间。本专利技术的技术方案如下：一种安装有回流风扇的超净间，包括设置于超净间前端的入风端、设置于超净间后端的回流端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区，储物区中放置有储物架；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述门同时还作为出风口；所述回流端的入风口设置在门的左右两侧，回流端的出风口与所述走风通道相连接；所述入风端设置有多个风扇单元；所述回流端的走风通道的连接处设置有汇流风扇。本专利技术的有益技术效果是：本专利技术设置了回流风扇，使得超净间中的空气循环效率加快，可有效增加超净间中，尤其是储物区的洁净等级。附图说明图1是本专利技术的示意图。具体实施方式图1是本专利技术的示意图。如图1所示，本专利技术的超净间包括设置于超净间前端的入风端1、设置于超净间后端的回流端2和设置于超净间内侧左右边的走风通道3；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道4，操作通道4的两侧设置有起重设备5；在起重设备5和走风通道3之间设...
【技术保护点】
一种安装有回流风扇的超净间，其特征在于，包括设置于超净间前端的入风端(1)、设置于超净间后端的回流端(2)和设置于超净间内侧左右边的走风通道(3)；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道(4)，操作通道(4)的两侧设置有起重设备(5)；在所述起重设备(5)和所述走风通道(3)之间设置有左右通透的储物区(7)，储物区(7)中放置有储物架(8)；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门(9)；所述门(9)同时还作为出风口；所述回流端(2)的入风口设置在门(9)的左右两侧，回流端(2)的出风口与所述走风通道(3)相连接；所述入风端(1)设置有多个风扇单元(10)；所述回流端(2)的走风通道(3)的连接处设置有汇流风扇(11)。
【技术特征摘要】
1.一种安装有回流风扇的超净间，其特征在于，包括设置于超净间前端的入风端(1)、设置于超净间后端的回流端(2)和设置于超净间内侧左右边的走风通道(3)；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道(4)，操作通道(4)的两侧设置有起重设备(5)；在所述起重设备(5)和所述走风通道(3)之间设置有左右通透的储物区(7)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕耀安，
申请(专利权)人：无锡宏纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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