一种掩膜条固定结构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种掩膜条固定结构，包括固定支架，所述固定支架相对的两侧设有固定夹，所述固定夹用于夹持掩膜条，所述固定支架的长度大于所述掩膜条的长度。本实用新型专利技术实施例提供的固定支架避免了运输转移过程中对掩膜条的损伤。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种掩膜条固定结构。
技术介绍
OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域、可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。高像素密度的OLED显示面板的生产需要采用厚度很薄、热膨胀系数小的精细金属掩膜版(Fine Metal Mask，简称FMM)来作为掩膜版。精细金属掩膜模式是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon；简称LTPS)背板上，利用精细金属掩膜版上的图形，形成红绿蓝器件。设计上必须考虑制作掩膜条及焊接时拉伸掩膜条的形变，设计缓冲区及不同拉伸系数的材料的选择，像素尺寸一般为微米级，增加了掩膜条的制作难度。精细金属掩膜是由框架及内部的掩膜条通过激光焊接技术组合而成的，焊接过程中框架的张力释放会对掩膜条产生拉伸。掩膜条属于消耗品，而大多数OLED面板厂商不具备自主生产的能力，因此控制OLED的成本有利于降低OLED器件的生产成本。现有技术中掩膜条的运输时通过时多个掩膜条以纸相隔，放置在盒内运输，运输中若发生撞击，掩膜条存在滑动可能甚至引起折痕，在进行来料质量检测时，也可能由于设备间掩膜条的转移或装卸而引起掩膜条的变形，这些都会造成掩膜条的无法使用，增加成本。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是解决现有技术中掩膜条运输过程
中容易造成损伤问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种掩膜条固定结构，包括固定支架，所述固定支架相对的两侧设有固定夹，所述固定夹用于夹持掩膜条，所述固定支架的长度大于所述掩膜条的长度。根据本技术，所述固定夹通过弹簧与所述固定支架连接。根据本技术，所述固定夹包括第一夹板、第二夹板、转轴及扭簧，所述第一夹板和第二夹板通过转轴铰接，所述扭簧套设于所述转轴上，且所述扭簧的两端分别抵持于所述第一夹板和第二夹板之间。根据本技术，所述第一夹板和所述第二夹板的夹持端相对的内表面上均设有海绵层。根据本技术，所述固定支架为矩形。根据本技术，所述固定支架的长度可调节。根据本技术，所述固定支架的每条长边均包括第一杆段和第二杆段，所述第一杆段上间隔设有多个凹孔，所述第二杆段上对应地设有至少一个按压凸起，所述按压凸起与所述凹孔相配合。根据本技术，所述固定支架的侧边上间隔设有多个固定夹。根据本技术，所述固定支架采用不锈钢制成。根据本技术，所述固定支架采用PVC材质制成。(三)有益效果本技术的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本技术实施例提供的固定支架设有固定夹，运输时采用固定夹夹持住掩膜条，由于固定支架的长度大于掩膜条的长度，固定支架对掩膜条本体起平展作用，避免了运输转移过程中对掩膜条的损伤，如出现折痕变形等，使用时还可以将固定支架固定在存储物上，避免运输过程中撞击造成的滑动损伤。在进行来料质量检测时，固定支架对掩膜条本体起到了平展的作用，可以不拆除固定支架直接进行检测，提高了工作效率。附图说明图1是本技术实施例提供的掩膜条固定结构的的俯视图；图2是本技术实施例提供的固定夹的结构示意图；图3是本技术实施例提供的固定支架的结构示意图。图中：1：固定支架；11：第一杆段；111：凹孔；12：第二杆段；121：按压凸起；2：固定夹；21：第一夹板；22：第二夹板；23：转轴；24：扭簧；25：海绵层；3：弹簧。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术实施例提供的一种掩膜条固定结构，包括固定支架1，固定支架1相对的两侧设有固定夹2，固定夹3用于夹持掩膜条，固定支架1的长度大于掩膜条的长度。本技术实施例提供的固定支架1设有固定夹2，运输时采用固定夹2夹持住掩膜条，由于固定支架1的长度大于掩膜条的长度，固定支架1对掩膜条本体起平展作用，避免了运输转移过程中对掩膜条的损伤，如出现折痕变形等，使用时还可以将固定支架1固定在存储物上，避免运输过程中撞击造成的滑动损伤。在进行来料质量检测时，固定支架1对掩膜条本体起到了平展的作用，可以不拆除固定支架1直接进行检测，提高了工作效率。进一步地，本实施例中固定夹2通过弹簧3与固定支架1连接。固定夹2与固定支架1之间设置弹簧3能够对掩膜条有较好的展平效果。并且也增加了本技术提供的固定支架1的适用范围，能够应
用于不同长度的掩膜条的运输转移，在掩膜条较短时可以通过拉长弹簧3实现固定夹2与掩膜条的固定。进一步地，如图2所示，本实施例中固定夹2包括第一夹板21、第二夹板22、转轴23及扭簧24，第一夹板21和第二夹板22通过转轴23铰接，扭簧24套设于转轴23上，且扭簧24的两端分别抵持于第一夹板21和第二夹板22之间。具体地，本实施例中第一夹板21和第二夹板22的夹持端相对的内表面上均设有海绵层25，防止掩膜条的滑落以及避免夹持力对掩膜条造成损伤。尤其是在固定夹2通过弹簧3与固定支架1连接时，避免掩膜条的滑落。进一步地，本实施例中的固定支架1为矩形。固定支架1设置为矩形，掩膜条位于矩形框内，能够够掩膜条起到周向的全范围保护，避免掩膜条在运输过程中的损伤。进一步地，如图3所示，本实施例中的固定支架1的长度可调节。固定支架1的长度可调节能够进一步地提高其适用范围，适用于更大尺寸范围的掩膜条的固定以及运输。具体地，本实施例中固定支架1的每条长边均包括第一杆段11和第二杆段12，第一杆段11上间隔设有多个凹孔111，第二杆段12上对应地设有至少一个按压凸起121，按压凸起121与凹孔111相配合。通过调节不同凹孔111与按压凸起121的配合可以方便地实现固定支架1长度的调节。当然，固定支架1的长度调节也可以采用其他的调节方式。进一步地，本实施例中的固定支架1的侧边上间隔设有多个固定夹2。设置多个固定夹2可以使得掩膜条的受力较为均匀，避免掩膜条的变形。进一步地，本实施例中固定支架1采用不锈钢制成。固定支架1采用不锈钢制成使用寿命长。具体地，本实施例中的固定支架1也可以采用聚氯乙烯(Polyvinyl chloride，简称PVC)材质制成，PVC材质的重量轻，便于掩膜条的运输。最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，
而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜条固定结构，其特征在于：包括固定支架，所述固定支架相对的两侧设有固定夹，所述固定夹用于夹持掩膜条，所述固定支架的长度大于所述掩膜条的长度。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜条固定结构，其特征在于：包括固定支架，所述固定支架相对的两侧设有固定夹，所述固定夹用于夹持掩膜条，所述固定支架的长度大于所述掩膜条的长度。2.根据权利要求1所述的掩膜条固定结构，其特征在于：所述固定夹通过弹簧与所述固定支架连接。3.根据权利要求1所述的掩膜条固定结构，其特征在于：所述固定夹包括第一夹板、第二夹板、转轴及扭簧，所述第一夹板和第二夹板通过转轴铰接，所述扭簧套设于所述转轴上，且所述扭簧的两端分别抵持于所述第一夹板和第二夹板之间。4.根据权利要求3所述的掩膜条固定结构，其特征在于：所述第一夹板和所述第二夹板的夹持端相对的内表面上均设有海绵层。5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彤，黄俊杰，尚跃东，靳福江，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15