一种纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片制造技术

技术编号:13747724 阅读:103 留言:0更新日期:2016-09-24 04:52
本发明专利技术一种纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片,属于光纤传感技术领域,具体涉及的是一种可以广泛应用于生物传感、化学分析、药品研发、食品安全、环境监测、医学诊断等领域的纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片。由光纤包层1、双芯或多芯光纤拉锥耦合区2、D型抛磨面3、一定厚度的金纳米膜4、中心纤芯5、偏心纤芯6组成,该传感芯片中的各个传感单元具有不同SPR谐振角,可实现一次性同时对样品中多种不同物质进行分析和检测,从而克服了传统检测技术操作复杂,自动化程度低、检测效率低等在先技术的不足。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光纤传感
,具体涉及的是一种可以广泛应用于生物传感、化学分析、药品研发、食品安全、环境监测、医学诊断等领域的纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片
技术介绍
光纤表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)传感器结合了多螺旋芯光纤技术与超高灵敏度的SPR传感技术,可实现实时监测、远程传输的功能。表面等离子体共振传感器对界面处介质成分的微小变化非常敏感,已广泛应用于在表面检测、生物医学、环境监测等诸多领域。上世纪90年代第一根光纤表面等离子体共振传感器(FO-SPR)制成,表现出抗干扰、集成性好、微样本测量、实时监测、装置经济、多通道测量等优点。如今,设计具有灵敏度高,满足灵活性、实用性要求的光纤SPR传感器已成为国内外传感器领域的研究热点。光纤SPR传感器是利用表面等离子体激元共振原理,采用光纤作为导光介质制作而成的光学传感器。其利用入射光在纤芯界面处发生全反射而产生的倏逝波,在一定条件下,与金属表面自由电子产生的表面等离子体波(surface plasmon wave,SPW)发生共振现象,使得入射光的能量被吸收,继而导致反射光能量的指数衰减,并在反射光的能量曲线上表现出共振峰。当处于金属薄膜表面的待测介质发生变化时,会引起共振峰的变化,进而可以通过分析共振峰的位置来计算介质的变化。纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感芯片将多螺旋芯光纤技术与超高灵敏度的SPR传感技术进行了有效的结合,融合了光纤和SPR传感器的诸多优点于一体。在过去的二十多年中,以德国物理学家Otto和Kretschmann分别设计出了以棱镜为基体,采用衰减全反射(Attenuate Total Reflection,ATR)激发SPR效应的模型为基础的SPR测量装置。由此,基于表面等离子体的研究及其应用得到了越来越多的关注,目前基于Kretschmann结构的SPR分析仪已经商业化。但是这些设备由于具有体积大、不适合远程遥测、信号易受机械振动影响导致系统测试结果不稳定等问题而制约了该技术的广泛应用。在光纤传感领域,人们一直在不断追求探索高分辨率、微型化和阵列化的传感技术。随着传感技术的不断发展,各种结构和功能的传感器不断涌现。文献(Biosensors and Bioelectronics,0956-5663,2013,45卷,230-236页)中提出基于氧化石墨烯涂抹在纳米金膜上的表面等离子体共振传感器,以提高传感器的灵敏度,得到的了较满意的效果。文献(Analytical Chemistry,0003-2700,2005,77卷,13期,4282-4285页)中,利用分子
印迹聚合物嵌入在金纳米膜中,实现了共振效应的增强。上述研究虽然取得了一定的效果,但是工艺过程复杂,难以被广泛应用。文献(Optics Letters,0146-9592,2015,40卷,12期,2826-2829页)中,提出了一种采用双芯光纤的基模传输的光纤SPR传感器,将双芯光纤磨成锥楔形状,在端面上镀有50nm厚度的金膜,灵敏度达到了6463nm/RIU。此外,申请号为201010034270.6的专利技术专利提出一种表面等离子共振传感器芯片组件及柱面棱镜芯片,具有一体化的柱面棱镜芯片、流池和流池盖,大幅提高了SPR传感器检测效率,但是由于采用了棱镜作为组件,体积大,限制其应用范围。申请号为201010239909.4的专利技术专利,提出了一种基于表面等离子体共振与生物传感水的芯片,该专利技术可以一次性检测出水体中多种不同物质成分的浓度,提高了水体检测效率,但是其要求扩束镜、起偏器、等腰直角棱镜、四分之一波片、检偏器等器件必须严格满足一定的位置关系,因此不适合广泛的应用。申请号为201420606299.0的技术专利提出一种基于SPR的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器,该SPR传感器利用光刻蚀技术在侧边抛磨单模光纤的残余包层形成的微流通道来增强SPR效应,是一种低成本的传感器。2005年,美国亚利桑那州立大学的Soame Banerji等人在国际期刊Optics Letters上发表的文章指出,利用基于光纤的SPR双传感通道的传感器可实现2×10-4RIU分辨率的测量,折射率的测量范围1.328~1.346,灵敏度为1.8×10-2RIU。该文中,在实验前需要在一个镀金膜的传感区镀聚合物,而且厚度100nm需要严格控制,加工工艺和传感结构相对较为复杂。本专利技术根据现代传感领域的需求并结合已有的SPR传感器的优点,提出一种新型结构的纤维集成多螺旋芯阵列SPR传感芯片。该传感芯片中的各个传感单元具有不同SPR谐振角,可实现一次性同时对样品中多种不同物质进行分析和检测,从而克服了传统检测技术操作复杂,自动化程度低、检测效率低等在先技术的不足。本专利技术所采用的螺旋芯光纤结构,纤芯的弯曲结构建构在光纤的内部,通过合理的设置几何参数和物理参数,可以有效的将高阶模式去除,实现单模传输与传感,具有分辨率高、稳定性好的测量的特点,而且在进行传感测量时无需对光纤进行弯曲,操作简单,相比传统的SPR传感器有更大的性价比。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可以广泛应用于生物传感、化学分析、药品研发、食品安全、环境监测、医学诊断等领域的纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片。本专利技术的目的是这样实现的:一种纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片,由光纤包层1、双芯或多芯光纤拉锥耦合区2、D型抛磨面3、一定厚度的金纳米膜4、中心纤芯5、偏心纤芯6组成,所述的纤维集成多螺旋芯SPR传感阵列芯片,是采用双芯或多芯光纤,借助于热融旋转技术制备成多螺
旋芯光纤后,再通过采用光纤侧面研磨抛光的方法使多个光纤芯裸露;最后,采用溅射法在光纤芯裸露处溅射上金纳米膜的方法制作而成的;采用双芯或多芯光纤,借助于热融旋转技术制备出渐变螺距的螺旋芯光纤结构,从而可以形成一系列螺距倾角渐变的螺旋芯光纤,等效于多个不同螺距的光纤的级联。对这种螺距渐变的多螺旋芯光纤,进行侧面研磨抛光,然后采用溅射法在该抛磨平面上制备金纳米膜,从而可以获得多个SPR传感单元,由于这些传感单元具有不同的SPR共振激发角,因而构成了一个集成的阵列SPR传感器芯片。在偏双芯或多芯螺旋光纤的一端采用熔融拉锥耦合技术,焊接一段标准单模光纤,并在焊点处实施熔融拉锥,从而实现了光波从中心纤芯耦合注入到每个螺旋光纤芯的目的;螺距不等的多螺旋芯光纤中,每一条单个螺旋纤芯构成了沿着这个纤芯的纵向空分复用SPR传感阵列,这种空分复用的实质是由于SPR谐振角度的不同而实现的波分复用,因而可以通过波长扫描的办法实现传感器阵列的解调;而多条并行的多个螺旋纤芯则构成了横向并行的空间分离和螺距渐进的空分复用SPR传感阵列。在出射端镀制反射膜,从而可进一步构成多路集成的并行Michelson干涉仪阵列,反射回来的光会进行波长匹配干涉,即形成了相位敏感型阵列SPR传感芯片。在出射端进行二次拉锥耦合,从而可进一步构成多路集成的并行Mach-Zehnder干涉仪阵列,透射光会进行波长匹配干涉,即形成了相位敏感型阵列SPR传感芯片。本专利技术的有益效果在于:本专利技术根据现代传感领域的需求并结合已有的SP本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片,由光纤包层(1)、双芯或多芯光纤拉锥耦合区(2)、D型抛磨面(3)、一定厚度的金纳米膜(4)、中心纤芯(5)、偏心纤芯(6)组成,其特征在于:所述的纤维集成多螺旋芯SPR传感阵列芯片,是采用双芯或多芯光纤,借助于热融旋转技术制备成多螺旋芯光纤后,再通过采用光纤侧面研磨抛光的方法使多个光纤芯裸露;最后,采用溅射法在光纤芯裸露处溅射上金纳米膜的方法制作而成的;采用双芯或多芯光纤,借助于热融旋转技术制备出渐变螺距的螺旋芯光纤结构,从而可以形成一系列螺距倾角渐变的螺旋芯光纤,等效于多个不同螺距的光纤的级联。

【技术特征摘要】
1.一种纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片,由光纤包层(1)、双芯或多芯光纤拉锥耦合区(2)、D型抛磨面(3)、一定厚度的金纳米膜(4)、中心纤芯(5)、偏心纤芯(6)组成,其特征在于:所述的纤维集成多螺旋芯SPR传感阵列芯片,是采用双芯或多芯光纤,借助于热融旋转技术制备成多螺旋芯光纤后,再通过采用光纤侧面研磨抛光的方法使多个光纤芯裸露;最后,采用溅射法在光纤芯裸露处溅射上金纳米膜的方法制作而成的;采用双芯或多芯光纤,借助于热融旋转技术制备出渐变螺距的螺旋芯光纤结构,从而可以形成一系列螺距倾角渐变的螺旋芯光纤,等效于多个不同螺距的光纤的级联。2.根据权利要求1所述的一种纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片,其特征在于:对这种螺距渐变的多螺旋芯光纤,进行侧面研磨抛光,然后采用溅射法在该抛磨平面上制备金纳米膜,从而可以获得多个SPR传感单元,由于这些传感单元具有不同的SPR共振激发角,因而构成了一个集成的阵列SPR传感器芯片。3.根据权利要求1所述的一种纤维集成多螺旋芯光纤SPR传感阵列芯片,其特征在于:在偏双芯或多芯螺旋光纤的一端采用...

【专利技术属性】
技术研发人员:苑立波何学兰张晓彤
申请(专利权)人:哈尔滨工程大学
类型:发明
国别省市:黑龙江;23

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