一种全自动裂片机的中空旋转台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种全自动裂片机的中空旋转台，包括安装于裂片机上的底板，该底板上设置有环形旋转台板，其中：所述的底板与环形旋转台板之间设置有环形导轨，该环形导轨上设置有导轨齿轮；所述的底板上还设置有驱动装置，该驱动装置上设置有消隙齿轮，该消隙齿轮与导轨齿轮相啮合，以驱动环形导轨和环形旋转台板精密旋转；裂片机上的中空旋转台通过环形导轨带动环形旋转台板转动，旋转更稳定，精度更高；同时通过消隙齿轮与导轨齿轮相啮合，以驱动环形导轨和环形旋转台板精密旋转，消除了齿轮啮合中的反向间隙，进一步提高了中空旋转台的旋转精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及全自动裂片机的制造领域，具体涉及一种全自动裂片机的中空旋转台。
技术介绍
在LED行业全自动裂片机设备中，由于视觉系统只能集成在旋转台下方，所以要求旋转台是中空结构；裂片前需要对晶圆片进行自动拍照，以确定晶圆片偏差角度，再通过旋转台对晶圆片进行自动旋转，以保证晶圆上芯粒与劈刀呈相对水平状态，以确保后续劈裂动作顺利进行，旋转的精度直接决定晶圆的裂片良率。由于早期裂片设备中很多是使用同步带驱动以达到精密旋转的目的；但同步带的旋转机构有以下缺点:1、皮带张紧力度可能发生变化，导致旋转精度发生变化；对机构及装配要求都很高；2、同步带容易磨损，需要定期对同步带进行更换；3、机构相对复杂，占用空间大；4、有反向间隙，对需要高精密定位场合需要增加光栅尺闭环功能，从而会导致成本过高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足，提供一种能消除反向间隙，可精密旋转的自动裂片机中空旋转台。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种全自动裂片机的中空旋转台，包括安装于裂片机上的底板，该底板上设置有环形旋转台板，其中：所述的底板与环形旋转台板之间设置有环形导轨，该环形导轨上设置有
导轨齿轮；所述的底板上还设置有驱动装置，该驱动装置上设置有消隙齿轮，该消隙齿轮与导轨齿轮相啮合，以驱动环形导轨和环形旋转台板精密旋转。本技术的更进一步优选方案是：所述的消隙齿轮包括上齿片和下齿片，该上齿片和下齿片之间通过扭簧连接。本技术的更进一步优选方案是：所述的上齿片位于驱动装置的轴上，下齿片位于消隙齿轮的轮毂上；所述上齿片和下齿片的外表面分别与导轨齿轮的上下齿面相贴合。本技术的更进一步优选方案是：所述的消隙齿轮与导轨齿轮啮合时，消隙齿轮与其非正对的导轨齿轮进行啮合。本技术的更进一步优选方案是：所述的底板上设置有用于支撑环形导轨的三个轴承，该三个轴承互成120度角。本技术的更进一步优选方案是：所述的三个轴承中，其中一个为偏心调整轴承，另两个为同心支撑轴承。本技术的更进一步优选方案是：所述的环形导轨上设置有三个“V”形凸起，所述的三个轴承上分别设置有“V”形凹槽，三个“V”形凸起安装于三个“V”形凹槽中。本技术的更进一步优选方案是：所述的环形导轨包括有基准安装内孔，所述的环形旋转台板包括有旋转台板轴，该旋转台板轴与基准安装内孔之间过渡配合安装在一起。本技术的更进一步优选方案是：所述的导轨齿轮设置于环形导轨的外圆周面上，该外圆周面上设置有与之相接触的至少一个润滑块。本技术的更进一步优选方案是：所述的驱动装置为伺服电机，该伺服电机安装于电机安装板上，通过该电机安装板将伺服电机和消隙齿轮安装于底
板上。本技术的有益效果在于，裂片机上的中空旋转台通过环形导轨带动环形旋转台板转动，旋转更稳定，精度更高；同时通过消隙齿轮与导轨齿轮相啮合，以驱动环形导轨和环形旋转台板精密旋转，消除了齿轮啮合中的反向间隙，进一步提高了中空旋转台的旋转精度。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：图1是本技术实施例的裂片机结构示意图；图2是本技术实施例的中空旋转台的结构示意图；图3是本技术实施例的中空旋转台的分解结构示意图；图4是本技术实施例的中空旋转台的俯视结构示意图；图5是本技术实施例图4中B－B向的结构示意图；图5a是本技术实施例图5中的局部放大示意图；图6是本技术实施例消隙齿轮的结构示意图；图7是本技术实施例同心支撑轴承的结构示意图；图8是本技术实施例同心支撑轴承的剖面结构示意图。具体实施方式现结合附图，对本技术的较佳实施例作详细说明。如图1-图5所示，本技术实施例提供一种全自动裂片机的中空旋转台，包括安装于裂片机10上的底板1，该底板1上设置有环形旋转台板2，所述的底板1与环形旋转台板2之间设置有环形导轨3，该环形导轨3上设置有
导轨齿轮4；所述的底板1上还设置有驱动装置5，该驱动装置5上设置有消隙齿轮6，该消隙齿轮6与导轨齿轮4相啮合，以驱动环形导轨3和环形旋转台板2精密旋转，本实施例通过在环形导轨3导向，并带动环形旋转台板2转动，克服了现有技术中使用同步带会造成皮带张紧力可能发生变化，而导致旋转精度发生变化的缺陷；同时，本实施例的消隙齿轮6与导轨齿轮4相啮合，可消除了齿轮啮合中的反向间隙。如图6所示，本技术实施例所述的消隙齿轮6包括上齿片61和下齿片62，该上齿片61和下齿片62之间通过扭簧7连接，该消隙齿轮6上还包括有轴孔63；所述的上齿片61位于驱动电机的轴上，该轴穿设于轴孔63；下齿片62位于消隙齿轮的轮毂上；所述上齿片61和下齿片62的外表面分别与导轨齿轮4的上下齿面相贴合，本实施例利用扭簧7的张力，使上齿片61的齿左侧和下齿片62的齿右侧分别紧贴于导轴齿轮4的齿左槽和齿右槽，反向时就不会产生空程误差。该消隙齿轮6与导轨齿轮4啮合时，消隙齿轮6与其非正对的导轨齿轮3进行啮合，亦即，将消隙齿轮6安装时，错开正对的导轨齿轮，以保证环形导轨3运动时有足够铁反向作用力使齿面充分接触，消除反向间隙，确保高重复的定位精度。如图1至图5所示，本实施例所述的底板1上设置有用于支撑环形导轨3的三个轴承8，该三个轴承8互成120度角，保证了对环形导轨3的支撑均匀，减少了轴承的使用数量，降低了成本，同时确保了环形旋转台板2运行时平稳，端面跳动小；优选地，本实施例所述的三个轴承8中，其中一个为偏心调整轴承，另两个为同心支撑轴承81。所述的轴承8也可以是三个以上，均匀布置于环形导轨3的四周用于稳固支撑环形导轨3，如四个轴承，两两对称设置即可，但最优选的方案为三个轴
承，互成120度角。如图5a所示，本实施例所述的环形导轨4上设置有三个“V”形凸起，所述的三个轴承8上分别设置有“V”形凹槽86，三个“V”形凸起安装于三个“V”形凹槽86中，可实现对环形导轨4的支撑，且环形导轨4运行时平稳，同时也限制了环形旋转台板2在轴向和径向的跳动。如图7和图8所示，本实施例所述的同心支撑轴承81包括锁紧螺母81、垫片82、轴承螺杆83、双“V”形轴承84、轴承压紧板85以及“V”形槽86，该同心轴承结构简单紧凑，加工难度低，易于制造。如图3所示，本技术实施例所述的环形导轨3包括有基准安装内孔31，所述的环形旋转台板2包括有旋转台板轴(图中未示出)，该旋转台板轴与基准安装内孔31之间过渡配合安装在一起。如图1－3所示，本技术实施例所述的导轨齿轮4设置于环形导轨3的外圆周面上，该外圆周面上设置有与之相接触的至少一个润滑块9，可对环形导轨3在运行过程中得到润滑，不需要维护，可长时间保持稳定运行。本实施例的三个轴承8也安装于环形导轨3的外圆周面相接触的位置支撑环形导轨3。本技术另一实施方式为：也可以将驱动装置5及消隙齿轮6安装于环形导轨3的内圆周，导轨齿轮4设置于环形导轨3的内圆周面上，通过消隙齿轮6与该导轨齿轮4啮合以驱动环形导轨3运动，从而带动环形旋转台板2精密转动。本技术实施例所述的驱动装置5为伺服电机，该伺服电机安装于电机安装板上，通过该电机安装板将伺服电机和消隙齿轮6安装于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全自动裂片机的中空旋转台，包括安装于裂片机上的底板，该底板上设置有环形旋转台板，其特征在于：所述的底板与环形旋转台板之间设置有环形导轨，该环形导轨上设置有导轨齿轮；所述的底板上还设置有驱动装置，该驱动装置上设置有消隙齿轮，该消隙齿轮与导轨齿轮相啮合，以驱动环形导轨和环形旋转台板精密旋转。

【技术特征摘要】
1.一种全自动裂片机的中空旋转台，包括安装于裂片机上的底板，该底板上设置有环形旋转台板，其特征在于：所述的底板与环形旋转台板之间设置有环形导轨，该环形导轨上设置有导轨齿轮；所述的底板上还设置有驱动装置，该驱动装置上设置有消隙齿轮，该消隙齿轮与导轨齿轮相啮合，以驱动环形导轨和环形旋转台板精密旋转。2.根据权利要求1所述的中空旋转台，其特征在于：所述的消隙齿轮包括上齿片和下齿片，该上齿片和下齿片之间通过扭簧连接。3.根据权利要求2所述的中空旋转台，其特征在于：所述的上齿片位于驱动装置的轴上，下齿片位于消隙齿轮的轮毂上；所述上齿片和下齿片的外表面分别与导轨齿轮的上下齿面相贴合。4.根据权利要求3所述的中空旋转台，其特征在于：所述的消隙齿轮与导轨齿轮啮合时，消隙齿轮与其非正对的导轨齿轮进行啮合。5.根据权利要求1-4任一所述的中空旋转台，其特征在于：所述的底板上设置有用于支撑环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志伟，尹建刚，高昆，马国东，张红江，江星，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44