【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学检测领域,特别涉及透镜厚度检测装置。
技术介绍
在光学领域中,透镜的检测具有决定光学效果的重要意义,而透镜的中心厚度的测量是其中的重中之重,对于光刻机物镜、航天相机等领域对透镜的精度要求尤为严格。现有的测量透镜中心厚度的方法包括接触式测量和非接触式测量两种。接触式测量,一般使用千分尺或千分表测量。测量透镜时中心厚度往往非常难以对正中心点,速度很慢,而且测量过程中很容易就损害到透镜,导致透镜不可用。而非接触式测量方法,常用的包括图像测量法、共面电容法、白光共焦法和干涉法等,然而随着现今行业内对精确度、抗干扰性和效率等方面的要求越来越高,这些方法都存在缺陷,无法全部达到要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种抗干扰性强,检测效率高的透镜厚度检测装置。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,透镜厚度检测装置,包括基座、探测头、待测台、检测器,探测头和待测台安装在基座上,待测台设于探测头正下方,探测头连接检测器,检测器包括光源,光源设于探测头上方,基座包括焦距调节装置,焦距调节装置连接探测头。光源通过探测头聚焦并将光照射在待测台上的待测镜片上,通过检测镜片的折射反射光的参数,计算并确定镜片厚度。在一些实施方式中,探测头通过光纤连接光源和检测器。通过光纤连接光源和检测器,方便光传递,速度快,抗干扰强。在一些实施方式中,待测台设有移动台,所述移动台连接待测台和基座。设置移动台,方便调节待测台位置,与探测头对准中心。在一些实施方式中,焦距调节装置为滚珠丝杠。采用滚珠丝杠,将螺母的转动力,转换为上下直线的移动力,调节探测头与待测台的距离,来完成焦距的调整。在一 ...
【技术保护点】
透镜厚度检测装置,其特征在于,包括基座(1)、探测头(2)、待测台(3)、检测器(4),所述探测头(2)和待测台(3)安装在基座(1)上,所述待测台(3)设于探测头(2)正下方,所述探测头(2)连接检测器(4),所述检测器(4)包括光源(41),所述光源(41)通过光纤连接探测头(2),所述基座(1)包括焦距调节装置(11),所述焦距调节装置(11)连接探测头(2)。
【技术特征摘要】
1.透镜厚度检测装置,其特征在于,包括基座(1)、探测头(2)、待测台(3)、检测器(4),所述探测头(2)和待测台(3)安装在基座(1)上,所述待测台(3)设于探测头(2)正下方,所述探测头(2)连接检测器(4),所述检测器(4)包括光源(41),所述光源(41)通过光纤连接探测头(2),所述基座(1)包括焦距调节装置(11),所述焦距调节装置(11)连接探测头(2)。2.根据权利要求1所述的透镜厚度检测装置,其特征在于,所述探测头(2)通过光纤连接光源(41)和检测器(4)。3.根据权利要求1所述的透镜厚度检测装置,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:覃亚,肖顺东,
申请(专利权)人:佛山市北创光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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