用于传感器校准与测试的转台系统技术方案

公开了一种用于传感器校准与测试的转台系统，包括外轴运动框，沿第一自由度转动；内轴运动框，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动；校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框中，用于为待测传感器提供固定平台；所述外轴运动框和内轴运动框受控运动以使得校准测试平台移动到校准测试所需的各个位置以及达到校准测试所需的各个速度。本实用新型专利技术采用出线孔方式将测试信号线引到转台系统外解决转动过程中信号线被缠绕的问题；采用电滑环装置传输内轴电机的驱动信号解决了转动过程中信号传输的问题；采用外轴以及内轴检测装置实现对转台系统的故障报警；待测传感器校准与测试的数据都传输至测试机保存以便后续分析。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体器件试验设备
，更具体地，涉及一种用于传感器校准与测试的转台系统。
技术介绍
传感器包括加速度计、陀螺仪以及磁力计。其中，加速度计以及陀螺仪是惯性导航和惯性制导系统的基本测量元件之一，加速度计以及陀螺仪本质上是一个振荡系统，安装于运动载体的内部，可以用来测量载体的运动加速度。磁力计是测量磁场的仪器。随着微电子技术的突飞猛进地发展，加速度计、陀螺仪以及磁力计已经广泛的被应用到航天，军事，工业，汽车，民用领域，尤其在民用领用，随着互联网终端的普及，加速度计、陀螺仪以及磁力计市场非常广泛。在加速度计、陀螺仪以及磁力计生产制造过程中，半导体器件设计生产厂家需要对设计生产制造后的加速度计、陀螺仪以及磁力计进行校准与测试，通常是利用重力场翻滚实验装置来校准和测试生产的加速度计、陀螺仪以及磁力计。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于传感器校准与测试的转台系统。根据本技术的一方面，提供一种用于传感器校准与测试的转台系统，包括：外轴运动框，沿第一自由度转动；内轴运动框，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动；校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框中，用于为待测传感器提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于传感器校准与测试的转台系统，包括：外轴运动框，沿第一自由度转动；内轴运动框，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动；校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框中，用于为待测传感器提供固定平台；所述外轴运动框和内轴运动框受控运动以使得校准测试平台移动到校准测试所需的各个位置以及达到校准测试所需的各个速度。

【技术特征摘要】
1.一种用于传感器校准与测试的转台系统，包括：外轴运动框，沿第一自由度转动；内轴运动框，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动；校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框中，用于为待测传感器提供固定平台；所述外轴运动框和内轴运动框受控运动以使得校准测试平台移动到校准测试所需的各个位置以及达到校准测试所需的各个速度。2.根据权利要求1所述的转台系统，还包括：外轴转动装置，包括外轴和外轴电机，所述外轴电机驱动所述外轴的转动；内轴转动装置，包括内轴和内轴电机，所述内轴电机驱动所述内轴的转动；其中，所述外轴运动框与所述外轴通过法兰连接；所述内轴运动框，与所述内轴通过法兰连接；所述外轴转动装置驱动外轴运动框受控运动；所述内轴转动装置驱动内轴运动框受控运动。3.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述待测传感器包括加速度计、陀螺仪以及磁力计。4.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述外轴转动装置还包括：第一减速器，与所述外轴电机直接相连，并通过联轴器与外轴相连。5.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述待测传感器为加速度计以及陀螺仪，所述内轴转动装置还包括：第二减速器，与所述内轴电机直接相连，并与所述内轴直接相连。6.根据权利要求5所述的转台系统，其中，所述第二减速器为直角减速器。7.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述待测传感器为磁力计，所述内轴运动框位于所述外轴运动框内远离外轴电机的一端；所述内轴电机位于所述外轴运动框内远离校准测试平台的一端；所述外轴运动框具有一定的长度以使所述外轴电机、所述内轴电机与所述校准测试平台的距离大于第一预设阈值。8.根据权利要求7所述的转台系统，其中，所述内轴转动装置还包括：第二减速器，与所述内轴电...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴欢欢，符强，魏建中，
申请(专利权)人：杭州士兰微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33