【技术实现步骤摘要】
201520759054
【技术保护点】
一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，所述电阻式气体传感器的四层结构自下而上依次为：硅衬底框架，其内凹形成隔热腔体，所述硅衬底框架上分布有供电电极、探测电极；加热膜层，其包括加热膜区和支撑悬梁，所述加热膜层悬浮于所述隔热腔体的上方，所述加热膜区通过四根支撑悬梁与硅衬底框架连接；加热电极层，其包括加热电阻丝、供电引线、叉指电极和探测引线，所述加热电阻丝以折线形式排布在所述加热膜区上，所述叉指电极排布在所述加热电阻丝的间隙中，所述供电引线和探测引线排布在所述支撑悬梁上；敏感膜层，其覆盖在所述加热电极层上，并且与所述叉指电极电性连接；其特征在于，所述敏感膜层包括两层以上敏...
【技术特征摘要】
1.一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，所述电阻式气体传感器的四层结构自下而上依次为：
硅衬底框架，其内凹形成隔热腔体，所述硅衬底框架上分布有供电电极、探测电极；
加热膜层，其包括加热膜区和支撑悬梁，所述加热膜层悬浮于所述隔热腔体的上方，所述加热膜区通过四根支撑悬梁与硅衬底框架连接；
加热电极层，其包括加热电阻丝、供电引线、叉指电极和探测引线，所述加热电阻丝以折线形式排布在所述加热膜区上，所述叉指电极排布在所述加热电阻丝的间隙中，所述供电引线和探测引线排布在所述支撑悬梁上；
敏感膜层，其覆盖在所述加热电极层上，并且与所述叉指电极电性连接；
其特征在于，所述敏感膜层包括两层以上敏感膜，各层敏感膜逐层电性...
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