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本实用新型公开了一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，其具有四支撑悬梁，其四层结构自下而上依次为：硅衬底框架、加热膜层、加热电极层、敏感膜层，所述敏感膜层包括两层以上敏感膜，各层敏感膜逐层电性连接，且各层敏感膜自下而上，其比表面积逐...
该专利属于许磊所有，仅供学习研究参考，未经过许磊授权不得商用。

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