【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480071278
【技术保护点】
一种形状测定装置,其特征在于,具备:预定图案,配置在与作为透明的平板的被测定物相对的一方或另一方;摄像部,构成为所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的各自的反射像在与所述预定图案的延伸方向垂直的分离方向上分离,通过拍摄所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的反射像而生成包括所述表面及背面各自的反射像的图像;运算部,基于所述被测定物、所述预定图案、所述摄像部的位置关系,从所述摄像部拍摄到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的倾斜角度;及决定部,基于所算出的所述倾斜角度来决定所述表面和所述背面中的至少一方的形状,所述预定图案包括多个要素,所述多个要素的各要素的在与所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏离。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.12.27 JP 2013-2726611.一种形状测定装置,其特征在于,具备:预定图案,配置在与作为透明的平板的被测定物相对的一方或另一方;摄像部,构成为所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的各自的反射像在与所述预定图案的延伸方向垂直的分离方向上分离,通过拍摄所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的反射像而生成包括所述表面及背面各自的反射像的图像;运算部,基于所述被测定物、所述预定图案、所述摄像部的位置关系,从所述摄像部拍摄到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的倾斜角度;及决定部,基于所算出的所述倾斜角度来决定所述表面和所述背面中的至少一方的形状,所述预定图案包括多个要素,所述多个要素的各要素的在与所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏离。2.根据权利要求1所述的形状测定装置,其中,所述多个要素中的所述各要素在所述延伸方向上反复配置。3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其中,所述多个要素中的所述各要素形成为长条形状。4.根据权利要求1~3中任一项所述的形状测定装置,其中,所述多个要素中的相邻的第一要素和第二要素中,所述第一要素从一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏离而形成,所述第二要素从所述第一要素侧的一端朝向另一端而向作为所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏离而形成。5.根据权利要求1~4中任一项所述的形状测定装置,其中,所述多个要素中的所述各要素彼此分离而形成。6.根据权利要求1~4中任一项所述的形状测定装置,其中,所述预定图案利用所述多个要素而形成为正弦波的形状。7.根据权利要求1~6中任一项所述的形状测定装置,其中,所述预定图案具有:第一图案列,利用所述多个要素形成;及第二图案列,与所述第一图案列平行地配置,且与所述第一图案列呈线对称。8.一种形状测定方法,其特征在于,具有:第一工序,...
【专利技术属性】
技术研发人员:大音仁昭,菅原彰,有田祐介,池野田稔,
申请(专利权)人:旭硝子株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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