热光移相器制造技术

一种热光移相器(100，200，300)，包括衬底(1)、设于衬底(1)上的包层(2)、位于包层(2)内的波导芯层(3)、温度控制器(4，11)、以及对波导芯层(3)加热的加热器(5，10)。温度控制器(4，11)与加热器(5，10)间隔设置，且温度控制器(4，11)设于波导芯层(3)的周缘，用于降低波导芯层(3)的温度。本热光移相器，通过增加温度控制器(4，11)，在波导芯层(3)及包层(2)温度升高后或温度升高后需降低时，可以快速降低波导芯层(3)的温度，从而实现消除当波导芯层(3)温度升高时周围器件的热串扰，加快热光移相器(100，200，300)的响应时间，结构简单且性能可靠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵飞，付红岩，涂鑫，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44