多磁控管装置制造方法及图纸

技术编号:13387538 阅读:39 留言:0更新日期:2016-07-22 03:56
本发明专利技术涉及一种用于加工工件,优选大基底的表面的方法以及一种用于实施该方法的设备。提出的是,加工设备布置在真空室中的筒式承载件的周侧面上。工件在筒上方运输并且可选地进行旋转。筒式承载件被转动,从而使所想要的加工设备面向工件并且可以对该工件进行加工。通过平移和旋转工件可以选出要加工的表面区段。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于加工表面的设备,所述设备具有真空室,所述设备具有·运输设备,所述运输设备具有运动主轴线和至少一个工件的容纳部,·能转动的承载筒,所述承载筒具有至少两个布置在所述承载筒上的加工设备,所述加工设备被外壳包围,所述外壳具有朝向工件的开口,其中,至少一个加工设备在工作位置中在所述外壳的开口中朝向所述工件取向,其特征在于,在工作位置中加工设备与要加工的表面的间距约等于不在工作位置中的一个或多个加工设备与所述外壳的间距。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:约阿希姆·迈迪尔克·罗斯特赖纳·鲍姆格特纳
申请(专利权)人:梅耶博格德国股份有限公司
类型:发明
国别省市:德国;DE

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1