【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件吸收缺陷的损伤特性测试领域，具体而言，涉及一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统及方法。
技术介绍
生长、制造或加工过程引入的吸收型缺陷是导致光学元件发生激光损伤的主要原因。吸收缺陷并非一种，而是所有对入射激光具有吸收能力的缺陷的总称。吸收性缺陷的吸收水平高于材料的本征吸收值。由于光学元件的吸收缺陷尺度很小，一般在微米量级，不容易被探测到，导致对吸收缺陷进行损伤测试的难度较大。因此，虽然吸收型缺陷引发激光损伤已获学界认可，但缺陷吸收水平与其损伤性能的关系尚不明确。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统及方法，有效地改善了上述问题。为了实现上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案如下：本专利技术实施例提供了一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统，包括光热弱吸收测试装置、损伤测试光源以及损伤监测显微镜。所述光热弱吸收测试装置用于测试待测光学元件的吸收缺陷点对泵...
【技术保护点】
一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统，其特征在于，包括光热弱吸收测试装置、损伤测试光源以及损伤监测显微镜；所述光热弱吸收测试装置用于测试待测光学元件的吸收缺陷对泵浦光的吸收值；所述损伤测试光源用于发出损伤测试激光作用于所述待测光学元件的所述吸收缺陷处；所述损伤监测显微镜用于获取所述待测光学元件的所述吸收缺陷在所述损伤测试激光的作用下的损伤特性。
【技术特征摘要】
1.一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统，其特征在于，包
括光热弱吸收测试装置、损伤测试光源以及损伤监测显微镜；
所述光热弱吸收测试装置用于测试待测光学元件的吸收缺陷对
泵浦光的吸收值；
所述损伤测试光源用于发出损伤测试激光作用于所述待测光学
元件的所述吸收缺陷处；
所述损伤监测显微镜用于获取所述待测光学元件的所述吸收缺
陷在所述损伤测试激光的作用下的损伤特性。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光热弱吸收测
试装置包括离轴抛物镜、样品台、探测器、探测光源及泵浦光源，所
述待测光学元件安装在所述样品台上，所述样品台用于调节所述待测
光学元件的位置；
所述探测光源用于发出探测光聚焦于所述待测光学元件的所述
吸收缺陷处；
所述离轴抛物镜用于将所述泵浦光源发出的泵浦光以及所述损
伤测试光源发出的损伤测试激光均聚焦于所述吸收缺陷处；
所述探测器用于接收并分析透过所述待测光学元件的探测光得
到所述待测光学元件的吸收缺陷对所述泵浦光的吸收值。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括光
束耦合镜，所述泵浦光源发出的泵浦光及所述损伤测试光源发出的损
伤测试激光均通过所述光束耦合镜入射到所述离轴抛物镜，经所述离
轴抛物镜反射后聚焦到所述待测光学元件的吸收缺陷处，其中，入射
到所述离轴抛物镜的所述泵浦光的光轴与入射到所述离轴抛物镜的
所述损伤测试激光的光轴均与预设光轴重合，且所述预设光轴与所述
\t离轴抛物镜的光轴重合或平行。
4.根据权利要求2或3所述的系统，其特征在于，所述探测光源
包括激光器和扩束整形构件，所述激光器发出的探测光经过所述扩束
整形构件的扩束整形处理后聚焦到所述待测光学元件的吸收缺陷处。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述光热弱吸收测
试装置还包括反射镜，所述反射镜设置于所述扩束整形构件与所述样
品台之间，所述反射镜用于将...
【专利技术属性】
技术研发人员：王凤蕊，刘红婕，耿锋，黄进，蒋晓东，李青芝，叶鑫，孙来喜，周晓燕，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川;51
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