具有可移动致动器与壁之间的密封的微机电设备制造技术

技术编号：1322844 阅读：161 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

一个埋嵌于墨喷嘴中的微机电设备具有一个致动器，该致动器用于移动一个喷墨桨叶，当热感应电流流过时，该致动器（２８）被打开。该桨叶（２７）位于一个墨腔（２４）内，及该致动器（２８）穿过腔（２４）内的致动器孔（５４）。该腔（２４）部分地由墨腔（２４）的上半壁（２３）上的一个直边缘部分（１０）所形成。该致动器（２８）携带一个第二平面壁（９），用于覆盖致动器孔（５４），同时当致动器２８和桨叶（２７）移动以便喷射墨滴（Ｄ）时，第二平面壁（９）能够相对于边缘部分（１０）移动。当致动器（２８）移动时，第二壁（９）相对于边缘部分（１０）移动，在边缘部分（１０）与第二壁（９）之间形成一个弯月形部分（Ｍ），它在第二壁（９）与腔壁（２３）的边缘部分（１０）之间形成一个密封。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电(MEM)设备中的密封。本专利技术可应用于一种类型的喷嘴中，制造这种类型的喷嘴时将可应用于微机电系统(MEM)和金属氧化物半导体(“CMOS”)集成电路中的技术结合起来，以及今后在该应用的上下文中描述本专利技术。然而，应该理解，本专利技术能够更广泛地应用于其他类型的MEM设备内的密封。共同未决的专利申请在下面共同未决的专利申请中公开了与本专利技术相关的各种方法，系统与设备，这些共同未决的专利申请是本专利技术的申请人或者受让人与本专利技术申请同时递交申请的PCT/AU00/00518，PCT/AU00/00519， PCT/AU00/00520，PCT/AU00/00521，PCT/AU00/00522， PCT/AU00/00523，PCT/AU00/00524，PCT/AU00/00525， PCT/AU00/00526，PCT/AU00/00527，PCT/AU00/00528， PCT/AU00/00529，PCT/AU00/00530，PCT/AU00/00531， PCT/AU00/00532，PCT/AU00/00533，PCT/AU00/00534， PCT/AU00/00535，PCT/AU00/00536，PCT/AU00/00537， PCT/AU00/00538，PCT/AU00/00539，PCT/AU00/00540， PCT/AU00/00541，PCT/AU00/00542，PCT/AU00/00543， PCT/AU00/00544，PCT/AU00/00545，PCT/AU00/...

【技术保护点】
一种微机电设备，包括：一个液体腔，用于盛放液体，该液体腔具有第一腔壁，该腔壁具有一个大体上直的周围边缘部分；一个腔壁内的输出孔，用于允许液体从腔内排出，一个部分地由腔壁的所述边缘部分所限定的致动器孔；一个穿过致动器孔伸入所述腔的致动器，它能够移动以便从腔内通过输出孔排放液体；一个由致动器承载并且至少覆盖一部分所述致动器孔的第二壁，该第二壁大体上是平面的，并且当致动器移动以便自腔内排放液体时能够相对于腔壁的边缘部分而移动，且其中，当致动器在腔内移动以便从腔内排放液体时，该第二壁相对于边缘部分保持紧密相距关系地移动，以便由腔内液体在边缘部分与第二壁之间形成一个弯月形部分，从而在第二壁与边缘部分之间形成密封。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：卡西尔弗布鲁克，
申请(专利权)人：西尔弗布鲁克研究股份有限公司，
类型：发明
国别省市：AU[澳大利亚]

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