下载具有可移动致动器与壁之间的密封的微机电设备的技术资料

文档序号:1322844

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一个埋嵌于墨喷嘴中的微机电设备具有一个致动器,该致动器用于移动一个喷墨桨叶,当热感应电流流过时,该致动器(28)被打开。该桨叶(27)位于一个墨腔(24)内,及该致动器(28)穿过腔(24)内的致动器孔(54)。该腔(24)部分地由墨腔(2...
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