【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微位移检测
，具体涉及一种测量微位移的装置。
技术介绍
随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的发展，对精密机械和仪器的制作精度要求越来越高，其中物体的微位移是一项重要的检测指标。现用测量微位移的装置常用的是一种是利用光杠杆拉伸法，但这种装置具有以下缺陷：光学调节比较复杂，器材较庞大，读数装置与测量装置间隔为1至2米，实验时需来回走动，操作困难；采用普通刻度尺读数，误差较大，测量结果不够精确等。迈克尔逊干涉仪是光学干涉仪较常见的一种，其原理是：一束入射激光被分为两束，其中一束经一定相位延迟后与另一束发生干涉现象，形成干涉图样。两束光的不同相位差可以通过调节干涉臂的长度来实现，因此其可测量到的微移位的精度在入射激光的波长量级，如果用可见光的话，则为亚微米量级。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述利用光杠杆测量微位移的缺陷问题，提供一种基于迈克尔逊干涉仪的测量微位移的装置。本专利技术的技术方案是：一种测量微位移的装置，包括导轨、...
【技术保护点】
一种测量微位移的装置，其特征在于：包括导轨(1)、固定安装在导轨(1)前端的固定板(2)、固定安装在导轨(1)中部的主板(3)以及活动安装在导轨(1)后端可沿导轨(1)轴线滑动的镜架(4)，固定板(2)上设有光检测器(5)，主板(3)上设有激光器(6)、分光镜(7)和第一反射镜(8)，镜架(4)上设有第二反射镜(9)，所述激光器(6)、分光镜(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(9)和光检测器(5)构成迈克尔逊干涉仪，被测物体的两端分别固定在主板(3)和镜架(4)上。
【技术特征摘要】
1.一种测量微位移的装置，其特征在于：包括导轨(1)、固定安装在导轨(1)前端
的固定板(2)、固定安装在导轨(1)中部的主板(3)以及活动安装在导轨(1)后端可沿
导轨(1)轴线滑动的镜架(4)，固定板(2)上设有光检测器(5)，主板(3)上设有激光
器(6)、分光镜(7)和第一反射镜(8)，镜架(4)上设有第二反射镜(9)，所述激光器
(6)、分光镜(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(9)和光检测器(5)构成迈克尔逊干
涉仪，被测物体的两端分别固定在主板(3)和镜架(4)上。
2.根据权利要求1所述的测量微...
【专利技术属性】
技术研发人员：常相辉，樊代和，张祖豪，郭培利，马亚宁，徐勋义，刘子健，秦鹏程，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：四川;51
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