下载一种测量微位移的装置的技术资料

文档序号:13136019

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本发明公开了一种测量微位移的装置,包括导轨、固定安装在导轨前端的固定板、固定安装在导轨中部的主板以及活动安装在导轨后端可沿导轨轴线滑动的镜架,固定板上设有光检测器,主板上设有激光器、分光镜和第一反射镜,镜架上设有第二反射镜,所述激光器、分光...
该专利属于西南交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西南交通大学授权不得商用。

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