水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器技术

本申请提供了一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。该水汽阻隔膜包括衬底与设置在衬底表面的水汽阻隔层，水汽阻隔层包括硅氧化物与铝氧化物，且硅氧化物与铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间。该水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入，进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。

【技术实现步骤摘要】

本申请设及显示器领域，具体而言，设及一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的 显示器。
技术介绍
目前，有机发光二极管的rganic Li曲t-Emitting Diode,简称OL邸）显示器越来 越普遍，在手机、媒体播放器及小型入口级电视等产品中最为显著。主要原因是：〇L邸为自 发光材料，不需用到背光板，用简单驱动电路即可发光；视角广，画质均匀，反应速度快，较 易彩色化；且其制程简单，可制作成晓曲式面板，符合轻薄短小的要求。因此，其主要优点可 W归结为：主动发光，视角范围大，响应速度快，图像稳定；亮度高，色彩丰富，分辨率高，驱 动电压低；能耗低，可与太阳能电池、集成电路等相匹配。 其中的柔性OL邸器件具有自发光、宽视角、抗弯曲能力强等优异性能，是实现柔 性显示的较理想的选择，但柔性衬底层对水、氧阻隔能力差是其实现柔性显示的瓶颈之一。 现有技术中的OL邸显示器中的衬底层都不能很好地阻挡外界杂质液体和气体的 侵入，当OL邸衬底层暴露在水和氧气中时，器件的光电特性就会急剧衰退，使得器件在很 短的时间内就不能继续使用，无法满足显示器对寿命要求。
技术实现思路
阳〇化]本申请旨在提供一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器，W解决现有技 术中的衬底层的水汽阻隔效果较差问题。 为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种水汽阻隔膜，该水汽阻隔 膜包括衬底与设置在上述衬底表面的水汽阻隔层，上述水汽阻隔层包括娃氧化物与侣氧化 物，且上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在1:1~7:3之间，上述水汽阻隔膜的厚度在 20~200nm之间。 进一步地，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比为1 :1，上述水汽阻隔层的厚 度在20~40nm之间。 进一步地，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比为7:3,上述水汽阻隔层的厚度 在180~200nm之间。 进一步地，上述娃氧化物为二氧化娃。 进一步地，上述侣氧化物为氧化侣。 进一步地，上述衬底的厚度在25~125 ym之间。 进一步地，上述衬底为PET衬底。 为了实现上述目的，本申请的另一个方面，提供了一种上述的水汽阻隔膜的制备 方法，上述制备方法包括采用磁控瓣射法、电子束蒸锻法或等离子体增强化学气相沉积法 将娃氧化物与侣氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。 为了实现上述目的，本申请的再一个方面，提供了一种显示器，包括水汽阻隔膜， 该水汽阻隔膜为上述的水汽阻隔膜。 进一步地，上述显示器为OLED显示器。 应用本申请的技术方案，将水汽阻隔膜中的娃氧化物与侣氧化物的重量比控制在 1:1~7:3之间，且水汽阻隔层的厚度控制在20~200nm之间时，水汽阻隔膜能够较好地阻 挡外界液体与气体的侵入，进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。【附图说明】 构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示 意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：[001引图1示出了本申请一种实施方式提出的水汽阻隔膜的剖面结构示意图。【具体实施方式】 应该指出，W下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另 有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常 理解的相同含义。 需要注意的是，运里所使用的术语仅是为了描述【具体实施方式】，而非意图限制根 据本申请的示例性实施方式。如在运里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式 也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语"包含"和/或"包 括"时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。 正如
技术介绍
所介绍的，现有技术中的OL邸显示器中的衬底层不能很好地阻挡 外界杂质液体和气体的侵入，使得OL邸显示器的寿命较短，为了解决如上的技术问题，本 申请提出了一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。 本申请的一种典型的实施方式中，如图1所示，提供了一种水汽阻隔膜，该水汽阻 隔膜包括衬底10与设置在衬底10表面的水汽阻隔层20,该水汽阻隔层20包括娃氧化物与 侣氧化物，且上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在1:1~7:3之间，上述水汽阻隔膜的 厚度在20~200nm之间。 当上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在1:1~7:3之间，且水汽阻隔层20的 厚度在20~200皿之间时，水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入，进而提高 了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。 本申请的一种实施例中，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比为7:3之间，上 述水汽阻隔层20的厚度在180~200皿之间。由于水汽阻隔层20中起水汽阻隔作用的主 要是侣氧化物，所W当水汽阻隔层20中的侣氧化物占的比重较小时，要进一步保证该水汽 阻隔层20对液体与气体的有较高的阻隔率，使得水汽阻隔率优于10 2g/m2 . day,需要较厚 的水汽阻隔层20。本申请的一种实施例中，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在5:5之间，上 述水汽阻隔层20的厚度在20~40皿之间。将娃氧化物与上述侣氧化物的重量比控制在 此范围内，同时将水汽阻隔层20的厚度在20~40nm之间，能够进步一步保证该膜对液体 与气体的阻隔率，使得水汽阻隔率优于10 2g/m2 ? day。 为了保证水汽阻隔膜具有良好的光学性能，本申请优选上述水汽阻隔层20的折 射率在I. 5~I. 6之间。 本申请的一种优选实施例中，为了取材方便，节约成本，上述娃氧化物为二氧化 娃。 同样地，优选侣氧化物为氧化侣。[002当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水汽阻隔膜，包括衬底(10)与设置在所述衬底(10)表面的水汽阻隔层(20)，其特征在于，所述水汽阻隔层(20)包括硅氧化物与铝氧化物，且所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，所述水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张玉春，王平，阮国宇，
申请(专利权)人：张家港康得新光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32