【技术实现步骤摘要】
本专利技术关于一种，特别是关于一种利用具有一矫正标准面的光偏折检测模块以进行检测及误差校正的方法。
技术介绍
在现有技术中，针对圆片等具有一大致平坦表面的一待测物进行一表面检测的方式，大致可区分为两种，其分别为:(1)在圆片的上表面及下表面各设置一感测器，使两个感测器隔着圆片相互对位后，将两个感测器同时移动，以测量上、下表面在垂直轴上的变化，并藉此获得相关测量数据；以及(2)利用一真空吸附装置吸附圆片的下表面，使圆片呈现一吸平状态后，再利用检测装置检测圆片的上表面，以获得相关检测数据。其中，将圆片吸平以进行检测的方式所需要的装置元件，虽然相较于以两个感测器分别测量圆片上、下表面的方式所需要的装置元件要来得精简，但在将圆片吸平以进行检测的方式中，用以放置圆片的一检测载台的一承载面，其相对于一实质水平面的误差，往往会对后续的检测结果造成相当大的影响。如本领域技术人员所知悉，在表面检测方式(2)中，前述的检测载台因兼具有吸平圆片的作用，故检测载台上将同时具有多个环状设置的真空吸附沟槽，以协助进行圆片的下表面的吸附作业。如此一来，该些环状设置的真空吸附沟槽，因为...
【技术保护点】
一种光偏折检测模块，用以进行一待测物的一表面的检测及误差校正作业，包含：一检测载台，用以承载该待测物；一面光源，设置于该检测载台上方，提供一平面光朝该检测载台照射；至少两个扫描摄影机，设置于该面光源的相对侧；以及一矫正标准面，邻设于该检测载台；其中，当该面光源朝该检测载台照射该平面光后，该平面光将会被该待测物的该表面及该矫正标准面反射，该至少两个扫描摄影机在接收被该待测物的该表面及该矫正标准面所反射的该平面光后，适于由一处理器进行一数值分析，以获得相关检测数据并进行误差校正作业。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡政道，
申请(专利权)人：政美应用股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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