一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置包括动力机构和遮挡机构，动力机构用于带动遮挡机构在蒸镀速率控制阶段和蒸镀阶段变换不同位置，遮挡机构用于在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于在蒸镀阶段开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，具体地，涉及一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。
技术介绍
在显示
，OLED蒸镀工艺在进行蒸镀过程中需要进行蒸镀材料的速率控制。目前，在OLED的蒸镀腔室内通常设置有多个蒸镀源，每个蒸镀源中的蒸镀材料用于蒸镀形成OLED器件的一个功能层(如发光层、电子传输层或空穴传输层)。每个蒸镀源的正上方都分别设置有一块挡板，挡板与蒸镀源的蒸镀面平行，且挡板的大小恰好能够遮挡与其对应的蒸镀源的蒸镀面。每个蒸镀源在蒸镀开始时，挡板拿掉之后才能开始对蒸镀材料的速率进行控制，同时向待镀基板上进行蒸镀。一个蒸镀源蒸镀完后，下一个蒸镀源重复同样的过程进行另一种蒸镀材料的速率控制和蒸镀。这种蒸镀方法不仅蒸镀时间过长，而且往往在蒸镀材料的速率还没有稳定时，部分蒸镀材料就已经蒸镀到待镀基板上，使待镀基板上的蒸镀膜厚控制不够精准，既浪费蒸镀材料，又影响基板上该蒸镀膜层的品质。目前的蒸镀工艺不但使OLED显示器件良率低，而且极大地提高了 OLED显示器件的成本，使OLED显示器件一直处于难以取代IXD显示器件的境地。特别是对于G2.5产线产生了诸如产能低、材料成本高、时间伴随成本高、重复性稳定性差等问题，且这些问题成为阻碍OLED发展的瓶颈问题。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。本专利技术提供一种遮挡装置，包括动力机构和遮挡机构，所述动力机构用于带动所述遮挡机构在蒸镀速率控制阶段和蒸镀阶段变换不同位置，所述遮挡机构用于在所述蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于在所述蒸镀阶段开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。优选地，所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板均位于所述蒸镀源的上方，且所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板在所述蒸镀源所在平面上的正投影分别位于所述蒸镀源的相对两侧；所述动力机构用于设置在所述蒸镀源的与所述待镀基板位置相对应的一侧，所述遮挡机构包括遮挡部和连接板，所述遮挡部和所述连接板之间成一夹角，所述连接板与所述动力机构连接，所述动力机构能带动所述遮挡部转动到遮挡所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道的位置。优选地，所述遮挡部呈矩形板状，所述遮挡部的长边沿远离所述动力机构的方向延伸，所述遮挡部的宽度大于等于所述蒸镀源的直径。优选地，所述遮挡部呈圆筒状，所述圆筒的一端筒口用于与所述蒸镀源的蒸镀面相对，所述圆筒的筒径沿远离所述动力机构的方向延伸，所述圆筒的直径大于等于所述蒸镀源的直径。优选地，所述连接板平行于所述蒸镀源的蒸镀面，矩形板状的所述遮挡部与所述连接板之间的夹角范围为大于90°且小于180°。优选地，所述连接板平行于所述蒸镀源的蒸镀面，圆筒状的所述遮挡部的筒径与所述连接板之间的夹角范围为大于90°且小于180°。优选地，所述遮挡机构还包括支撑板，所述支撑板设置在所述遮挡部和所述连接板的夹角位置，且所述支撑板的相邻的两侧边分别连接所述遮挡部和所述连接板。优选地，所述遮挡部采用金属材料。优选地，所述遮挡部的用于面向所述蒸镀源的遮挡面设置为网格状。优选地，还包括控制模块，所述控制模块与所述动力机构连接，用于在所述蒸镀速率控制阶段控制所述动力机构动作，以带动所述遮挡机构遮挡所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道；还用于在所述蒸镀阶段控制所述动力机构动作，以带动所述遮挡机构变换位置，使所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道开启。本专利技术还提供一种蒸镀系统，包括上述遮挡装置。优选地，还包括蒸镀源、蒸镀速率感应器和蒸镀膜厚控制器，所述蒸镀源用于向待镀基板上蒸镀膜层；所述蒸镀速率感应器用于采集所述蒸镀源的蒸镀速率，并将采集的所述蒸镀速率发送给所述蒸镀膜厚控制器；所述蒸镀膜厚控制器用于根据所述蒸镀速率控制蒸镀到所述待镀基板上的膜层厚度；所述遮挡装置的控制模块连接所述蒸镀膜厚控制器，所述蒸镀膜厚控制器还用于控制所述控制模块向动力机构发出控制指令。本专利技术还提供一种上述遮挡装置的遮挡方法，包括:在蒸镀速率控制阶段，动力机构带动遮挡机构遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；在蒸镀阶段，所述动力机构带动所述遮挡机构开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。本专利技术的有益效果:本专利技术所提供的遮挡装置，通过设置遮挡机构，既能在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；又能在蒸镀阶段开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启，实现了在蒸镀之前能够提前进行蒸镀材料的速率控制，蒸镀开始时，蒸镀材料的速率已经达到稳定，从而实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。本专利技术所提供的蒸镀系统，通过采用上述遮挡装置，实现了该蒸镀系统的连续性蒸镀控制，使该蒸镀系统不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。【附图说明】图1为本专利技术实施例1中遮挡装置的结构示意图；图2为图1中遮挡部的遮挡面的结构俯视图；图3为本专利技术实施例1的遮挡装置在蒸镀速率控制阶段的设置位置示意图；图4为本专利技术实施例1的遮挡装置在蒸镀阶段的设置位置示意图；图5为本专利技术实施例2中遮挡装置的结构示意图。其中的附图标记说明:1.动力机构；2.遮挡机构；21.遮挡部；22.连接板；23.支撑板；L.遮挡部的长边;W.遮挡部的宽度；3.蒸镀源；31.蒸镀面；4.待镀基板；5.蒸镀速率感应器。【具体实施方式】为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本专利技术所提供的一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统作进一步详细描述。实施例1:本实施例提供一种遮挡装置，如图1所示，包括动力机构I和遮挡机构2，动力机构I用于带动遮挡机构2在蒸镀速率控制阶段和蒸镀阶段变换不同位置，遮挡机构2用于在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启；还用于在蒸镀阶段开启蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置通过设置既能在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启；又能在蒸镀阶段开启蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启的遮挡机构2，实现了在蒸镀之前能够提前进行蒸镀材料的速率控制，蒸镀开始时，蒸镀材料的速率已经达到稳定，从而实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种遮挡装置，包括动力机构和遮挡机构，所述动力机构用于带动所述遮挡机构在蒸镀速率控制阶段和蒸镀阶段变换不同位置，其特征在于，所述遮挡机构用于在所述蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于在所述蒸镀阶段开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：付文悦，陈立强，冯长海，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11