本实用新型专利技术提供一种屏蔽袋，所述屏蔽袋的膜结构自下而上依次包括聚乙烯层、聚酰胺层、铝层及PET层，其中，所述聚乙烯层（PE层）的韧性及加热契合性较好，有利于提高抽真空及热封的效果；所述聚酰胺层（PA层，尼龙层）具有抗刺穿、抗拉及隔氧的效果；所述铝层（Al层）具有隔氧、隔气、防潮的效果；所述PET层具有耐高温、抗拉的效果。本实用新型专利技术中，将易于吸附颗粒的聚酰胺层调整到铝层以下，且最外层使用PET层，可以有效减少掩蔽袋表面吸附的颗粒，同时，本实用新型专利技术的屏蔽袋相对于现有产品，抗刺穿性能和拉伸强度均有显著提高，可以降低晶圆破损及污染、减少客户投诉，同时可以降低成本，减少原物料的使用、运输成本以及客户损失的赔偿。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体领域，涉及一种屏蔽袋。
技术介绍
目前，正在应用的静电屏蔽袋为三层膜复合结构，请参阅图1，显示为现有屏蔽袋 的膜结构剖视图，自下而上依次包括LDPE+LLDPE层101、铝层102及聚酰胺层103。其中， 所述LDPE+LLDPE层101由LDPE及LLDPE两种材料混合而成。低密度聚乙烯（Low Density Polyethylene，LDPE)是一种塑料材料，它适合热塑性成型加工的各种成型工艺，成型加工 性好。LDPE主要用途是作薄膜产品，还用于注塑制品，医疗器具，药品和食品包装材料，吹 塑中空成型制品等。线性低密度聚乙稀（Linear Low Density Polyethylene，LLDPE)是 乙烯与少量高级α-烯烃（如丁烯-1、己烯-1、辛烯-1、四甲基戊烯-1等）在催化剂作用 下，经高压或低压聚合而成的一种共聚物，密度处于〇. 915~0. 940克/立方厘米之间。常 规LLDPE的分子结构以其线性主链为特征，只有少量或没有长支链，但包含一些短支链。没 有长支链使聚合物的结晶性较高。铝层是柔软的金属薄膜，不仅具有防潮、气密、遮光、耐磨 蚀、保香、无毒无味等优点，而且还因为其有优雅的银白色光泽，易于加工出各种色彩的美 丽图案和花纹。特别是铝膜与塑料和纸复合之后，把铝膜的屏蔽性与纸的强度、塑料的热密 封性融为一体，进一步提高了作为包装材料所必需的对水汽、空气、紫外线和细菌等的屏蔽 性能，大大拓宽了铝膜的应用市场。由于被包装的物品与外界的光、湿、气等充分隔绝，从而 使包装物受到了完好的保护。聚酰胺（P〇lyamide，PA)俗称尼龙（Nylon)，是大分子主链重 复单元中含有酰胺基团的高聚物的总称。聚酰胺可由内酸胺开环聚合制得，也可由二元胺 与二元酸缩聚等得到的。是美国DuPont公司最先开发用于纤维的树脂，于1939年实现工 业化。20世纪50年代开始开发和生产注塑制品，以取代金属满足下游工业制品轻量化、降 低成本的要求。PA具有良好的综合性能，包括力学性能、耐热性、耐磨损性、耐化学药品性和 自润滑性，且摩擦系数低，有一定的阻燃性，易于加工。 现有的静电屏蔽袋经过运输、搬运到达客户端后易出现破损、划痕等现象，导致漏 真空、失去防潮防静电效果，遭到多个客户频繁的投诉。重新包装、运输及赔偿等使得成本 上升30%左右，加大了企业的负担。 现有的解决办法是：1)操作员在搬运装箱的过程中，需要轻拿轻放，并且在存放 的货架上包上缓冲材料，以避免在棱角的地方磕碰，降低风险；2)每个出货的盒子都包两 层，以保证在客户端没有投诉。 然而，现有方法并没有从根本上解决问题，破袋发生的频率仍然较高，同时，每个 盒子包两层屏蔽袋也增加了原物料的使用。 因此，如何提供一种新型屏蔽袋，以提高屏蔽袋性能，降低晶圆破损及污染，减少 客户投诉，并降低成本，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种屏蔽袋，用于解 决现有技术中屏蔽袋性能差，在运输、搬运过程中容易出现破损、划痕的问题。 为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种屏蔽袋，所述屏蔽袋的膜 结构自下而上依次包括聚乙烯层、聚酰胺层、铝层及PET层。 可选地，所述聚乙稀层的厚度范围是0. 1~0. 15mm。 可选地，所述聚酰胺层的厚度范围是0· 01~0· 05mm。 可选地，所述错层的厚度范围是〇· 001~〇· 02mm。 可选地，所述PET层的厚度范围是0.005~0.025_。 可选地，所述聚乙烯层的厚度大于总膜厚的一半。 可选地，所述聚乙烯层为低密度聚乙烯、线性低密度聚乙烯或高密度聚乙烯。 可选地，所述聚乙烯层由低密度聚乙烯、线性低密度聚乙烯及高密度聚乙烯中的 至少两种混合而成。 如上所述，本技术的掩蔽袋，具有以下有益效果：本技术的屏蔽袋的膜结 构自下而上依次包括聚乙烯层、聚酰胺层、铝层及PET层，其中，所述聚乙烯层（PE层）的韧 性及加热契合性较好，有利于提高抽真空及热封的效果；所述聚酰胺层（PA层，尼龙层）具 有抗刺穿、抗拉及隔氧的效果；所述铝层（A1层）具有隔氧、隔气、防潮的效果；所述PET层 具有耐高温、抗拉的效果。本技术中，将易于吸附颗粒的聚酰胺层调整到铝层以下，且 最外层使用PET层，可以有效减少掩蔽袋表面吸附的颗粒，同时，本技术的屏蔽袋相对 于现有产品，抗刺穿性能和拉伸强度均有显著提高，可以降低晶圆破损及污染、减少客户投 诉，同时可以降低成本，减少原物料的使用、运输成本以及客户损失的赔偿。【附图说明】 图1显示为现有技术中掩蔽袋的膜结构剖视图。 图2显示为本技术中掩蔽袋的膜结构剖视图。 图3显示为测试时将包装盒从11个不同角度跌落的示意图。 元件标号说明 101 LDPE+LLCPE 层 102,，203 铝层 103,202 聚酰胺层 201 聚乙烯层 204 PET 层【具体实施方式】 以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本 说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。 请参阅图2及图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用 以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新 型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小 的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新 型所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如"上"、"下"、"左"、 "右"、"中间"及"一"等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的 范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的 范畴。 如图2所示，本技术提供一种屏蔽袋，所述屏蔽袋的膜结构自下而上依次包 括聚乙烯层201、聚酰胺层202、铝层203及PET层204。 具体的，在包装时，所述聚乙烯层201作为屏蔽袋的最内膜层。所述聚乙烯层201 的韧性及加热契合性较好，有利于提高抽真空及热封的效果。所述聚乙烯层201在四层膜 中厚度最厚，优选的，所述聚乙烯层201的厚度大于总膜厚的一半。 聚乙稀（polyethylene，简称PE)是乙稀经聚合制得的一种热塑性树脂。聚乙稀依 聚合方法、分子量高低、链结构之不同，分高密度聚乙烯、低密度聚乙烯及线性低密度聚乙 烯。低密度聚乙烯（LOW DENSITY POLYETHYLENE，LDPE)俗称高压聚乙烯，因密度较低，材质 最软，主要用在塑胶袋、农业用膜等。高密度聚乙烯（HIGH DENSITY POLYETHYLENE，HDPE) 俗称低压聚乙烯，与LDPE及LLDPE相较当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种屏蔽袋，其特征在于：所述屏蔽袋的膜结构自下而上依次包括聚乙烯层、聚酰胺层、铝层及PET层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：程琳，上官遨宇，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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