一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置。其特点是：包括硅烷燃烧塔，该硅烷燃烧塔的进风口通过管道与PECVD真空泵出风口连通，该硅烷燃烧塔的出风口通过管道与氨气喷淋吸收塔进风口连通，该氨气喷淋吸收塔的出风口通过管道与风机连通。本发明专利技术提供了一种太阳能光伏电池片生产过程中产生的氨气和硅烷混合废气综合处理装置，通过该氨气和硅烷废气综合处理装置，其优点是：(1)有效处理氨气废气，废气排放达到国家标准；(2)安全处理硅烷废气，废气排放达到国家标准；(3)整个处理过程无需人员操作，安全无害，结构简单，压损小；(4)不使用其他化学药剂，降低废气处理成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置。
技术介绍
太阳能光伏电池片是一种将太阳能转换为电能的半导体器件，其原理为光电效应。在生产太阳能光伏电池片的过程中，需要在太阳能电池表面利用PECVD技术沉积一层氮化硅减反射膜，以达到减少光线在电池片表面反射作用，提高太阳能电池的光电转换效率。PECVD镀膜反应采用氨气(NH3)和硅烷(SiH4)作为等离子气源，在太阳能电池表面制备氮化硅膜，氮化硅膜主要含N、S1、Η元素(SiNx:H)。制备氮化硅膜过程中，通过控制真空栗将腔体内过量的氨气和硅烷抽出来保证炉管腔体压力恒定。被抽出的氨气和硅烷作为废气通过废气处理装置处理后排放。目前氨气废气处理普遍采用的吸收法。对于大量氨气废气，采用硫酸吸收生成硫酸铵盐，利用硫酸铵制成化肥，对于少量氨气废气，采用四氯化碳加水吸收。而PECVD镀膜工艺产生的氨气废气量并不大，用硫酸吸收无实用价值，用四氯化碳等化学药剂吸收则成本较高。同时由于硅烷极易在空气中燃烧，所以处理硅烷主要采用燃烧法，在硅烷燃烧塔内同时通入过量氮气和压缩空气，使娃烧安全燃烧。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种成本低的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置，其特征在于：包括硅烷燃烧塔，该硅烷燃烧塔的进风口通过管道与PECVD真空泵出风口连通，该硅烷燃烧塔的出风口通过管道与氨气喷淋吸收塔进风口连通，该氨气喷淋吸收塔的出风口通过管道与风机连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁继业，陈刚刚，王雄，谢余才，安百俊，袁佳新，
申请(专利权)人：宁夏银星能源光伏发电设备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：宁夏;64