温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置。其特点是：包括硅烷燃烧塔，该硅烷燃烧塔的进风口通过管道与PECVD真空泵出风口连通，该硅烷燃烧塔的出风口通过管道与氨气喷淋吸收塔进风口连通，该氨气喷淋吸收塔的出风口通过管道与风机连通。本发明提供...
该专利属于宁夏银星能源光伏发电设备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏银星能源光伏发电设备制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。