太阳能电池中金属结构的形成制造技术

本发明专利技术提供了一种太阳能电池的金属触点，所述金属触点是通过电镀铜而形成，所述电镀使用形成于电介质层上的电镀晶种(211)。所述电镀晶种包括铝层，所述铝层通过所述电介质层中的接触孔连接到所述太阳能电池的扩散区。在所述铝层上形成镍层，所述镍层-铝层堆叠形成所述电镀晶种(212)。所述铜是在镀铜液中被电镀的，所述镀铜液使用甲磺酸代替硫酸作为支持电解质(213)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本文所述主题的实施例整体涉及太阳能电池。更具体地讲，所述主题的实施例涉及太阳能电池制造工艺和结构。
技术介绍
太阳能电池是熟知的用于将太阳辐射转换成电能的装置。太阳能电池具有正面和与正面相对的背面，所述正面在正常操作期间面向太阳以收集太阳辐射。照射在太阳能电池上的太阳辐射产生可用于为外部电路(诸如负载)供电的电荷。可通过金属触点将外部电路电连接到太阳能电池的扩散区。
技术实现思路
在一个实施例中，通过电镀铜形成了太阳能电池的金属触点，所述电镀使用形成于电介质层上的电镀晶种。该电镀晶种包括铝层，该铝层通过电介质层中的接触孔连接到太阳能电池的扩散区。在铝层上形成镍层，镍层-铝层堆叠形成所述电镀晶种。铜是在镀铜液中被电镀的，所述镀铜液使用甲磺酸代替硫酸作为支持电解质。本领域的技术人员在阅读包括附图和权利要求书的本公开全文之后，本公开的这些和其他特征对于他们而言将是显而易见的。附图说明当结合以下附图考虑时，通过参见具体实施方式和权利要求书可以更本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：在电介质层上形成铝层以通过所述电介质层中的接触孔连接到所述太阳能电池的扩散区；形成电镀晶种，其中所述形成电镀晶种包括在所述铝层上形成镍层；以及形成连接到所述太阳能电池的所述扩散区的金属触点，其中形成所述金属触点包括在所述太阳能电池的背面上电镀铜层，其中所述铜层在包含甲磺酸而不含硫酸的镀铜液中被电镀。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.06.28 US 13/931,5201.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在电介质层上形成铝层以通过所述电介质层中的接触孔连接到
所述太阳能电池的扩散区；
形成电镀晶种，其中所述形成电镀晶种包括在所述铝层上形成
镍层；以及
形成连接到所述太阳能电池的所述扩散区的金属触点，其中形
成所述金属触点包括在所述太阳能电池的背面上电镀铜层，其中所
述铜层在包含甲磺酸而不含硫酸的镀铜液中被电镀。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述镍层镀在所述铝层上。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成铝层包括在含有氧化硅
的所述电介质层上形成所述铝层。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成铝层包括在所述电介质
层上印刷所述铝层。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述印刷所述铝层包括在所述电
介质层上丝网印刷所述铝层。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述在电介质层上形成铝层包
括：在所述电介质层上形成所述铝层，以连接到在所述太阳能电池
的基板内形成的扩散区。
7.根据权利要求1所述的方法，其中所述在电介质层上形成铝层包
括：在形成于太阳能电池基板上的所述电介质层上形成所述铝层，
其中所述太阳能电池基板包含单晶硅。
8.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在太阳能电池基板上形成电介质层；
形成穿过所述电介质层的接触孔，以暴露出所述太阳能电池的
扩散区；
在所述电介质层上以及所述接触孔中形成铝层，以连接到所述
扩散区；...

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫·弗雷德里克·本克，
申请(专利权)人：太阳能公司，
类型：发明
国别省市：美国;US