缺陷检查设备和方法技术

本发明专利技术提供一种缺陷检查设备和方法。该缺陷检查设备包括：载物台，支撑物体；第一发光单元，发射将入射在物体上的光；反射器，将由第一发光单元发射并被物体反射的光再次反射到物体上；第二发光单元，设置在相对于载物台与第一发光单元相对的方向上，并发射将入射在物体上的光；相机，包括接收被反射器反射、入射在物体上、且随后被物体反射的光以及从第二发光单元入射在物体上并穿过物体的光的成像器件；第三发光单元，设置为靠近反射器，并发射将入射在物体上的光。第三发光单元发射的光以与反射器反射的光的角度不同的角度入射在物体上，成像器件接收从第三发光单元发射并入射在物体上的光中的被物体散射的一部分光。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】本申请要求于2014年7月2日提交至韩国知识产权局的第10-2014-0082532号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的全部公开通过引用包含于此。
一个或更多个示例性实施例涉及，更具体地讲，涉及利用单个装置来测量多种类型的缺陷并区分多种类型的缺陷的。
技术介绍
当检查透明或者不透明的物体是否存在缺陷时，通常来说，装置通过发射将要入射在物体上的光然后测量并分析透射光或反射光来检查物体是否存在缺陷。然而，为了检测缺陷，沿一个方向发射将要入射在物体上的光的各个发光装置都需要载物台和相机，这导致了用于检查多种类型的缺陷的检查装置的尺寸过度地增大。此外，由于从每个载物台独立地获取图像，所以可能难以区分缺陷。
技术实现思路
—个或多个示例性实施例包括一种具有很小的尺寸并可以测量并在多种类型的缺陷之间进行区分的缺陷检查设备。另外的方面将在随后的描述中部分地阐述，且部分地将通过描述而变得显而易见，或者可以通过实施提供的示例性实施例而了解。根据一个或多个示例性实施例，一种缺陷检查设备包括:载物台，支撑物体；第一发光单元，发射将入射在物体上的光；反射器，将由第一发光单元发射并被物体反射的光再次反射到物体上；第二发光单元，设置在关于载物台与第一发光单元相反的方向上，并发射将入射在物体上的光；相机，包括接收被反射器反射、入射在物体上、且随后被物体反射的光以及从第二发光单元入射在物体上并穿过物体的光的成像器件；第三发光单元，被设置为靠近反射器，并发射将入射在物体上的光。第三发光单元发射的光以与反射器反射的光的角度不同的角度入射在物体上，成像器件接收从第三发光单元发射并入射在物体上的光中的被物体散射的光的一部分。由相机的光轴和垂直于物体的线形成的角度与将反射器连接到物体的线和垂直于物体的线形成的角度可以基本相同。反射器可以是后向反射器。由相机的光轴和垂直于物体的线形成的角度与将第二发光单元连接到物体的线和垂直于物体的线形成的角度可以基本相同。所述设备还可以包括:第四发光单元，被设置为靠近第二发光单元并以与第二发光单元发射的光的角度不同的角度将光发射在物体上。第三发光单元可以包括设置在基于反射器的两个方向上并以不同的角度将光发射在物体上的多个照明源，第四发光单元可以包括设置在基于第二发光单元的两个方向上并以不同的角度将光发射在物体上的多个照明源。所述设备还可以包括:阻挡单元，设置在成像器件的前方，并根据被反射器反射、入射在物体上且随后被物体反射的光的角度来阻挡入射在成像器件上的光的一部分或全部。所述设备还可以包括:第五发光单元，设置在关于载物台与第二发光单元的方向相同的方向上，并沿与物体垂直的方向发射光；垂直相机，接收由第五发光单元发射并被物体反射的光。反射器和第三发光单元可以被设置为使得基于被物体反射的光入射所处的区域形成10°至40°的角度。所述设备还可以包括:第六发光单元，被载物台支撑，并朝向物体的侧表面发射光。根据一个或多个示例性实施例，一种缺陷检查方法包括:在载物台上设置物体；通过使用第一发光单元发射将入射在物体上的光；通过使用反射器将由第一发光单元发射且随后被物体反射的光反射到物体上、以及使用成像器件接收通过反射器再次入射在物体上且随后从物体反射的光，来获得第一图像；通过使用设置在关于载物台与第一发光单元相对的方向上的第二发光单元发射将入射在物体上的光；通过使用成像器件接收由第二发光单元发射并穿过物体的光来获得第二图像；通过使用被设置为靠近反射器的第三发光单元以与由反射器反射的光的角度不同的角度发射将入射在物体上的光；通过使用成像器件接收由第三发光单元入射在物体上并被物体散射的光来获得第三图像；匹配从第一图像至第三图像中选择的至少两种图像的坐标；从具有匹配的坐标的所述至少两种图像检测缺陷并区分缺陷的类型。所述方法还可以包括:通过使用由载物台支撑的第六发光单元朝向物体的侧表面发射光；通过使用成像器件接收由第六发光单元发射并被物体散射的光来获得第五图像；匹配所述至少两种图像的坐标和第五图像的坐标；从具有匹配的坐标的至少三种图像检测缺陷并区分缺陷的类型。所述方法还可以包括:通过使用被设置在关于载物台与第二发光单元的方向相同的方向上的第五发光单元沿与物体垂直的方向发射光；通过使用垂直相机接收由第五发光单元发射并被物体反射的光来获得第四图像。所述方法还可以包括:通过使用由载物台支撑的第六发光单元朝向物体的侧表面发射光；通过使用垂直相机接收由第六发光单元发射并被物体散射的光来获得第六图像；匹配所述至少两种图像的坐标和第六图像的坐标；从具有匹配的坐标的至少三种图像检测缺陷并区分缺陷的类型。本专利技术构思的效果根据示例性实施例，缺陷检查设备可以是很小的，并且该设备和缺陷检查方法可用于检测和区分多种缺陷。【附图说明】通过下面结合附图的对示例性实施例的描述，这些和/或其他的方面将变得明显和更容易理解，在附图中:图1是根据示例性实施例的缺陷检查设备的透视图；图2是图1中的缺陷检查设备的示意图；图3A和图3B是包括在图1中的缺陷检查设备中的相机的特定元件的示意图；图4是根据另一不例性实施例的缺陷检查设备的不意图；图5至图10是根据另一不例性实施例的缺陷检查设备的不意图；图11是根据示例性实施例的缺陷检查方法的流程图；图12A到图12H是根据图11中的缺陷检查方法的用于测量和区分缺陷的图像；图13是根据另一示例性实施例的缺陷检查方法的流程图；图14A和图14B是根据图13中的缺陷检查方法的用于测量和区分缺陷的图像。【具体实施方式】因为本专利技术构思允许存在多种改变和许多示例性实施例，所以将在附图中示出并在文字描述中详细描述特定的示例性实施例。然而，这不意在将本专利技术构思限制为特定的实施模式，且应该理解的是，在本专利技术构思中包括不脱离所述精神和技术范围的所有的改变，等同物和替换物。在描述中，当认为现有技术的某些详细的说明可能不必要地使本专利技术构思的本质变得模糊时，对现有技术的某些详细的说明进行了省略。如这里所使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关所列项目的任意和所有组合。当诸如“……中的至少一个”的表达位于一系列元件之后时，其修饰的是整个系列的元件且不修饰该系列的独立的元件。下文中，将参照附图来详细描述示例性实施例。在附图中，附图中相同的附图标记指示相同的元件，因此，将不重复它们的描述。虽然诸如“第一”、“第二”等的术语可以用于描述多种组件，但是这样的组件不必须被上述术语所限制。上述术语仅被用于将一个组件与另一个组件区分开来。在本说明书中使用的术语仅被用于描述特定的示例性实施例，且不意在限制本专利技术构思。除非在上下文中具有清楚的不同的含义，否则以单数形式使用的表达包括多数形式的表达。在本说明书中，应该理解的是，诸如“包括”、“具有”和“包含”的术语意在指示存在在说明书中公开的特征、数量、步骤、动作、组件、部件或它们的组合，且不意在排除可存在或可添加一个或多个其他的特征、数量、步骤、动作、组件、部件或它们的组合的可能性。为了便于解释，可能夸大了在附图中的组件的尺寸。换句话说，因为为了便于解释而任意地示出了附图中的组件的尺寸和厚度，所以下面的示例性实施例不限于此。图1是根据示例性实施例的缺陷检查设备I的透视图。图2是图1中的缺陷检查本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缺陷检查设备，包括：载物台，支撑物体；第一发光单元，发射将要入射在物体上的光；反射器，将由第一发光单元发射并被物体反射的光再次反射到物体上；第二发光单元，设置在关于载物台与第一发光单元相对的方向上，并发射将要入射在物体上的光；相机，包括接收被反射器反射、入射在物体上、且随后被物体反射的光以及从第二发光单元入射在物体上并穿过物体的光的成像器件；第三发光单元，被设置为靠近反射器，并发射将要入射在物体上的光，其中，第三发光单元发射的光以与反射器反射的光的角度不同的角度入射在物体上，成像器件接收从第三发光单元发射并入射在物体上的光中的被物体散射的一部分光。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：姜旻秀，宋尚宪，
申请(专利权)人：韩华泰科株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR