燃烧监测制造技术

公开了辐射燃烧器和方法。辐射燃烧器用于处理来自制造加工工具的废气流，并且包括：具有多孔套筒的燃烧室，燃烧材料穿过多孔套筒以便贴近多孔套筒的燃烧表面燃烧；可操作为通过监测从燃烧表面发射的红外辐射来确定辐射燃烧器的燃烧性能的燃烧特性监测器；和可操作为基于由燃烧特性监测器确定的燃烧性能来控制辐射燃烧器的运行的辐射燃烧器控制器。因此，方面认识到如果燃烧器遭受过量空气流则燃烧器垫片或燃烧表面将通常冷却，这将导致由辐射燃烧器产生的排出气中不希望的排放增加。冷却也导致由燃烧表面确定的红外辐射的减少。辐射燃烧器的氢焰和燃烧器引燃器的碳氢化合物火焰通常不发射红外辐射并且因此由辐射燃烧器的燃烧表面发射的红外辐射中例如强度、数量或频率的变化可以被用于判断通常是空气的冷气在馈送至例如燃烧室的系统内的燃烧混合物中的“溢流”。一旦做出判断，可以采取适当的改进步骤并且例如燃烧器控制逻辑可被操作为通过减少进入燃烧器内的空气流来补偿。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种辐射燃烧器和方法。
技术介绍
辐射燃烧器是已知的并且通常被用于处理来自使用在例如半导体或平板显示器制造业中的制造加工工具的废气流。在这样的制造期间，残留全氟化合物(PFC)和其它化合物存在于从加工工具抽出的废气流中。PFC难以从废气去除并且将它们释放到环境中是不希望的，原因在于与二氧化碳相比，它们已知具有相对高的温室效应。应当理解的是各种半导体或平板显示器制造工艺都已被应用。例如，可以使用例如化学气相沉积、外延工艺和蚀刻工艺的工艺并且各个工艺将具有相关的废气流。为处理那些废气流提供了各种辐射燃烧器。应当理解的是，基于制造工艺的要求可以选择适当的气体燃烧器。例如，在化学气相沉积制造技术的情况中可以使用简单的辐射燃烧器，而用于处理来自外延制造工艺的废气的辐射燃烧器可以包括高流量氢气燃烧器，用于处理由蚀刻工艺产生的废气的合适的辐射燃烧器可以包括辐射燃烧器和在喷嘴末端处提供的高强度火焰，所述喷嘴将流出物引入燃烧室内。已知的辐射燃烧器利用燃烧从废气流去除PFC和其它化合物。这样的辐射燃烧器通常包括燃烧室，所述燃烧室在侧面由小孔气体燃烧器的排出表面环绕。燃料气体和空气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理来自制造加工工具的废气流的辐射燃烧器，所述辐射燃烧器包括：燃烧室，所述燃烧室具有多孔套筒，燃烧材料穿过所述多孔套筒以便贴近所述多孔套筒的燃烧表面燃烧；燃烧特性监测器，所述燃烧特性监测器可操作为通过监测从所述燃烧表面发射的红外辐射来确定所述辐射燃烧器的燃烧性能；和辐射燃烧器控制器，所述辐射燃烧器控制器可操作为基于由所述燃烧特性监测器确定的燃烧性能来控制所述辐射燃烧器的运行。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：GD斯坦顿，DM普赖斯，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国;GB