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公开了辐射燃烧器和方法。辐射燃烧器用于处理来自制造加工工具的废气流，并且包括：具有多孔套筒的燃烧室，燃烧材料穿过多孔套筒以便贴近多孔套筒的燃烧表面燃烧；可操作为通过监测从燃烧表面发射的红外辐射来确定辐射燃烧器的燃烧性能的燃烧特性监测器；和可...
该专利属于爱德华兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹有限公司授权不得商用。

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