【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种利用AOM对光波频率进行高频阶梯调制，实现了条纹相位探测和移相干涉测量的干涉仪，尤其涉及一种反馈式声光调制移相干涉系统，属于干涉仪领域。
技术介绍
移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式测量技术，具有极高的测量精度和灵敏度，被认为是检测精密元件的最准确技术之一。早在200多年前，人们就注意到了了光的干涉现象，并开始有计划的控制干涉现象。但是直到I960年第一台红宝石激光器的研制成功，干涉现象才开始广泛应用于测量领域。传统的干涉测量技术主要是通过照相或人眼直接观察干涉条纹，手工计算测量结果的方式进行的，效率低下，主观误差较大。1974年Bruning等人首次将通讯领域中的相位探测技术引入到光学测量中，使经典的干涉测量技术从微米级跨入纳米级，实现光学计量测试的重大突破。80年代以来，随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术在光学测试中的逐步应用，移相干涉技术得到进一步发展，实现了实时、快速、多参数、自动化的测量。传统的移相干涉通常时间移相法，利用PZT的压电特性推动移相元件匀速移动，实现干涉图的等间隔相移。在此期间，...
【技术保护点】
一种反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：所述反馈式声光调制移相干涉系统主要包括激光器(1)、多个扩束镜、分光系统(3)、多个调制器、光阑(6)、反射镜(7)、多个准直镜、参考镜(12)和成像透镜(15)，其中，多个扩束镜包括第一扩束镜(2)和第二扩束镜(5)，多个调制器包括第一调制器(4)和第二调制器(10)，多个准直镜包括第一准直镜(8)和第二准直镜(15)，所述激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一调制器(4)、第二扩束镜(5)、光阑(6)和反射镜(7)设置在同一光轴线上，激光器(1)发射的激光经过第一扩束镜(2)后到达分光系统(3)分成两路，一路经过...
【技术特征摘要】
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