目标为致使上面提供快门的衬底和与其对置的衬底为电连续的。在第一衬底(10)上，分别提供控制光的通过或阻挡的快门(28)、用于驱动所述快门(28)的驱动器(52)和具有从所述第一衬底(10)上升以便环绕指定空间的多个侧面(66)的伸出部分(62)以便含有第一导电膜(54)和绝缘膜(16)的层压结构。所述相应多个侧面(66)的最外层由覆盖所述第一导电膜(54)的所述绝缘膜(16)制成，且具有暴露所述第一导电膜(54)的一部分的孔隙(68)。导电粒子(70)布置在由所述多个侧面(66)环绕的所述指定空间中，且在最接近所述第一衬底(10)的侧上接触从所述多个侧面(66)中的所述孔隙(68)暴露的所述第一导电膜(54)，且在最接近所述第二衬底(12)的侧上接触第二导电膜(22)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】相关串请案本专利申请案主张2013年3月14日申请的标题为“使用抗蚀剂侧壁的堆焊表面来导电(Electrical Conduct1n Using Bead on Surface of Resist Sidewall)，，的第2013-051967号日本申请案的优先权，所述申请案转让给本受让人且在此以引用的方式明确地并入本文中。
本专利技术涉及一种。
技术介绍
微机电系统(MEMS)显示器是预期取代液晶显示器的显示器(参考专利参考I)。此显示器使用机械快门打开和闭合透明窗口，不同于采用偏光的液晶快门样式。更具体地说，针对上面形成TFT(薄膜晶体管)的TFT衬底上的每一像素提供快门，且通过借助依靠静电力在水平方向上操作快门而打开和闭合孔隙来显示图像。第2008-197668号日本未审查专利申请公开案第2001-215524号日本未审查专利申请公开案
技术实现思路
通常，为防止快门粘住对置衬底，快门和所述对置衬底必须处于相同电位。为了这样做，致使对置衬底和TFT衬底使用导电材料电连接。上面提供快门的TFT衬底的表面用钝化膜覆盖。因为钝化膜由例如SiN等硬质材料形成，所以即使使用通过按压导电粒子的方法(如专利参考2中所揭示)也无法刺穿钝化膜，且难以使对置衬底和TFT衬底为电连续的。 本专利技术的目标为致使上面提供快门的衬底和与其对置的衬底为电连接的。(I)关于本专利技术的显示装置包含:第一衬底；第二衬底，其经布置以便与第一衬底对置；第一导电膜，其提供在第一衬底的最接近第二衬底的侧上；绝缘膜，其提供在第一衬底的最接近第二衬底的侧上以便覆盖第一导电膜；第二导电膜，其提供在第二衬底的最接近第一衬底的侧上；以及导电粒子，其插入在第一衬底与第二衬底之间，其中，在第一衬底上，分别提供控制光的通过或阻挡的快门、用于驱动所述快门的驱动器和具有从第一衬底上升以便环绕指定空间的多个侧面的伸出部分以便含有第一导电膜和绝缘膜的层压结构，且所述相应多个侧面的最外层由覆盖第一导电膜的绝缘膜制成，且具有暴露第一导电膜的一部分的孔隙，且导电粒子布置在由所述多个侧面环绕的指定空间中，且在最接近第一衬底的侧上，其接触从所述多个侧面中的孔隙暴露的第一导电膜，且在最接近第二衬底的侧上，其接触第二导电膜。根据本专利技术，可使形成于上面提供快门的第一衬底上的第一导电膜和形成于对置的第二衬底上的第二导电膜电连接。因此，可防止快门和衬底归因于静电力粘着在一起，因为快门和第二衬底处于相同电位。导电粒子触碰的第一导电膜为构成从第一衬底上升的伸出部分的层压结构的一部分。在伸出部分的侧面上，绝缘膜和第一导电膜的层压方向为与第一衬底和第二衬底的对置方向相交的方向。因此，当使第一衬底与第二衬底对置时，归因于导电粒子在所述两者彼此对置的方向中移动，容易由于导电粒子剥落掉绝缘膜的一部分而形成孔隙。因此，导电粒子和第一导电膜可经由绝缘膜中的孔隙而电连接。(2)其特征还可在于，在根据项目(I)的显示装置中，绝缘膜进一步含有平行于第一衬底的表面延伸的部分，且构成所述多个侧面的最外层的部分比平行于第一衬底的表面延伸的部分薄。(3)其特征还可在于，在根据项目(I)或(2)的显示装置中，连续地提供伸出部分以便包围指定空间，且一体地且连续地形成所述多个侧面。(4)其特征还可在于，在根据项目(I)或(2)的显示装置中，伸出部分以分段方式形成以便含有至少两个对置部分，在包围指定空间的位置处的邻近部分之间存在间隙，且所述多个侧面各自是至少两个对置部分的侧面。(5)其特征还可在于，在根据项目(4)的显示装置中，所述至少两个对置部分各自形成为阶梯状图案，且具有基底和从所述基底上升的壁，且所述多个侧面是所述至少两个对置部分的壁的侧面。(6)其特征还可在于，在根据项目(4)或(5)的显示装置中，所述多个侧面各自为围绕垂直于第一衬底的轴形成的圆柱形面。(7)其特征还可在于，在根据项目(4)或(5)的显示装置中，所述多个侧面各自具有外部隅角形状。(8)其特征还可在于，在根据项目⑷或(5)的显示装置中，所述多个侧面各自具有内部隅角形状。(9)其特征还可在于，在根据项目⑴到⑶中的任一者的显示装置中，导电粒子由于被所述多个侧面按压而弹性地变形。(10)关于本专利技术的用于生产显示装置的方法包含:在第一衬底上提供控制光的通过或阻挡的快门、用于驱动所述快门的驱动器和具有从第一衬底上升以便环绕指定空间的多个侧面的伸出部分以便含有第一导电膜和绝缘膜的层压结构；在第二衬底上提供第二导电膜；以及使第一衬底的上面提供第一导电膜和绝缘膜的侧与第二衬底的上面提供第二导电膜的侧彼此对置且在第一衬底与第二衬底之间插入导电粒子，其中所述多个侧面中的每一者的最外层由覆盖第一导电膜的绝缘膜制成，由所述多个侧面环绕的指定空间小于导电粒子，且通过按压由所述多个侧面环绕的所述指定区中的导电粒子而插入所述导电粒子，绝缘膜被切削掉且暴露第一导电膜的一部分的孔隙形成于绝缘膜中，且所述导电粒子在最接近第一衬底的侧上放置成与从所述多个侧面中的孔隙暴露的第一导电膜接触，且在最接近第二衬底的侧上安置成与第二导电膜接触。【附图说明】图1为示意性地说明关于本专利技术的实施例的显示装置的平面图。图2为示意性地说明关于本专利技术的实施例的显示装置的横截面图。图3为说明快门及其驱动器的斜视图。图4为说明关于本专利技术的实施例的显示装置的细节的横截面图。图5为伸出部分的平面图。图6为说明伸出部分的修改实例I的平面图。图7为说明伸出部分的修改实例2的平面图。图8为说明伸出部分的修改实例3的平面图。图9为说明伸出部分的修改实例4的平面图。图10为说明伸出部分的修改实例5的平面图。【具体实施方式】下文将参看图式描述本专利技术的实施例。图1为示意性地说明关于本专利技术的实施例的显示装置的平面图。图2为示意性地说明关于本专利技术的实施例的显示装置的横截面图。显示装置具有第一衬底10和第二衬底12，每一者由例如玻璃等透明材料制成。第一衬底10为其上形成薄膜晶体管(TFT)、电线等(未说明)的电路板或薄膜晶体管板。在第一衬底10的最接近第二衬底12的侧上，提供由(例如)ITO(氧化铟锡)制成的导电层14。在第一衬底10的最接近第二衬底12的侧上，提供由(例如)氮化硅制成的绝缘膜16以便覆盖导电层14。绝缘膜16包含平行于第一衬底10延伸的部分。第一不透明膜18形成于第一衬底10上。第一固定孔隙20形成于第一不透明膜18中。第二衬底12经布置以便与第一衬底10对置，两者之间存在间隙。在第二衬底12的最接近第一衬底10的侧上，提供由(例如)ITO制成的第二导电膜22。第二不透明膜24形成于第二衬底12上。第二固定孔隙26形成于第二不透明膜24中。第一固定孔隙20和第二固定孔隙26经形成以便彼此对置。多个快门28提供在第一衬底10上。快门28控制光的通过或阻挡。快门28提供在一组TFT、电线等(未说明)上方使得其可移动。图3为说明快门及其驱动器的斜视图。快门28为具有驱动孔隙30的板。为增加强度，凹陷部32形成于快门28中，但凹陷部32并不穿透。光穿过驱动孔隙30，且在除驱动孔隙30外的部分中被阻挡。驱动孔隙30具有在一个方向中较长的形状。此外，光从堆叠在第一衬底10或第二衬底12上的背光34(参看图本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种显示装置，其包括第一衬底，第二衬底，其经布置以便与所述第一衬底对置，第一导电膜，其提供在所述第一衬底的最接近所述第二衬底的侧上，绝缘膜，其提供在所述第一衬底的最接近所述第二衬底的所述侧上以便覆盖所述第一导电膜，第二导电膜，其提供在所述第二衬底的最接近所述第一衬底的侧上，以及导电粒子，其插入在所述第一衬底与第二衬底之间，其中，在所述第一衬底上，分别提供控制光的通过或阻挡的快门、用于驱动所述快门的驱动器和具有从所述第一衬底上升以便环绕指定空间的多个侧面的伸出部分以便含有所述第一导电膜和所述绝缘膜的层压结构，且所述相应多个侧面的最外层由覆盖所述第一导电膜的所述绝缘膜制成，且具有暴露所述第一导电膜的一部分的孔隙，且所述导电粒子布置在由所述多个侧面环绕的所述指定空间中，且在最接近所述第一衬底的侧上，其接触经由所述多个侧面中的所述孔隙暴露的所述第一导电膜，且在最接近所述第二衬底的侧上，其接触所述第二导电膜。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：安藤直久，川中子宽，高桥恒平，
申请(专利权)人：皮克斯特隆尼斯有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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