基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料及其制作方法。其生长步骤是：1)将r面蓝宝石衬底置于MOCVD反应室中进行热处理；2)在热处理后的衬底上生长厚度为10-200nm的低温成核层；3)在成核层之上生长厚度为0.2-100μm，Si掺杂浓度为5×1017cm-3～5×1019cm-3，C掺杂浓度为1×1017cm-3～4×1019cm-3的高温n型GaN有源层；4)在有源层之上生长厚度为0.01-10μm，Mg掺杂浓度为1×1017cm-3～5×1019cm-3的高温p型GaN层。本发明专利技术具有工艺简单，成本低，发光效率高的优点，可用于制作非极性a面GaN黄光发光二极管。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微电子
，涉及一种半导体材料，可用于制作GaN黄光LED产品。技术背景氮化镓以及Ш-V族氮化物在光电子和微电子领域都取得了巨大的进步。氮化镓具有直接带隙、热导率高、电子饱和迁移率高、发光效率高、耐高温和抗辐射等优点，在短波长蓝光—紫外光发光器件、微波器件和大功率半导体器件等方面有巨大的应用前景，理论上讲，通过调节In的组分，可以实现对可见光波长的全覆盖。2012年I.L.Koslow等人提出了在半极性(11-22)GaN衬底上生长黄光LED全结构的方案，参见Performanceandpolarizationeffectsin(11-22)longwavelengthlightemittingdiodesgrownonstressrelaxedInGaNbufferlayers，APPLIEDPHYSICSLETTERS，V101N12P1211061-42012。该方案使用的GaN衬底价格非常昂贵，不利于大规模生产。2015年，K.Lekhal等人提出了在蓝宝石衬底上制备InxGa1-xN/AlyGa1-yN/GaN全结构的方案，参见Strain-compensated(Ga,In)N/(Al,Ga)N/GaNmultiplequantumwellsforimprovedyellow/amberlightemission，APPLIEDPHYSICSLETTERSV106N14P142101-52015。该方案需要较高的In组分，而高的In组分需要低的生长温度，同时高的In组分会产生较大的应力，导致GaN的结晶质量退化，影响器件性能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对上述已有技术的不足，提供一种基于蓝宝石衬底上黄光LED材料及其制作方法，以简化工艺复杂度，提高生长效率，降低成本，提高LED器件性能。实现本专利技术目的技术关键是：采用MOCVD的方法，通过引入C掺杂，使C元素替换N元素形成深能级，提供复合能级，C杂质可以通过C源引入，也可以通过控制工艺利用MOCVD中的C杂质实现。一.本专利技术基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料，自上而下分别为p型GaN层，有源层，成核层和r面蓝宝石衬底，其特征在于有源层使用C掺杂和Si掺杂的n型GaN层，在GaN中引入C的深能级，为发黄光的电子、空穴提供复合平台。进一步，C掺杂的浓度为1×1017cm-3～4×1019cm-3，Si掺杂的浓度为5×1017cm-3～5×1019cm-3。进一步，p型GaN层的厚度为0.01-10μm。进一步，n型GaN层的厚度为0.2-100μm。二.本专利技术基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料的制作方法，包括如下步骤：(1)将r面蓝宝石衬底置于金属有机物化学气相淀积MOCVD反应室中，并向反应室通入氢气与氨气的混合气体，对衬底进行热处理，反应室的真空度小于2×10-2Torr，衬底加热温度为900-1200℃，时间为5-10min，反应室压力为20-760Torr；(2)在r面蓝宝石衬底上生长厚度为10-200nm，温度为500-700℃的低温成核层；(3)在低温成核层之上生长厚度为0.2-100μm，Si掺杂浓度为5×1017cm-3～5×1019cm-3，C掺杂浓度为1×1017cm-3～4×1019cm-3，温度为900-1150℃的高温n型GaN有源层；(4)在n型GaN有源层之上生长厚度为0.01-10μm，Mg掺杂浓度为1×1017cm-3～5×1019cm-3，温度为900-1150℃的高温p型GaN层。本专利技术由于采用C掺杂和Si掺杂的n型GaN作为有源层，与现有技术相比具有如下优点：1.避免了传统LED结果中的InGaN量子阱生长，简化了工艺步骤，提高了生长效率；2.避免了InGaN的存在引起材料晶格失配大的问题，提高了材料的质量，从而提高LED器件的性能。3.可以直接利用MOCVD中的Ga源中的C作为C源，降低了生产成本。本专利技术的技术方案和效果可通过以下附图和实施例进一步说明。附图说明图1是本专利技术基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料结构示意图；图2为本专利技术制作基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料的流程图。具体实施方式参照图1，本专利技术的黄光LED材料设有四层，其中第一层为衬底，采用r面蓝宝石；第二层为成核层，采用厚度为10-200nm的AlN；第三层为有源层，采用厚度为0.2-100μm的C掺杂和Si掺杂的n型GaN层，其中C掺杂的浓度为1×1017cm-3～4×1019cm-3，Si掺杂的浓度为5×1017cm-3～5×1019cm-3，由于在GaN中引入了C掺杂，因此在GaN中会形成深能级，为发黄光的电子、空穴提供了复合的平台；第四层为p型GaN层，采用厚度为0.01-10μm，掺杂浓度为1×1017cm-3～5×1019cm-3的Mg掺杂GaN。参照图2，本专利技术制作基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料的方法，给出如下三种实施例：实施例1，制作C掺杂浓度为1×1018cm-3、Si掺杂浓度为2×1018cm-3的n型GaN层有源区的LED材料。步骤1，对衬底基片进行热处理。将r面蓝宝石衬底置于金属有机物化学气相淀积MOCVD反应室中，并向反应室通入氢气与氨气的混合气体，在反应室的真空度小于2×10-2Torr，衬底加热温度为1100℃，时间为8min，反应室压力为40Torr的条件下，对衬底基片进行热处理。步骤2，生长AlN成核层。将热处理后的衬底基片温度降低为620℃，向反应室通入流量为5μmol/min的铝源、流量为1200sccm氢气和流量为1200sccm的氨气，在保持压力为40Torr的条件下生长厚度为20nm的低温AlN成核层。步骤3，生长C掺杂和Si掺杂的n型GaN有源层。向反应室通入流量为30μmol/min的镓源、流量为1200sccm氢气和流量为1500sccm的氨气，保持反应室压力为40Torr，温度为1100℃，取C掺杂浓度为1×1018cm-3，Si掺杂浓度为2×1018cm-3，在低温AlN成核层上生长厚度为3μm的n型GaN有源层。步骤4，生长p型GaN层。将已经生长了C掺杂和Si掺杂的n型GaN层基片温度保持在1020℃，向反应室通入流量为30μmol/min的镓源、流量为1200sccm氢气，流量为1500sccm的氨气和流量为10μmol/min的Mg源，保持压力为40Torr，温度为1000℃，生长厚度为200n本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料，自上而下分别为p型GaN层，有源层，成核层和r面蓝宝石衬底，其特征在于：有源区使用C掺杂和Si掺杂的n型GaN层，以在GaN中引入C的深能级，为发黄光的电子、空穴提供复合平台。

【技术特征摘要】
1.一种基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料，自上而下分别为p型GaN层，
有源层，成核层和r面蓝宝石衬底，其特征在于：有源区使用C掺杂和Si掺杂的
n型GaN层，以在GaN中引入C的深能级，为发黄光的电子、空穴提供复合平
台。
2.根据权利要求1所述的基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料，其特征在于
C掺杂的浓度为1×1017cm-3～4×1019cm-3，Si掺杂的浓度为5×1017cm-3～5×
1019cm-3。
3.根据权利要求1所述的基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料，其特征在于
p型GaN层的厚度为0.01-10μm。
4.根据权利要求1所述的基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料，其特征在于
有源层的厚度为0.2-100μm。
5.一种基于r面蓝宝石衬底上黄光LED材料的制作方法，包括如下步骤：
(1)将...

【专利技术属性】
技术研发人员：许晟瑞，郝跃，任泽阳，李培咸，张进成，姜腾，蒋仁渊，马晓华，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61