顺从限制阈值处的平滑VI模式跨接法制造技术

源测量单元可以作为用于负载诸如受测装置(DUT)的电压/电流(V/I)源来操作。本文描述了具有电压控制模式和电流控制模式的源测量单元。所述源测量单元可具有以平滑方式在所述电压控制模式和电流控制模式之间过渡的合适构造，并且可相应地操作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】顺从限制阈值处的平滑VI模式跨接法相关专利申请本专利申请要求在美国提交于2013年3月14日、代理人案卷号为T0529.70149US00、名称为 “SMOOTH VI MODE CROSSOVER METHOD AT COMPLIANCE LIMITTHRESHOLD” (顺从限制阈值处的平滑VI模式跨接法)的美国专利申请序列号13/804，579的优先权，该专利申请全文据此以引用的方式并入本文。
本文所述的技术涉及源测量单元及其操作方法。相关领域源测量单元(SMU)用于一些自动测试设备(ATE)，以提供输入受测装置(DUT)的源电压或电流信号。
技术实现思路
根据本专利申请的一个方面，提供了操作被构造用于耦合到负载的源测量单元(SMU)的方法。SMU可以多种模式操作，包括电压控制模式和电流控制模式。该方法可包括在所述多种模式之间切换时生成施加到SMU的控制电路的控制信号，其中生成控制信号包括根据电压和电流二者生成控制信号。根据本专利申请的一个方面，提供了被构造用于以多种模式操作的源测量单元(SMU)，所述多种模式包括电压控制模式和电流控制模式。该SMU可包括被构造用于当SMU在电压控制模式和电流控制模式之间过渡时生成提供给SMU的控制电路的控制信号的组合电路，该控制信号是基于电压和电流二者的。【附图说明】本专利申请的各种方面和实施例将结合以下附图描述。应当理解，附图未必按比例绘制。多个附图中示出的项目在其示出的所有附图中以相同的参考标号表示。图1示出了根据非限制性实施例的耦合到负载的SMlL图2示出了根据本专利申请的非限制性实施例的操作源测量单元(SMU)的方法。图3示出了根据非限制性实施例的图2的方法的更详细的方法。图4示出了根据本专利申请的非限制性实施例的图1的SMU的非限制性详细具体实施。图5示出了根据非限制性实施例的权重误差信号的加权因子行为。图6提供了图5的过渡区的扩展视图。【具体实施方式】一些源测量单元(SMU)可作为电压源或电流源操作，因此有时称为V/I源。SMU可例如为具有电压和电流的负载诸如DUT提供输出信号(有时称为驱动信号)。当作为电压源操作时，跨负载施加的输出信号的电压可视为主要信号，并且可旨在呈现目标值。通过负载的电流可视为限制，并且可旨在保持在所需的电流范围内(例如，可为关于零对称或不对称的上、下电流阈值或顺从限制)。当作为电流源操作时，通过负载的输出信号的电流可视为主要信号，并且可旨在呈现目标值。跨负载的电压可视为限制，并且可旨在保持在所需的电压范围内(例如，上、下电压阈值或顺从限制)。在电压控制模式中，可将跨负载的电压与目标电压比较，并且二者之间的任何差值均可用于生成控制信号(例如，在SMU内)，以调整SMU提供的输出信号的电压。可监测通过负载的电流，但只要其保持在顺从限制内，则不会影响控制信号。在电流控制模式中，可将通过负载的电流与目标电流比较，并且二者之间的任何差值均可用于生成控制信号(例如，在SMU内)，以调整SMU提供的输出信号的电流。可监测跨负载的电压，但只要其保持在顺从限制内，则不会影响控制信号。当限制信号(电压控制模式场景中的电流和电流控制模式场景中的电压)落在顺从限制外部时，SMU可在电压控制模式和电流控制模式之间切换。然后限制信号变为主要信号，并且主要信号变为限制信号。此类行为可描述为主要控制(当主要信号的值决定SMU的操作时)和限制控制(当限制信号的值决定SMU的操作时)之间的切换。申请人认识到，SMU的电压控制模式和电流控制模式之间的突然或不连续切换可产生不期望的行为。例如，电压控制模式和电流控制模式之间的不连续切换可导致输出信号的噪声、抖动、振荡或其他不期望的行为。当SMU与ATE联合使用以测试DUT时，此类行为可例如导致错误的测试结果，或可导致其他不期望的行为。因此，本专利申请的方面提供SMU以及操作SMU的且实现了 SMU的主要控制和限制控制之间(例如，电压控制模式和电流控制模式之间)的平滑或连续切换的方法。平滑过渡(也可称为跨接)可例如通过创建SMU的驱动信号来实现，该驱动信号基于跨负载的电压和通过负载的电流二者，而不是仅仅一者或另一者。在非限制性例子中，当确定限制信号落在顺从限制(或顺从范围或阈值范围)外部时，可启动主要模式和限制模式之间的过渡。在过渡期间，限制信号的误差可合适地与主要信号的误差组合，生成用于调整SMU的输出信号的驱动信号。通过组合主要信号和限制信号的误差，可提供平滑过渡，其可避免与电压控制和电流控制模式之间的突然或不连续切换相关的缺陷。上述方面和实施例，以及另外的方面和实施例，在下面进一步描述。这些方面和/或实施例可单独、一起或以两者或更多者的任何组合使用，因为本专利申请在这一点上没有限制。图1示出了根据本专利申请的一个方面的耦合到负载的SMU100的非限制性例子。SMU可被构造用于表现出主要控制模式和限制控制模式之间的平滑过渡。如图所示，SMU 100，其包括虚线110左侧的部件，包括用于控制生成提供给负载104的输出信号103的控制电路102。输出信号103也可视为用于驱动负载的驱动信号。反馈电路106可为误差生成电路108提供一个或多个反馈信号107。所述一个或多个反馈信号107可表示跨负载104的电压和/或通过负载104的电流。误差生成电路108可确定主要信号(例如，电压控制模式中的电压和电流控制模式中的电流)和限制信号(例如，电压控制模式中的电流和电流控制模式中的电压)的误差，并且生成提供给控制电路102用于控制输出信号103的控制信号109。当在主要控制和限制控制模式之间过渡时，误差生成电路可根据主要信号的误差和限制信号的误差二者生成控制信号109。此类操作在下面参照图2进一步描述。SMU 100的电路可采取以所述方式执行的任何合适形式。非限制性例子在下面结合图4描述。负载104可为任何合适的负载。在一些实施例中，负载可为DUT，诸如半导体装置(如，存储器装置)或将通过ATE或以其他方式测试的其他装置。然而，本文所述的各种方面不限于与任何特定类型的负载联合使用。图2示出了根据本专利申请的非限制性实施例的操作源测量单元(SMU)诸如图1的SMU 100的方法。该方法可提供主要控制和限制控制模式之间的平滑(或连续)过渡(或跨接)。方法200从步骤202开始，其中设定主要信号(例如，电压控制模式中SMU输出信号的电压和电流控制模式中SMU输出信号的电流)的目标值。在步骤204，可设定限制信号的顺从范围，包括上、下限值，所述值也称为阈值或顺从限φ?」。应当理解，步骤202和204可以任何合适的顺序执行，包括基本上同时执行，因为方法200在这一点上没有限制。在步骤206，可确定误差，包括主要信号的误差和限制信号的一个或多个误差。例如，在顺从范围的上、下顺从限制在步骤204建立的场景中，可确定限制信号相对于上、下顺从限的误差。在步骤208，组合或混合误差(在本文中也可称为总误差)可通过步骤206确定的误差来确定。然后组合误差可用于在步骤210生成控制信号(例如，图1的控制信号109)。在一些实施例中，组合误差本身可用作控制信号，即组合误差无需修改即可发送至控制电路，然后该控制电路生成驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作被构造用于耦合到负载的源测量单元(SMU)的方法，所述SMU以多种模式操作，包括电压控制模式和电流控制模式，所述方法包括：在所述多种模式之间切换时生成施加到所述SMU的控制电路的控制信号，其中生成所述控制信号包括根据电压和电流二者生成所述控制信号。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：理查德·约翰·费恩里奇，
申请(专利权)人：泰拉丁公司，
类型：发明
国别省市：美国;US