本发明专利技术中提出的可拆卸X射线发生器,包括：X射线发生部，包括照射X射线的X射线发生管及通过电线与所述X射线发生管相连的第一连接接线部；高电压发生部，接收外部供应的电压而生成既定的高电压，包括输出由此生成的所述高电压的第二连接接线部；所述高电压根据所述第一连接接线部与所述第二连接接线部的相互结合而被供应到所述X射线发生管。根据本发明专利技术的静电消除装置,能够使高电压发生部与X射线发生部相互分离,从而能够节减更换费用、易于设置场所的取舍选择且具有隔热等效果。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及X射线发生器，即通过分离高电压发生部与X射线发生部而能够分别供货的可拆卸方式的分离型的X射线发生器，及构成此的X射线发生部与高电压发生器。
技术介绍
一般地说，液晶显示屏(IXD)、PDP及半导体制造工艺中，因静电的发生而使微细的灰尘附着到LCD、PDP及半导体晶圆(wafer)，或因静电放电而导致元件的毁损，使产品收益率下降，由此造成制造成本上升的副作用。因此，进行半导体工艺等的无尘室一般都设有用于消除静电的装置。这种用于消除静电的传统技术为利用电晕放电的静电消除装置。该装置为了根据电晕放电而产生离子并吹出离子化的空气，采用了利用风扇(Fan)使空气对流的方式。但是，这种静电消除装置(也称X射线发生器)因根据高电压放电的溅射现象，放电电极的末端产生大量的(数万个/ft 3)0.01 μπι以下的金属微粒而附着厚，因风扇的强制对流而掉落，粘贴到半导体、PDP及LCD图案周边而导致众多不良。并且，利用电晕放电的静电消除装置在高电压放电时发生的臭氧气体达到4?lOppm，除了诱发粉尘的附着之外，因生成的+离子及一离子的平衡(Balance)随时产生变化，存在每次都需重新调整离子平衡(Balance)的不便。作为对此的对策，最近提出的是利用软X射线(soft X-ray)的空气电离作用而实现空气的离子化，从而中和或缓和被带电体的静电的方法。软X射线照射式不会产生微细灰尘，无需使空气对流，因此被认为是适合平板显示器制造工艺及半导体制造工艺中消除静电的方式。软X射线照射式的静电消除装置的一例为美国专利第5，949，849号。根据该专利的静电消除装置具备保护壳、发生软X-射线的X-射线管、电源装置，X-射线管具备灯泡、阴极、输出窗、输出窗支持部、法兰部、对阴极，这些X-射线管内部构成要素与保护壳相互热性及电气性地连接。软X射线照射式的静电消除装置的另一例为日本专利第2951477号。该专利涉及静电消除技术，在向已布置用于消除静电的既定的带电物体的气氛照射X射线的位置，内置施加既定的对阴极电压及对阴极电流的对阴极的同时，布置具有铍(Be)窗的X射线管，通过对从所述铍窗到主波长为2埃(Angstrom)以上20埃以下范围内的照射所述X射线的区域的所述气氛所包括的元素进行离子化，包括所述离子的所述气氛中消除某个所述既定带电物体的静电的技术。软X射线照射式的静电消除装置的另一例为日本公司滨松光子申请的专利技术名称为“X射线发生器及利用此的静电控制器”(韩国专利申请编号第10-2004-0089634号)。该专利技术中公开的X-射线发生器的技术思想的一要旨为:在固定到设置于灯泡的前端的导电性及热传导性的输出窗支持部的输出窗的内面，固定具有接地电位的标的，保护容器收容向所述标的照射电子束的具有阴极的X-射线管及驱动该X-射线管的电源部，使形成于所述输出窗支持部而向外侧突出的法兰部接触并固定到具有热传导性的所述保护容器，但X-射线管及驱动所述X-射线管的电源部形成为一体式。其次，图1至图3是传统静电消除装置的实图，图1是整体外观图，图2及图3呈现打开上部壳时的内部构成图。通过图2及图3可知，高电压发生部200通过电线10而与X射线管300 (X射线发生部)构成为一体式。作为参考，如图2及图3所图示，大部分静电消除装置的构成可分为设置于左侧的高电压发生部及设置于右侧的X射线发生部。这种传统的软X射线照射式(以下称X射线照射式)即使存在其结构的部分差距，基本上都由接收外部电源的供应而发生高电压的电装部即高电压发生部及接收该高电压发生部输出的既定的高电压而发生X射线的X射线管(以下称X射线发生部)构成。但是，上面说明的传统的软X射线照射式的静电消除装置中被施加外部电源而发生高电压的高电压发生部及接收高电压发生部的供电的X射线管是以一体构成于一个壳内而进行销售，因此存在如下问题。第一、高电压发生部及X射线发生部中任意一个发生瑕疵时，因无法更换发生瑕疵的部分而存在需更换整个产品的问题， 第二、因高电压发生部及X射线发生部为一体式，设置静电消除装置的状态下，若变更X射线的照射位置或方向，存在需从设置场所分离静电消除装置而移动的问题，第三、存在高电压发生部的电装部因X射线发生部中发生的高热而发生错误运转的担忧。
技术实现思路
(要解决的技术问题)本专利技术为了解决前述问题点而提出，涉及X射线发生器，其目的在于，分开提供用于构成利用X射线消除静电的装置的高电压发生部及X射线发生部。S卩，本专利技术的目的在于，为高电压发生部及X射线发生部提供既定的连接接线部，能够根据所需而进行拆卸，能够解决前述的问题点。为此，本专利技术的目的在于，分别提供具有可拆卸的高电压发生部及X射线发生部的X射线发生器，及这种可分离形态的高电压发生部及X射线发生部。(解决问题的手段)本专利技术中提出的可拆卸X射线发生器，包括:X射线发生部，包括照射X射线的X射线发生管及通过电线与所述X射线发生管相连的第一连接接线部；高电压发生部，接收外部供应的电压而生成既定的高电压，包括输出由此生成的所述高电压的第二连接接线部；所述高电压根据所述第一连接接线部与所述第二连接接线部的相互结合而被供应到所述X射线发生管。根据本专利技术，若使所述X射线发生部与所述高电压发生部相互连接的所述第一连接接线部与所述第二连接接线部相互分离，所述X射线发生部与所述高电压发生部将会物理性地相互分离。并且，所述X射线发生部具备用于安置所述X射线发生管及所述第一连接接线部的第一壳，所述高电压发生部具备用于安置所述第二连接接线部的第二壳，所述第一及第二壳是独立的。(专利技术的效果)本专利技术中提出的具有可拆卸高电压发生部及X射线发生部的X射线发生器及构成此的高电压发生部及X射线发生部相比传统的静电消除装置，具有如下效果。第一，与高电压发生部或X射线发生部中的其中一个发生瑕疵时需更换整个产品的传统情况不同，本专利技术能够单独更换发生瑕疵的高电压发生部或X射线发生部，因此使用静电消除装置的公司能够减少经济负担。第二，本专利技术中，高电压发生部与X射线发生部通过接头部可拆卸地连接，因此与高电压发生部的设置位置无关，能够自由选择X射线发生部的光照射方向。例如，若设置于半导体无尘室内的制造线的变更或部分设备的备置位置变更，可根据所需而自由调整X射线发生部的设置场所及方向。第三，能够自由设置释放很多热量的X射线发生部而使其与高电压发生部隔离，从而能够减少由X射线发生部中释放的热量导致的高电压发生的电路错误运转。尤其，传统的一体式高电压发生部中对绝缘结构设计比较庞大，但若像本专利技术一样采用分离型静电消除装置，能够较轻便地构成绝缘结构。【附图说明】图1至图3是由高电压发生部及X射线发生部构成的传统的X射线照射式静电消除装置的实物照。图4是本专利技术中提出的分离型X射线发生器的一例。图5至图11是更详细地说明图4中说明的X射线发生器的构成的参考图。图12?图14是说明本专利技术中提出的分离型X射线照射式X射线发生器的概念的一实施例。图15?图17是说明本专利技术中提出的分离型X射线照射式X射线发生器的概念的另一实施例。图18?图20是说明本专利技术中提出的分离型X射线照射式X射线发生器的概念的又一实施例。...
【技术保护点】
一种X射线发生器，其特征在于，包括：X射线发生部，包括照射X射线的X射线发生管及通过电线与所述X射线发生管相连的第一连接接线部；高电压发生部，接收外部供应的电压而生成既定的高电压，包括输出由此生成的所述高电压的第二连接接线部；所述高电压根据所述第一连接接线部与所述第二连接接线部的相互结合而被供应到所述X射线发生管。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：李东勋，郑容哲，金相孝，孙康荣，李寿永，徐祥凤，李在炫，金相珉，
申请(专利权)人：襌才科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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