一种新型全自动超声波清洗机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种新型全自动超声波清洗机，属于硅片清洗技术领域。本新型全自动超声波清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮，机架上设有若干个呈一条直线排列的清洗槽，清洗槽可容纳吊篮放入其中，清洗槽底部设有超声波发声板，清洗槽内侧部设有电加热器，机架上具有与清洗槽排列方向平行的直线滑轨和沿着直线滑轨的滑座，滑座上固定有电机和气缸，机架上还设有与直线滑轨平行的齿条，电机的输出轴上套有与齿条啮合的齿轮，滑座下方通过导柱连接有升降板，升降板与气缸的推杆连接，升降板的两侧固定有若干组挂钩，吊篮两侧具有凸出的支撑柱，清洗槽内壁设有振动器。本实用新型专利技术为全自动清洗，不但清洗效果好，而且运行安全可靠，使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片清洗
，涉及一种新型全自动超声波清洗机。
技术介绍
随着可再生能源的日益贫乏，寻找新的能源途径，已经成为全人类共同的目标。然而可再生能源――生物能、光能、水能、风能等有限的几种，这几种中只有光能才能目前最有效、快捷的方法。利用太阳能硅片来发电、供热是目前全世界开发的热点。我们国家虽然在太阳能硅片应用行业起步较晚，但就近几年来的发展速度看，还是相当惊人的。硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前,采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物,以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程。在光伏太阳能产业中,硅片在加工中表面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗，而超声波太阳能清洗机可以有效去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性，在硅片生产加工中得到广泛应用。如中国技术专利申请(申请号：201410091070.2)公开了一种全自动太阳能硅片清洗机。该清洗机包括一超声清洗槽，所述的超声清洗槽后方依次设有浸泡酸洗槽、超声碱洗槽以及一个或多个超声漂洗槽，所述的超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽上方设有一平移支架，所述的平移支架上吊设又一个或多个承载待清洗硅片的吊篮，所述的平移支架安装在一升降结构上。上述设备中清洗槽内的污水排除比较不便，其槽底也难以清洗，长期会降低对硅片的清洗效果，另外硅片在清洗槽内处于静态时，清洗范围也不够到位。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种型全自动超声波清洗机。本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种新型全自动超声波清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的清洗槽，所述清洗槽可容纳吊篮放入其中，所述清洗槽底部设有超声波发声板，所述清洗槽内侧部设有电加热器，其特征在于，机架上具有与清洗槽排列方向平行的直线滑轨和沿着直线滑轨的滑座，滑座上固定有电机和气缸，机架上还设有与直线滑轨平行的齿条，电机的输出轴上套有与齿条啮合的齿轮，滑座下方通过导柱连接有升降板升降板与气缸的推杆连接，升降板的两侧固定有若干组挂钩，吊篮两侧具有凸出的支撑柱，所述清洗槽内壁设有振动器，所述振动器可与吊篮边框接触。根据清洗要求每个清洗槽装有不同的清洗液，吊篮中的硅片需逐一浸入每个清洗槽内进行清洗。电机转动会带动其输出轴上的齿轮转动，齿轮间接带动滑座沿着直线滑轨滑动，气缸上的推杆会推动升降板上下移动，通过气缸和电机的配合控制挂钩完成钩住吊篮两侧的支撑柱且带动吊篮上下左右移动的动作。装有硅片的吊篮位于清洗槽内时，超声波发声板对吊篮上的硅片进行声波清洗，振动器带动吊篮摆动，提高清洗效果。挂钩上固定有红外线发射器，每个清洗槽边缘固定有红外线接收器。采用以上结构，在挂钩下移时，当清洗槽边缘上的红外线接收器接收到挂钩上红外线发射器发出的信号，气缸会立刻停止继续向下推动升降板，位于升降板上的挂钩也随之停止下移，不但可避免零部件之间的碰撞，而且还间接提高了控制的精确度，加快了清洗效率。所述的清洗槽呈锥形，清洗槽底部开有排污口。采用以上结构，便于将清洗槽内使用过后的清洗液的排除，既代替了人工手动舀液体，又提高了清除效果。所述清洗槽两侧及顶部设置有封闭的玻璃窗。采用以上结构，使得清洗槽呈封闭状，避免硅片及清洗槽内的清洗液受污染，改善工作环境，提高清洗效果，另外玻璃窗为透明状，便于工作人员观察到其内部情况。所述清洗槽的外侧前端设有调节电加热器开闭的控制面板。控制面板数量为一个，控制所有清洗槽内电加热器的开闭及温度大小的调节，并且每个清洗槽内的电加热器的都为独立控制。提高控制范围，加强硅片的清洗效果。所述的电加热器为普通的管式电加热器。普通的管式电加热器就具备了体积小、功率大、热响应快、控温精度高、加热温度高、介质出口温度均匀的特点，另外其应用范围广、适应性强，节能效果显著，电能产生的热量几乎100％传给加热介质，还可全自动化控制。与现有技术相比，本本新型全自动超声波清洗机的优点具有以下几点1.本设备为多工位通过式清洗线，传动机械臂气运送料，篮筐式清洗，运行安全可靠，使用寿命长；2.清洗节拍可根据清洗工件的清洁度要求,任意调节清洗时间，控制面板上直接设定；3.在清洗过程中增加振动器,使工件在清洗槽内作摆动动作来加强硅片清洗范围，提高清洗效果；4.各清洗槽设计成锥形结构,并有排污口,便于刷底清洗；5.全封闭结构,设备配有抽风吸雾装置,改善工作环境；6.设备为PLC加触摸屏全自动控制、具有自诊断报警功能，确保设备免受损坏和及时排除故障，整体设计美观大方、操作方便、安全可靠。附图说明图1是本新型全自动超声波清洗机的主视图。图2是本新型全自动超声波清洗机的局部侧视图。图3是本新型全自动超声波清洗机的局部俯视图。图中，1、吊篮；2、清洗槽；3、超声波发声板；4、电加热器；5、直线滑轨；6、滑座；7、电机；8、气缸；9、齿条；10、齿轮；11、导柱；12、升降板；13、挂钩；14、支撑柱；15、振动器；16、红外线发射器；17、红外线接收器；18、排污口；19、控制面板。具体实施方式以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。如图、图2、图3所示，本新型全自动超声波清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮1，机架上设有若干个呈一条直线排列的清洗槽2，清洗槽2可容纳吊篮1放入其中，清洗槽2底部设有超声波发声板3，超声波发声板3对吊篮1内的硅片具有声波清洗作用。清洗槽2内侧部设有电加热器4，机架上具有与清洗槽2排列方向平行的直线滑轨5和沿着直线滑轨5的滑座6，滑座6上固定有电机7和气缸8，机架上还设有与直线滑轨5平行的齿条9，电机7的输出轴上套有与齿条9啮合的齿轮10，滑座6下方通过导柱11连接有升降板12升降板12与气缸8的推杆连接。升降板12的两侧固定有若干组挂钩13，挂钩13上固定有红外线发射器16，每个清洗槽边缘固定有红外线接收器17。在挂钩13下移时，当清洗槽边缘上的红外线接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型全自动超声波清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮(1)，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的清洗槽(2)，所述清洗槽(2)可容纳吊篮(1)放入其中，所述清洗槽(2)底部设有超声波发声板(3)，所述清洗槽(2)内侧部设有电加热器(4)，其特征在于，机架上具有与清洗槽(2)排列方向平行的直线滑轨(5)和沿着直线滑轨(5)的滑座(6)，滑座(6)上固定有电机(7)和气缸(8)，机架上还设有与直线滑轨(5)平行的齿条(9)，电机(7)的输出轴上套有与齿条(9)啮合的齿轮(10)，滑座(6)下方通过导柱(11)连接有升降板(12)升降板(12)与气缸(8)的推杆连接，升降板(12)的两侧固定有若干组挂钩(13)，吊篮(1)两侧具有凸出的支撑柱(14)，所述清洗槽(2)内壁设有振动器(15)，所述振动器(15)可与吊篮(1)边框接触。

【技术特征摘要】
1.一种新型全自动超声波清洗机，包括机架和用于放置硅片
的吊篮(1)，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的清洗槽(2)，
所述清洗槽(2)可容纳吊篮(1)放入其中，所述清洗槽(2)底
部设有超声波发声板(3)，所述清洗槽(2)内侧部设有电加热器
(4)，其特征在于，机架上具有与清洗槽(2)排列方向平行的直
线滑轨(5)和沿着直线滑轨(5)的滑座(6)，滑座(6)上固定
有电机(7)和气缸(8)，机架上还设有与直线滑轨(5)平行的
齿条(9)，电机(7)的输出轴上套有与齿条(9)啮合的齿轮(10)，
滑座(6)下方通过导柱(11)连接有升降板(12)升降板(12)
与气缸(8)的推杆连接，升降板(12)的两侧固定有若干组挂钩
(13)，吊篮(1)两侧具有凸出的支撑柱(14)，所述清洗槽(2)
内壁设有振动器(15)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：申炳荣，
申请(专利权)人：浙江昊能光电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33