一种电渗微泵装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及微流控技术领域，尤其涉及一种电渗微泵装置，包括集成在微流控芯片上互不接触的流体微流道和电极微流道，流体微流道包括用于泵送流体的泵区微流道驱动段，电极微流道设于泵区微流道驱动段的两端，且与泵区微流道驱动段成角度交错设置；电极微流道的内部填充有液态金属，电极微流道上设有用于液态金属进出的注射入口和注射出口，注射入口或注射出口连接有可控电源模块，可控电源模块用于在泵区微流道驱动段的两端形成电势差。本实用新型专利技术的电渗微泵装置具有电极结构简单、加工制作方便、成本低廉、可控性好、稳定性高、易于集成、抗干扰能力强、低电压驱动等诸多优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微流控
，尤其涉及一种电渗微栗装置。
技术介绍
微流控技术是指在至少有一维为微米甚至纳米尺度的低维通道结构的系统中通过控制体积为皮升至纳升的流体进行流动，以达到传质、传热目的的技术，可广泛应用于生化分析、免疫分析、微创外科手术、环境监测等众多领域。其中，微栗是微流控系统中实现微流体精确驱动不可或缺的核心元器件，是微量甚至更小体积微流体驱动技术的具体实现形式。微栗在生物化学分析、微流体(缓冲液、药物等)输运、微电子芯片冷却等领域具有广泛的应用，其发展已成为衡量微流控系统发展水平的重要标志。微栗根据其工作原理可分为机械式微栗和非机械式微栗，两者主要区别在于栗内有无运动部件。机械式微栗在外力作用下几乎可以驱动任何类型微流体，但由于存在运动部件，此类微栗存在使用寿命较短、运行可靠性较差、流动不连续、结构复杂等缺点；而非机械式微栗动力实现形式主要借助于所驱动微流体本身的物理、化学性质，往往栗内无运动部件，此类微栗驱动微流体范围有限，但其可实现微流体的连续栗送，可靠性高、可控性好、加工制作较为简单且易于集成。由于具有驱动流体范围广、高压性能好、流动连续无脉动可靠性高、无本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电渗微泵装置，其特征在于，包括集成在微流控芯片上互不接触的流体微流道(6)和电极微流道(1)，所述流体微流道(6)包括用于泵送流体的泵区微流道驱动段(5)，所述电极微流道(1)设于所述泵区微流道驱动段(5)的两端，且与所述泵区微流道驱动段(5)成角度交错设置；所述电极微流道(1)的内部填充有液态金属，所述电极微流道(1)上设有用于所述液态金属进出的注射入口(2)和注射出口(3)，所述注射入口(2)或注射出口(3)连接有可控电源模块(4)，所述可控电源模块(4)用于在所述泵区微流道驱动段(5)的两端形成电势差。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高猛，桂林，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11